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Pfeiffer Vacuum ATH 500 M Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum ATH 500 M Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum ATH 500 M Betriebsanleitung

Magnetgelagerte turbopumpe
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BETRIEBSANLEITUNG
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Original
ATH 500 M – ATH 500 MT
Magnetgelagerte Turbopumpe

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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum ATH 500 M

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum ATH 500 M

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original ATH 500 M – ATH 500 MT Magnetgelagerte Turbopumpe...

  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Betroffene Produkte Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text 1.3.2 Piktogramme 1.3.3 Aufkleber 1.3.4 Abkürzungen Markenzeichennachweis Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Transport und Lagerung Annahme des Produkts Handhabung der Pumpe...
  • Seite 4 9.4.3 Pumpe für den Versand vorbereiten Außerbetriebnahme 10.1 Abschaltung für längere Zeit 10.2 Wiederinbetriebnahme 10.3 Entsorgung Störungen 11.1 Störung und Fehleranzeige 11.2 Störung Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Zubehöre Ersatzteile Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines 15.2 Technische Daten 15.2.1Eigenschaften der Umgebung 15.2.2Eigenschaften des Kühlwassers 15.2.3Eigenschaften des Stickstoffgases...
  • Seite 5 Inhaltsverzeichnis 15.3 Abmessungen Konformitätserklärung 5/84...
  • Seite 6 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Auf die Anlage ausgeübte Belastungen Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch) Tab. 3: Bedeutung der LED auf der EtherCAT-Schnittstelle Tab. 4: Bedeutung der LED auf der Schnittstelle Remote/RS232-RS485/Profibus Tab. 5: Beschreibung der HHR-Tasten Tab. 6: Ersatzteile – ATH 500 Tab.
  • Seite 7 Abb. 16: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch Gleichspannung Abb. 17: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch potentialfreie Relaiskontakte Abb. 18: Anschluss Fernbedienung: Digitale Ausgänge Abb. 19: Abmessungen ATH 500 M Abb. 20: Abmessungen ATH 500 M mit Luftkühlung Abb. 21: Abmessungen ATH 500 MT 7/84...

  • Seite 8: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.

  • Seite 9: Zielgruppe

    Zu dieser Anleitung 1.2 Zielgruppe Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die mit Transport, Installation, Inbetriebnahme/ Abschalten, Gebrauch, Wartung oder Lagerung des Produkts betraut werden. Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu- um erhalten haben.

  • Seite 10: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung Dieser Aufkleber zeigt an, dass bestimmte interne Bauteile elektrisch geladen sind und bei Kontakt zu einem elektri- schem Schlag führen können: Vor Arbeiten an der Pumpe entweder die Pumpe trennen oder den Anlagenschalter in ge- eigneter Weise verriegeln/abschalten (LO/TO). Dieser Aufkleber zeigt an, dass das Produkt aufgrund seines hohen Gewichts nicht per Hand gehandhabt und stets geeig- nete Handhabungsgeräte eingesetzt werden sollten.

  • Seite 11: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 12 ► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“).
  • Seite 13 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Stickstoff Das Produkt verwendet unter Druck stehenden Stickstoff als Spülgas. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Stickstoffzufuhr gesperrt werden kann.

  • Seite 14: Sicherheitshinweise In Bezug Auf Entzündliche/Pyrophore Materialien

    Sicherheit 2.3 Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind allein für die Sicherheit der Pumpenanlage, des Geräts und des Gasabsaugsystem verantwortlich. Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind für die Anwen- dung verantwortlich, die das Produkt verwendet. Das Pumpen pyrophorer oder entzündlicher Gase kann gefährlich sein.

  • Seite 15: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit 2.4 Sicherheitsmaßnahmen Informationspflicht zu möglichen Gefahren Der Halter oder Betreiber des Produkts ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren, die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen. Jede Person, die sich mit der Installation, dem Betrieb oder der Instandhaltung des Pro- dukts befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen und befolgen.
  • Seite 16 Sicherheit ● Verwenden der Pumpe in potentiell explosiven Umgebungen ● Verwenden der Vakuumpumpe zur Druckerzeugung ● Verwenden in Bereichen mit ionisierender Strahlung ● Verwenden in unzulässig hohen Magnetfeldern ● Verwenden von Vorrichtungen in Systemen, in denen schlagartige Belastungen oder Schwingun- gen oder periodisch auftretende Kräfte die Vorrichtungen beeinträchtigen 16/84...

  • Seite 17: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Annahme des Produkts Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►...

  • Seite 18: Lagerung

    Transport und Lagerung 1 Band Hebering M8 Handhabung der Pumpe mit einem Hebewerkzeug Bei Handhabung der Pumpe muss ein dem Gewicht des Produkts angemessenes Hebewerkzeug verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt variieren abhängig vom Modell (siehe Kapitel „Abmessungen“). 2 genehmigte M8-Heberinge bereitstellen (vom Kunden bereitgestellt). 1.

  • Seite 19: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4.1 Produktidentifizierung Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber“). 4.1.1 Lieferumfang ● 1 magnetgelagerte Turbomolekularpumpe mit integrierter Antriebselektronik ● 1 Splitterschutzfilter (im Ansaugflansch der Pumpe) ●...

  • Seite 20: Mensch-Maschinen-Schnittstelle

    Produktbeschreibung 4.2 Mensch-Maschinen-Schnittstelle Abb. 1: Beschreibung einer Pumpe ATH 500 der Version M 1 Ansaugflansch (Hochvakuum) Steuerschnittstelle 2 Splitterschutzfilter Neutralgasspülung (50 sccm) (mit einem Filter ausgestattete 1/8 BSPP-Buchse) 3 Anschlüsse WATER IN/WATER OUT Auslassflansch (PUMP EXHAUST) (1/8 NPT-Buchse) 4 Antriebselektronik Abb. 2: Beschreibung einer Pumpe ATH 500 der Version MT Ansaugflansch (Hochvakuum) Antriebselektronik...

  • Seite 21: Antriebselektronik

    Produktbeschreibung 4.3 Antriebselektronik Die magnetgelagerte Pumpe mit integrierter Antriebselektronik ist zur Installation in und zur Steuerung durch das Gerät bestimmt. Standardmäßig ist die Antriebselektronik mit einer seriellen Schnittstelle RS-232/RS-485 und einem An- schluss REMOTE ausgerüstet. Sie kann auch mit der Handfernbedienung HHR gesteuert werden, die als Zubehör erhältlich ist (siehe Kapitel „Zubehöre“).
  • Seite 22 Produktbeschreibung Service Anschluss Handfernbedienung (HHR) Serielle Schnittstelle Die serielle Schnittstelle RS-232/RS-485 wird zum Antreiben RS-232/RS-485 und Steuern der Pumpe von einem Computer verwendet. Die serielle Schnittstelle RS-485 ermöglicht die gleichzeitige Instal- lation und Steuerung mehrerer Pumpen. Anschluss REMOTE Der Anschluss REMOTE wird zum Betreiben der Funktionen START/STOP/STANDBYverwendet, um den Fernstatus der Pumpe über die potentialfreien Kontakte zu aktivieren.

  • Seite 23: Installation

    ► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“).

  • Seite 24: Installationsvorschriften

    Installation 5.1.1 Installationsvorschriften Turbo Abb. 4: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage 1 Vakuumkammer Rahmen 2 Anlage Sicherer Verankerungspunkt Beschreibung eines plötzlichen Blockierungsszenarios Die Bewegungsenergie des Rotors muss von der Anlage absorbiert werden, wenn die Pumpe plötzlich blockiert. Die maximal resultierenden Belastungen wurden auf einem Prüfstand gemessen, indem die schlimmstmögliche Blockierung der Turbopumpe mit einem Aufteilen des Rotors in zwei Teile simuliert wurde, wobei sich die Pumpe mit Nenndrehzahl drehte.

  • Seite 25: Sichern Von Anlage Und Rahmen

    Installation Zeit - ms Abb. 5: Diagramm der auf die Anlage ausgeübten Belastungen 1 Turbopumpe Pendelschieber Technische Daten Einheit Sollwert Nenndrehzahl 50000 Energie kN·m Drehmoment (C) Max. kN m Dauer ms Verzögerung ms Biegemoment (B) Max. kN m Dauer ms Verzögerung ms Max.

  • Seite 26: Positionieren Der Pumpe

    Installation Art des Ansaugflan- DN160 ISO-F DN100 ISO-F DN160 CFF DN100 CFF sches oder ISO-K oder ISO-K Anziehdrehmoment je N·m Schraube Gesamtspannkraft 108000 88500 222000 177000 Länge der Schraube ≥ 35 ≥ 40 ≥ 35 1) Die Art, Anzahl, der Grad und das Anziehdrehmoment der Schrauben sind ausschließlich und obligatorisch.

  • Seite 27: Abb. 6: Betriebspositionen

    Installation Abb. 6: Betriebspositionen Positionieren der Pumpe 1. Handhaben der Pumpe (siehe Kapitel „Handhabung der Pumpe“). 2. Die Befestigungen der Turbomolekularpumpe befestigen und sichern, um die Sicherheit des Be- dieners und die Betriebssicherheit zu garantieren (siehe Kapitel „Installationsvorschriften“). 3. Die Sicherheitsaufkleber in der Sprache des Betreibers an den am besten geeigneten und sicht- baren Stellen an der Pumpe anbringen, um den Betreiber vor folgenden potentiellen Risiken zu warnen.

  • Seite 28: Anschluss An Die Pumpleitung

    Installation Abb. 8: Installation des Pumpeneinlasses nach oben weisend 1 Hubtisch (Beispiel) Installation des Pumpeneinlasses nach oben weisend Bei Handhabung der Pumpe muss eine dem Gewicht des Produkts angemessene Hebevorrich- tung verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt variieren abhängig vom Modell (Siehe Kapitel „Technische Daten“...

  • Seite 29: Einlass Der Pumpe

    Installation Allgemeine Anweisungen für die Installation der Pumpe in eine Anlage in Übereinstimmung mit den besten Praktiken der Branche (Industrie) Die Anschlüsse am Ein- und Auslass dürfen keine übermäßige Belastung auf den Pumpenleitung aus- üben, was zu Lecks führen könnte. 1.

  • Seite 30: Auslass Der Pumpe

    Installation 5.3.2 Auslass der Pumpe WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können.

  • Seite 31: Verfahren Für Die Montage Der Steckverbinder

    Installation WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Wasser Das Produkt verwendet unter Druck stehendes Wasser als Kühlflüssigkeit. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Wasserzufuhr gesperrt werden kann.

  • Seite 32: Anschluss Der Pumpe An Den Wasserkreislauf

    Anschluss des Modells ATH 500 M 1 WATER IN/WATER OUT (Richtung spielt keine Rolle) Anschlussverfahren der Pumpe vom Modell ATH 500 M 1. Einen Kühlwasserkreislauf und ein Wasserventil zum Anpassen des Durchsatzes bereitstellen. 2. Den Wasserkühlkreislauf an einen der Anschlüsse und den anderen an den Entleerungskreislauf anschließen.

  • Seite 33: Installation Des Zubehörs Für Die Luftkühlung

    Installation Anschlussverfahren der Pumpe vom Modell ATH 500 MT 1. Einen Kühlwasserkreislauf bereitstellen. 2. Den Kühlkreislauf an die bereitgestellten Anschlüsse unter Beachtung der Durchflussrichtung an- schließen : – WATER IN = Wassereinlass am Magnetventil – WATER OUT = Entleerungskreislauf. 3. Überprüfen, dass im Wasserkreislauf oder an den Anschlüssen zum Wasserkreislauf keine Lecks vorhanden sind.

  • Seite 34: Inertgasspülung

    Installation In dieser Anleitung wird „Stickstoff“ als Inertgas bezeichnet, denn dies ist das am häufigsten verwende- te Gas. Zu weiteren Informationen zur Art des Spülgases wenden Sie sich an unser Servicecenter. GEFAHR Lebensgefahr durch Explosion beim Pumpen von Gasen, die pyrophore/entzündliche Stoffe enthalten Es besteht ein Explosionsrisiko, wenn pyrophore Stoffe, die die untere Explosionsgrenze überschrei- ten, an die Pumpe geleitet werden.

  • Seite 35: Installation Des Zubehörs Für Die Spülung

    * Andere Anschlüsse sind abhängig vom Bestellnummernleitfaden möglich (siehe Kapitel „Betroffene Produkte“). Mit einer Spülung von 50 sccm ausgestattetes Magnetventil (nur für ATH 500 M) Diese Option ist abhängig von der Pumpenkonfiguration verfügbar. Dieses Magnetventil muss mit 24 VDC betrieben werden: Die Stromversorgung und die Steuerung dieses Magnetventils liegen in der Verantwortung des Kunden.

  • Seite 36: Anschluss Des Magnetventils Lufteinlass

    Installation Anschluss des Spülzubehörs an eine Inertgasversorgungsleitung Dieses Magnetventil kann an eine Inertgasleitung angeschlossen werden. Der Inertgasspülfluss muss vorliegen, wenn die Pumpe in Betrieb ist. Wenn die Pumpe gestoppt wurde, kann das Magnetventil geschlossen werden, um einen Dichtigkeits- test an der Anlage durchzuführen. Die Stickstoffzufuhr muss für den Anschluss des Magnetventils an eine Inertgasleitung sauber und gefil- tert sein und die erforderlichen Eigenschaften (siehe Kapitel „Eigenschaften des Stickstoffgases“) auf- weisen.

  • Seite 37: Dichtigkeit Der Anlage Prüfen

    Installation 3. Den Anschluss mit ölundurchlässigem Kleber verkleben oder PTFE-Dichtung um das Gewinde wi- ckeln. 4. Den Anschluss mit einem maximalen Anziehdrehmoment von 10 N·m anziehen . 5.8 Dichtigkeit der Anlage prüfen Wenn das Produkt das Werk verlässt, wird die Dichtigkeit des Produkts unter normalen Betriebsbedin- gungen garantiert.

  • Seite 38: Schutz Der Elektrischen Installation

    Installation Elektrische Sicherheit Der Pumpenmotor wird durch die Strombegrenzung der Drehzahlregelung der Antriebselektronik gegen Überlast geschützt (im Fall von Überlast wird die Drehzahl automatisch gesenkt). Wenn ein Risiko aufgrund des versehentlichen Kontakts mit Flüssigkeiten, Gasen oder Feststoffen be- steht, muß ein festverdrahteter Notabschaltstromkreis eingerichtet werden, um die Stromversorgung abzuschalten.

  • Seite 39: Anschluss An Die Externe Stromversorgung

    Installation 5.9.2 Anschluss an die externe Stromversorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.

  • Seite 40: Abb. 14: Beispiel Für Einen Elektrischen Schaltplan

    Installation Nur Version ATH 500 M ► Das Magnetventil mit 24 VDC versorgen (kundenseitige Stromversorgung). Nur Version ATH 500 MT ► Das Heizband und das Wasserventil mit Strom versorgen . – Die Anschlüsse HEATER und VALVE auf der Frontverkleidung der Antriebselektronik sind angeschlossen.

  • Seite 41: Betrieb

    Betrieb 6 Betrieb 6.1 Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können.

  • Seite 42: Inbetriebnahme Der Pumpe

    Betrieb 6.2 Inbetriebnahme der Pumpe 6.2.1 Einschalten ► Den Schalter der Stromversorgung 48 VDC auf I stellen : die Antriebselektronik wird gestartet. – Am Ende der Initialisierung geht die gelbe LED aus und die grüne LED schaltet sich ein. 6.2.2 Anlaufen der Pumpe Die folgenden Schritte beschreiben das Verwenden der Pumpe ungeachtet des Bedienpanels.

  • Seite 43: Neustart Der Pumpe Nach Einer Notabschaltung

    Betrieb 6.2.3 Neustart der Pumpe nach einer Notabschaltung Die Notabschaltung verwaltet das Abschalten der Pumpe. Um die Pumpe nach einer Notabschaltung neu zu starten, müssen Sie: 1. Sicherstellen, dass die Pumpe gestoppt wurde (alle LEDs sind aus). 2. Warten, bis der Pumpenrotor angehalten hat. 3.

  • Seite 44: Ausschalten

    Betrieb HINWEIS Funktion Magnetventil Lufteinlass Das Magnetventil des Lufteinlasses reduziert die Bremszeit, die die Pumpe braucht, um zum Atmo- sphärendruck zu gelangen. Wenn Absperrventile auf dem Pumpeneinlass und -auslass installiert sind, wird die Effizienz der Verlangsamung des Rotors verbessert. ► Wenn die Pumpe durch eine plötzliche Luftzufuhr gestoppt wurde, begrenzen Sie die Anzahl an Neustarts auf 2 pro Stunde.

  • Seite 45: Tab. 3: Bedeutung Der Led Auf Der Ethercat-Schnittstelle

    Betrieb Sym- LED-Status Anzeige Bedeutung Ausgeschaltet Ein, Blinken 10 % Mit Strom versorgt. Pumpe gestoppt oder Grün Drehzahl < 60 min Ein, Blinken 90 % Die Pumpe hat die gewählte Drehzahl nicht erreicht. Ein, feststehendes Die Pumpe hat die gewählte Drehzahl er- Leuchten reicht.

  • Seite 46: Erweiterte Einstellungen

    Kondensationseffekte zu verhindern. Der Temperatursollwert hängt von der Anwendung ab, für die die Pumpe eingesetzt wird. Wenden Sie sich an die Anwendungsabteilung von Pfeiffer Vacuum für Beratungen zur Einstellung des richtigen Temperatursollwerts. Das Heizband und das Magnetventil Wasser ermöglichen die Verwaltung der Pumpentemperatur bis zum Temperatursollwert.

  • Seite 47: Steuerschnittstellen

    Steuerschnittstellen 8 Steuerschnittstellen 8.1 Steuerungsmodi Dieses Kapitel beschreibt die Anschlüsse und Protokolle im Zusammenhang mit jedem Steuerungsmo- dus. Es gibt 4 Steuerungsmodi: ● HHR Die Pumpe wird lokal über eine Handfernbedienung (HHR) gesteuert, die an den Anschluss SER- VICE angeschlossen ist. ● REMOTE Die Pumpe wird per Fernbedienung durch Öffnen und Schließen verschiedener potenzialfreier Relaiskontakte oder Anlegen von Spannung an den Anschluss REMOTE gesteuert.

  • Seite 48: Einschalten

    Steuerschnittstellen Taste Funktionen Taste Funktionen ● Zum nächsten oder vorherigen Menü, ● Startet die Pumpe im lokalen Modus per HHR, START nächsten oder vorherigen Parameter im an- wenn das Menü [SET UP][REMOTE CONTROL] gezeigten Menü. auf [KEYBOARD] eingestellt ist (siehe Kapitel „Menü...

  • Seite 49: Menü „Display

    Steuerschnittstellen Initialisierung des Displays Die Antriebselektronik führt einen Selbsttest durch und identifiziert die angeschlossene ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ Pumpe. Bootzeit liegt bei maximal 15 Sekunden. ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ Die Anlage wird identifiziert, die Softwareversion angezeigt und die Kommunikation mit der Pumpe getestet. HHR V0X.0Y.00 Checking procedure Währenddessen werden die Kontrollleuchten getestet und leuchten nacheinander auf.

  • Seite 50: Setup

    Steuerschnittstellen 8.2.3 SETUP Auswahl Wahlmöglichkeit Beschreibung Grundeinstel- lungen ACCESS CODE 0 bis 65535 REMOTE CONTROL Tastatur Wählt den Steuerungsmodus der Schnittstelle Entsprechend aus. Bestellnummern- Fernbedienungsgerät leitfaden. Serienschnittstelle Profibus EtherCAT® STAND-BY SPEED Aktiviert die Standby-Drehzahl der Pumpe 15000 von 15000 min-1 bis Nenn- (ausgewählte Drehzahl) zwischen Mindest- drehzahl der Pumpe drehzahl und Nenndrehzahl (= werksseitig ein-...

  • Seite 51: Steuerung Über Den Fernbedienungsanschluss

    Steuerschnittstellen 8.3 Steuerung über den Fernbedienungsanschluss HINWEIS SELV-Kreise (Safety Extra-Low Voltage, Schutzkleinspannung) Fernsteuerkreise sind mit potentialfreien Kontaktausgängen ausgerüstet (24 V - 1 A max.) Überspan- nungen und Überstrom können zu internen elektrischen Beschädigungen führen. Benutzer müssen die folgenden Einbaubedingungen befolgen: ► Schließen Sie diese Ausgänge in Übereinstimmung mit den Regeln und Schutzbestimmungen von SELV-Kreisen an.

  • Seite 52: Verkabelung Der Logikausgänge

    Steuerschnittstellen Steuerung durch potentialfreie Relaiskontakte Zum Steuern dieser Eingänge durch die externen Kontakte der Host-Anlage verbinden Sie die Stifte 10 mit 15 und verdrahten Sie die verwendeten Kontakte (Verkabelung erfolgt auf Kundenseite). Die Stifte 13, 14 sind für einen aktiven Zustand an (Stift 5) + 15 V angeschlossen. +15 V 13, 14 Abb.

  • Seite 53: Befehl Über Die Serielle Schnittstelle Rs-232/Rs-485

    Steuerschnittstellen Kontakt Funktion Relay At Speed Kontakt geschlossen: OK für Prozess (auf Drehzahl) ● Version M: Drehzahl ≥ Nenndrehzahl (eingestellt durch Parame- ter „Relay At Speed“) (siehe Kapitel „Menü „SETUP““) oder (sie- he Kapitel „Liste der Befehle“). ● Version MT: Drehzahl ≥ Nenndrehzahl (eingestellt durch Para- meter „Relay At Speed“, (siehe Kapitel „Menü...
  • Seite 54 Steuerschnittstellen Beschreibung Sollwert Parität keine (keine Parität) Stopp-Bit Echo Nein Anschluss RS-232/RS-485 Kontaktstift Belegung Datenempfang (RS-232) Datenversand (RS-232) RS-485: V- RS-485: V+ Der Benutzer muss sicherstellen, dass äußere Abschirmungen vorhanden sind, damit die Normen be- züglich EMV und elektrischer Sicherheit erfüllt werden. Anschluss RS-232 Ein Computer verwaltet eine einzelne Pumpe (P1) durch die Schnittstelle RS-232 über den Anschluss RS-232/RS-485.

  • Seite 55: Kommunikationsprotokoll

    Steuerschnittstellen 8.4.2 Kommunikationsprotokoll Steuerungsbefehle Kopfzeichen In der Werkseinstellung wird der Dezimalcode 035 für das Zeichen # verwen- Adresse Der Pumpe zugeordnete Nummer mit 3 Zeichen Reihenfolge Über die serielle Schnittstelle gesendeter Befehl, mit 3 Zeichen Parameter Anzahl der Zeichen in Abhängigkeit vom Befehl Endzeichen Dies ist das Endzeichen der Nachricht.
  • Seite 56 Steuerschnittstellen Befehl Beschrei- Funktionen Max. Grund- bung ein- stel- lung Leseab- Definiert den automatischen Leseabstand des Pumpensta- 255 s stand Da- tus (STA) in Sekunden tenlogger kei- Automati- Erlaubt das automatische Lesen des Pumpenstatus (STA) sches Lesen gemäß dem DLI-Abstand (nur RS-232) aktiviert Sendet Aktiviert, wenn ECHON (nur RS-232)
  • Seite 57 Steuerschnittstellen Befehl Beschrei- Funktionen Max. Grund- bung ein- stel- lung Einstellung Beispiel: #adrOPTXX,n<CR> der Optio- ● XX = 14 Steuerungsmodus nen/Befehle n = 0 HHR Steuerungsmodus (Tastatur) des Benut- zers n = 1 Fernsteuerungsmodus (Hardware)* n = 2 RS-232/RS-485 Steuerungsmodus n = 5 Profibus Feldbus Steuerungsmodus n = 8 EtherCAT Feldbus Steuerungsmodus * nicht möglich mit EtherCAT...
  • Seite 58 Steuerschnittstellen Befehl Beschrei- Funktionen Max. Grund- bung ein- stel- lung Einstellung Beispiel: # adrSETXX,ccccc<CR> der Be- XX = 10 Pumpenbetriebszeit (in Stunden) triebspara- XX = 30 „at speed“ Relais-Sollwert (%) meter der Pumpe XX = 31 Temperatursteuerung (°C) (Pumpe der Version XX = 32 Grenzwert Hilfslager (%) ccccc = Wert Pumpe star-...
  • Seite 59 Steuerschnittstellen Beschrei- Funktionen fehl bung keine : Pumpen- status Fehler War- Brem- (Frei) Beschleu- Drehen Einschal- nung nigen ten (Init). Temp. wenn wenn wenn beim Fehler Pum- Start-Mo- Start, bei aktiviert pen- dus akti- Drehzahl temp. zu viert ist oder hoch ist Über- drehzahl...

  • Seite 60: Betrieb Via Feldbus

    Steuerschnittstellen 8.5 Betrieb via Feldbus Anschluss und Verwenden von Pfeiffer Vacuum Turbomolekularpumpen mit einem Feldbussystem sind möglich, wenn die entsprechende Steuerschnittstelle auf der Pumpe installiert wurde (je nach Bestell- nummernleitfaden). ► Beziehen Sie sich auf die Betriebsanleitung der entsprechenden Steuerschnittstelle (siehe Kapitel „Mitgeltende Dokumente“).

  • Seite 61: Wartung

    Wartung 9 Wartung 9.1 Sicherheitshinweise zur Wartung GEFAHR Gefahr für die Gesundheit aufgrund von Restspuren der Prozessgase in der Pumpe Prozessgase sind toxisch und gesundheitsschädlich. Sie können zu Vergiftungen und Tod führen. Vor Tennen der Pumpe müssen alle Reste von Prozessgasen entfernt werden. ►...

  • Seite 62: Wartungsintervall

    Warnung ausgelöst: Die Hilfslager müssen unbedingt ausgetauscht werden. Wenn es zu weiteren Landungen kommt, geht der Zähler weiter nach unten bis auf 0 %. Diese Lager müssen von einem Pfeiffer Vacuum Servicecenter ausgetauscht werden. Rotor der Pumpe Die Lebensdauer des Pumpenrotors ändert sich mit den Betriebsbedingungen und den Anwendungen.

  • Seite 63: Kontaktinformationen

    6. Installieren einer neuen Pumpe (siehe Kapitel „Installation“). Machen Sie sich mit dem Verfahren der Service-Anforderung vertraut und füllen Sie die Kontaminati- onserklärung aus, wenn Produkte an unser Servicecenter zurückgesendet werden (siehe Kapitel “Ser- vicelösungen von Pfeiffer Vacuum”, Seite 71). 63/84...

  • Seite 64: Pumpe Von Der Anlage Trennen

    Wartung 9.4.1 Pumpe von der Anlage trennen Erinnerung an die Risiken und Sicherheitsmaßnahmen ● Beachten Sie die Sicherheitshinweise für Wartungsarbeiten. ● Befolgen Sie die speziellen Sicherheitshinweise gemäß den lokalen Gesetzen; diese Informationen werden von der Abteilung für Gesundheitsschutz und Arbeitssicherheit des Kunden bereitgestellt. Verfahren für das Trennen 1.
  • Seite 65 Wartung Sie benötigen für das Dekontaminieren und Druckbeaufschlagen der Pumpen eine Stickstoffzufuhr mit den erforderlichen Eigenschaften (siehe Kapitel „Eigenschaften des Stickstoffgases“). Sie sollten außer- dem über Anschlusszubehör verfügen, damit die Pumpe abgedichtet werden kann (siehe „Zubehöre“). Spülen von Auslass/Einlass 1. Den Spülanschluss mit einem Stopfen schließen. 2.

  • Seite 66: Außerbetriebnahme

    Ansammlung von Prozessgasen im abgeschalteten Gerät Alle Prozesspumpen wurden für den Dauerbetrieb in Pumpanwendungen mit Prozessgasen entwi- ckelt und sollten nicht gestoppt werden. Pfeiffer Vacuum lehnt jegliche Gewährleistungen für die Kon- densation von Abfallprodukten, die Ansammlung von Pulver oder die Korrosion innerhalb der Pumpe für Prozesspumpen ab, die für längere Zeit abgeschaltet werden.
  • Seite 67 Außerbetriebnahme Unsere Produkte enthalten verschiedene Werkstoffe, die recycelt werden können: Stahl, Edelstahl, Messing, Aluminium, Nickel, Kupfer, fluorierte Elastomere, PTFE, FEP und Elektronikbaugruppen. Be- sondere Vorsichtsmaßnahmen sind erforderlich bei: ● Fluorierten Elastomeren, die sich zersetzen können, wenn sie hohen Temperaturen ausgesetzt sind, ●...

  • Seite 68: Störungen

    Störungen 11 Störungen 11.1 Störung und Fehleranzeige Lesen Sie die Sicherheitshinweise zur Wartung (siehe Kapitel „Sicherheitshinweise zur Wartung“). Wenn ein Problem auftritt, wird der Benutzer gewarnt durch: ● Aktivierung der LED Fehler/Warnung ● Akustische Warnung auf der HHR (wenn aktiviert) ● Aktivierung der Fehlerkontakte auf dem Anschluss REMOTE ●...
  • Seite 69 Störungen Die Pumpe ist in Betrieb und eine Fehlermeldung wird angezeigt Meldung Symptom Ursache Lösung Unbalance fault Antriebselektronik stoppt Antriebselektronik kann den ● Prüfen, dass die Pumpe korrekt am den Motor. Das Magnetven- Rotor nicht positionieren. Rahmen befestigt ist (siehe Kapitel Bearing overlo- til des Lufteinlasses ist ge- „Installationsvorschriften“).
  • Seite 70 Störungen Die Pumpe ist in Betrieb und eine Fehlermeldung wird angezeigt Meldung Symptom Ursache Lösung Rotate during Die Pumpe wird mit Strom Die Pumpe kann nicht an- ● Warten, dass der Rotor gestoppt hat, Powerup versorgt, der Rotor ist immer laufen.

  • Seite 71: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 72 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Seite 73: Zubehöre

    Zubehöre 13 Zubehöre Zubehör Funktion Abmessung Bestellnummer Absperrventil Dieses Ventil wird verwen- Handventil siehe Herstellerkatalog det, um das Vakuum in der Pumpe beizubehalten und in der Pumpleitung zu isolie- ren. Handfernbedie- Dieses Zubehör ermöglicht Steuerungskasten mit Ka- 114461 nung der Mensch-Maschinen- Schnittstelle die Steuerung der Pumpe im lokalen Mo- dus.
  • Seite 74 Zubehöre Zubehör Funktion Abmessung Bestellnummer Anschlusszubehö- Für den Auslass (Druck- Blindflansch DN 25 ISO-KF 114419 beaufschlagung) mit Einspritzdüsenan- DN 40 ISO-KF 065053 schluss Einspritzdüse 106859 Blindflansche, Spannkrallen und Klemmschellen sind im Katalog für Anschlusszubehöre auf der Website unter pfeiffer-va- cuum.comzu finden. Die für die Anwendung geeigneten Materialeigenschaften wählen. 74/84...

  • Seite 75: Ersatzteile

    Ersatzteile 14 Ersatzteile Beschreibung Version der Pumpe Bestellnummer Kommentare 24 VDC Spule ATH 500 M 038066 für Spülventil und Luftein- lassventil ATH 500 MT Staubfilter ATH 500 M 106229 auf Magnetventil Luftein- lass ATH 500 MT Kabel Lüfter 48 VDC ATH 500 M...

  • Seite 76: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbomolekularpumpen: ► Vorgaben des PNEUROP Komitees PN5. ► ISO 21360; 2007: „Vakuumtechnik – Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Va- kuumpumpen – Allgemeine Beschreibung“...
  • Seite 77 Technische Daten und Abmessungen Technische Daten Einheiten ATH 500 M ATH 500 M ATH 500 MT Saugvermögen Kompressionsver- > 2 · 10 > 2 · 10 > 2 · 10 hältnis > 8 · 10 > 8 · 10 > 8 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 > 2 · 10 > 2 · 10 >...

  • Seite 78: 1Eigenschaften Der Umgebung

    Technische Daten und Abmessungen Technische Daten Einheiten ATH 500 M ATH 500 M ATH 500 MT Schalldruckpegel dB(A) < 42 < 42 < 42 Wasserkühlfluss l/mn Kühlart (Zubehör) Wasser/(Luft) Wasser/(Luft) Wasser Gewicht (Luftküh- lung) Gewicht (Wasser- kühlung) Empfohlene Vor- 15 mind.

  • Seite 79: 3Eigenschaften Des Stickstoffgases

    Technische Daten und Abmessungen 5,5 bis 9 100 bis 20 ppm je nach pH-Wert Chloride Härte < 35 °fH (französischer Härtegrad) < 7 Milliäquivalent/L Chloride (ppm) < 350 mg/L CaCO (Calciumcarbonat) Vollständig gelöste Feststoffe < 100 mg/L LSI (Langelier-Sättigungsindex) < 0 bis 20°C = pH - pHs Partikelgröße <...

  • Seite 80: Tab. 15: Eigenschaften Der Externen Stromversorgung Von 48 Vdc

    Das mit dieser Stromversorgung verwendete Kabel muss mit der Versorgungsspannung und der Strom- stärke der Pumpe kompatibel sein (48 VDC, 12 A). 15.3 Abmessungen Abmessungen (mm) max. Exh. 3 x M8 Abb. 19: Abmessungen ATH 500 M 1 M4-Bohrungen für Erdungsanschluss Schwerpunkt Exh. Abb. 20: Abmessungen ATH 500 M mit Luftkühlung 80/84...

  • Seite 81: Abb. 21: Abmessungen Ath 500 Mt

    Technische Daten und Abmessungen Exh. 30° Abb. 21: Abmessungen ATH 500 MT 1 M4-Bohrungen für Erdungsanschluss Schwerpunkt Ansaugflansch DN 160 ISO-F 159,3 182,5 182,2 254,9 112,6 DN 160 ISO-K 159,3 182,5 182,2 254,9 128,6 11,3 DN 160 CF-F 180,3 203,5 203,2 275,9 181,1...

  • Seite 82: Konformitätserklärung

    NF EN 61000-6-2: 2019 NF EN 61000-6-4: 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Varen- nes Nicolas, Pfeiffer Vacuum SAS (eine vereinfachte Aktiengesellschaft nach französischem Recht), 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum SAS...
  • Seite 83 83/84...

Diese Anleitung auch für:

Ath 500 mt

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