Pfeiffer Vacuum ATH 500 MT Handbücher

Anleitungen und Benutzerhandbücher für Pfeiffer Vacuum ATH 500 MT. Wir haben 1 Pfeiffer Vacuum ATH 500 MT Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum ATH 500 MT Betriebsanleitung (84 Seiten)

Magnetgelagerte Turbopumpe

Marke: Pfeiffer Vacuum | Kategorie: Pumpen | Dateigröße: 7.36 MB

Inhaltsverzeichnis

Haftungsausschluss
2
Inhaltsverzeichnis
3
Zu dieser Anleitung
8
Gültigkeit
8
Mitgeltende Dokumente
8
Betroffene Produkte
8
Zielgruppe
9
Konventionen
9
Anweisungen IM Text
9
Piktogramme
9
Aufkleber
9
Abkürzungen
10
Markenzeichennachweis
10
Sicherheit
11
Allgemeine Sicherheitshinweise
11
Sicherheitshinweise
11
Sicherheitshinweise in Bezug auf Entzündliche/Pyrophore Materialien
14
Sicherheitsmaßnahmen
15
Bestimmungsgemäße Verwendung
15
Vorhersehbarer Fehlgebrauch
15
Transport und Lagerung
17
Annahme des Produkts
17
Handhabung der Pumpe
17
Lagerung
18
Produktbeschreibung
19
Produktidentifizierung
19
Lieferumfang
19
Produktanwendungen
19
Mensch-Maschinen-Schnittstelle
20
Abb. 1: Beschreibung einer Pumpe ATH 500 der Version M
20
Abb. 2: Beschreibung einer Pumpe ATH 500 der Version MT
20
Antriebselektronik
21
Abb. 3: Beispiel einer Integrierten Antriebselektronik
21
Installation
23
Anweisungen für den Einbau an der Anlage
23
Installationsvorschriften
24
Abb. 4: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage
24
Sichern von Anlage und Rahmen
25
Tab. 1: auf die Anlage Ausgeübte Belastungen
25
Abb. 5: Diagramm der auf die Anlage Ausgeübten Belastungen
25
Positionieren der Pumpe
26
Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch)
26
Abb. 6: Betriebspositionen
27
Abb. 7: Installieren der Pumpe in der Horizontalen
27
Anschluss an die Pumpleitung
28
Abb. 8: Installation des Pumpeneinlasses nach Oben Weisend
28
Einlass der Pumpe
29
Auslass der Pumpe
30
Anschluss des Wasserkreislaufs
30
Verfahren für die Montage der Steckverbinder
31
Anschluss der Pumpe an den Wasserkreislauf
32
Installation des Zubehörs für die Luftkühlung
33
Anschluss des Stickstoffkreislaufs
33
Abb. 9: Montage des Zubehörs für die Luftkühlung
33
Inertgasspülung
34
Abb. 10: Spülflussdiagramm
34
Installation des Zubehörs für die Spülung
35
Abb. 11: Spülsatz
35
Anschluss des Magnetventils Lufteinlass
36
Dichtigkeit der Anlage Prüfen
37
Anschluss an die Stromversorgung
37
Schutz der Elektrischen Installation
38
Anschluss an die Externe Stromversorgung
39
Abb. 12: Stecker der Stromversorgung von 48 VDC
39
Abb. 13: Verkabelung des Lüfters an die Externe Stromversorgung von 48 VDC
39
Abb. 14: Beispiel für einen Elektrischen Schaltplan
40
Betrieb
41
Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden
41
Inbetriebnahme der Pumpe
42
Einschalten
42
Anlaufen der Pumpe
42
Abb. 15: Pumpeninstallationsplan
42
Neustart der Pumpe nach einer Notabschaltung
43
Abschalten der Pumpe
43
Abschaltung der Pumpe
43
Ausschalten
44
Längerer Stillstand
44
Überwachung des Betriebs
44
Tab. 3: Bedeutung der LED auf der Ethercat-Schnittstelle
45
Tab. 4: Bedeutung der LED auf der Schnittstelle Remote/Rs232-Rs485/Profibus
45
Erweiterte Einstellungen
46
Temperaturmanagementsystem der Pumpe
46
Bremsen der Pumpe
46
Steuerschnittstellen
47
Steuerungsmodi
47
Steuerung über die HHR
47
Einschalten
48
Tab. 5: Beschreibung der HHR-Tasten
48
Menü „DISPLAY
49
Setup
50
Menü „SER NUM
50
Steuerung über den Fernbedienungsanschluss
51
Verkabelung der Logikeingänge
51
Abb. 16: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch Gleichspannung
51
Funktion
51
Verkabelung der Logikausgänge
52
Abb. 17: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch Potentialfreie Relaiskontakte
52
Abb. 18: Anschluss Fernbedienung: Digitale Ausgänge
52
Befehl über die Serielle Schnittstelle RS-232/RS-485
53
Verbindungen
53
Kommunikationsprotokoll
55
Liste der Befehle
55
Betrieb Via Feldbus
60
Wartung
61
Sicherheitshinweise zur Wartung
61
Wartungsintervall
62
Kontaktinformationen
63
Vor-Ort-Wartung
63
Austauschverfahren durch einen Ersatzprodukt
63
Pumpe von der Anlage Trennen
64
Entleeren des Wasserkreislaufs
64
Pumpe für den Versand Vorbereiten
64
Außerbetriebnahme
66
Abschaltung für Längere Zeit
66
Wiederinbetriebnahme
66
Entsorgung
66
Störungen
68
Störung und Fehleranzeige
68
Störung
68
Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum
71
Zubehöre
73
Ersatzteile
75
Tab. 6: Ersatzteile - ATH 500
75
Technische Daten und Abmessungen
76
Allgemeines
76
Technische Daten
76
Tab. 7: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
76
Tab. 8: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
76
1Eigenschaften der Umgebung
78
2Eigenschaften des Kühlwassers
78
Tab. 9: Technische Eigenschaften
78
Tab. 10: Eigenschaften der Umgebung
78
3Eigenschaften des Stickstoffgases
79
4Elektrische Eigenschaften
79
Tab. 11: Eigenschaften des Kühlwassers
79
Tab. 12: Eigenschaften des Stickstoffgases
79
Tab. 13: Elektrische Eigenschaften der Pumpe
79
Tab. 14: Elektrische Eigenschaften des Kundennetzwerks
79
Tab. 15: Eigenschaften der Externen Stromversorgung von 48 VDC
80
Abmessungen
80
Abb. 19: Abmessungen ATH 500 M
80
Abb. 20: Abmessungen ATH 500 M mit Luftkühlung
80
Abb. 21: Abmessungen ATH 500 MT
81
Konformitätserklärung
82

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