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ATH 1603 M
Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Handbücher
Anleitungen und Benutzerhandbücher für Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M. Wir haben
4
Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Anleitungen zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Betriebsanleitung
Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Betriebsanleitung (84 Seiten)
Magnetgelagerte Turbopumpe
Marke:
Pfeiffer Vacuum
| Kategorie:
Pumpen
| Dateigröße: 7 MB
Inhaltsverzeichnis
Haftungsausschluss
2
Inhaltsverzeichnis
3
Zu dieser Anleitung
8
Gültigkeit
8
Mitgeltende Dokumente
8
Betroffene Produkte
8
Zielgruppe
9
Konventionen
9
Anweisungen IM Text
9
Piktogramme
9
Aufkleber
9
Abkürzungen
10
Markenzeichennachweis
10
Sicherheit
11
Allgemeine Sicherheitshinweise
11
Sicherheitshinweise
11
Sicherheitshinweise in Bezug auf Entzündliche/Pyrophore Materialien
14
Sicherheitsmaßnahmen
15
Bestimmungsgemäße Verwendung
15
Vorhersehbarer Fehlgebrauch
15
Transport und Lagerung
17
Annahme des Produkts
17
Handhabung der Pumpe
17
Lagerung
18
Produktbeschreibung
19
Produktidentifizierung
19
Lieferumfang
19
Produktanwendungen
19
Mensch-Maschinen-Schnittstelle
20
Abb. 1: Beschreibung einer Pumpe ATH 500 der Version M
20
Abb. 2: Beschreibung einer Pumpe ATH 500 der Version MT
20
Antriebselektronik
21
Abb. 3: Beispiel einer Integrierten Antriebselektronik
21
Installation
23
Anweisungen für den Einbau an der Anlage
23
Installationsvorschriften
24
Abb. 4: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage
24
Sichern von Anlage und Rahmen
25
Tab. 1: auf die Anlage Ausgeübte Belastungen
25
Abb. 5: Diagramm der auf die Anlage Ausgeübten Belastungen
25
Positionieren der Pumpe
26
Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch)
26
Abb. 6: Betriebspositionen
27
Abb. 7: Installieren der Pumpe in der Horizontalen
27
Anschluss an die Pumpleitung
28
Abb. 8: Installation des Pumpeneinlasses nach Oben Weisend
28
Einlass der Pumpe
29
Auslass der Pumpe
30
Anschluss des Wasserkreislaufs
30
Verfahren für die Montage der Steckverbinder
31
Anschluss der Pumpe an den Wasserkreislauf
32
Installation des Zubehörs für die Luftkühlung
33
Anschluss des Stickstoffkreislaufs
33
Abb. 9: Montage des Zubehörs für die Luftkühlung
33
Inertgasspülung
34
Abb. 10: Spülflussdiagramm
34
Installation des Zubehörs für die Spülung
35
Abb. 11: Spülsatz
35
Anschluss des Magnetventils Lufteinlass
36
Dichtigkeit der Anlage Prüfen
37
Anschluss an die Stromversorgung
37
Schutz der Elektrischen Installation
38
Anschluss an die Externe Stromversorgung
39
Abb. 12: Stecker der Stromversorgung von 48 VDC
39
Abb. 13: Verkabelung des Lüfters an die Externe Stromversorgung von 48 VDC
39
Abb. 14: Beispiel für einen Elektrischen Schaltplan
40
Betrieb
41
Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden
41
Inbetriebnahme der Pumpe
42
Einschalten
42
Anlaufen der Pumpe
42
Abb. 15: Pumpeninstallationsplan
42
Neustart der Pumpe nach einer Notabschaltung
43
Abschalten der Pumpe
43
Abschaltung der Pumpe
43
Ausschalten
44
Längerer Stillstand
44
Überwachung des Betriebs
44
Tab. 3: Bedeutung der LED auf der Ethercat-Schnittstelle
45
Tab. 4: Bedeutung der LED auf der Schnittstelle Remote/Rs232-Rs485/Profibus
45
Erweiterte Einstellungen
46
Temperaturmanagementsystem der Pumpe
46
Bremsen der Pumpe
46
Steuerschnittstellen
47
Steuerungsmodi
47
Steuerung über die HHR
47
Einschalten
48
Tab. 5: Beschreibung der HHR-Tasten
48
Menü „DISPLAY
49
Setup
50
Menü „SER NUM
50
Steuerung über den Fernbedienungsanschluss
51
Verkabelung der Logikeingänge
51
Abb. 16: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch Gleichspannung
51
Funktion
51
Verkabelung der Logikausgänge
52
Abb. 17: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch Potentialfreie Relaiskontakte
52
Abb. 18: Anschluss Fernbedienung: Digitale Ausgänge
52
Befehl über die Serielle Schnittstelle RS-232/RS-485
53
Verbindungen
53
Kommunikationsprotokoll
55
Liste der Befehle
55
Betrieb Via Feldbus
60
Wartung
61
Sicherheitshinweise zur Wartung
61
Wartungsintervall
62
Kontaktinformationen
63
Vor-Ort-Wartung
63
Austauschverfahren durch einen Ersatzprodukt
63
Pumpe von der Anlage Trennen
64
Entleeren des Wasserkreislaufs
64
Pumpe für den Versand Vorbereiten
64
Außerbetriebnahme
66
Abschaltung für Längere Zeit
66
Wiederinbetriebnahme
66
Entsorgung
66
Störungen
68
Störung und Fehleranzeige
68
Störung
68
Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum
71
Zubehöre
73
Ersatzteile
75
Tab. 6: Ersatzteile - ATH 500
75
Technische Daten und Abmessungen
76
Allgemeines
76
Technische Daten
76
Tab. 7: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
76
Tab. 8: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
76
1Eigenschaften der Umgebung
78
2Eigenschaften des Kühlwassers
78
Tab. 9: Technische Eigenschaften
78
Tab. 10: Eigenschaften der Umgebung
78
3Eigenschaften des Stickstoffgases
79
4Elektrische Eigenschaften
79
Tab. 11: Eigenschaften des Kühlwassers
79
Tab. 12: Eigenschaften des Stickstoffgases
79
Tab. 13: Elektrische Eigenschaften der Pumpe
79
Tab. 14: Elektrische Eigenschaften des Kundennetzwerks
79
Tab. 15: Eigenschaften der Externen Stromversorgung von 48 VDC
80
Abmessungen
80
Abb. 19: Abmessungen ATH 500 M
80
Abb. 20: Abmessungen ATH 500 M mit Luftkühlung
80
Abb. 21: Abmessungen ATH 500 MT
81
Konformitätserklärung
82
Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Betriebsanleitung (84 Seiten)
Marke:
Pfeiffer Vacuum
| Kategorie:
Pumpen
| Dateigröße: 12 MB
Inhaltsverzeichnis
Haftungsausschluss
2
Inhaltsverzeichnis
3
Zu dieser Anleitung
7
Gültigkeit
7
Betroffene Produkte
7
Mitgeltende Dokumente
7
Konventionen
7
Piktogramme
7
Zielgruppe
7
Anweisungen IM Text
8
Aufkleber
8
Abkürzungen
9
Sicherheit
10
Allgemeine Sicherheitshinweise
10
Sicherheitshinweise
10
Sicherheitshinweise in Bezug auf Entzündliche/Pyrophore Materialien
13
Sicherheitsmaßnahmen
14
Bestimmungsgemäße Verwendung
14
Vorhersehbarer Fehlgebrauch
14
Transport und Lagerung
16
Annahme des Produkts
16
Handhabung der Pumpe
16
Lagerung
17
Produktbeschreibung
18
Produktidentifizierung
18
Lieferumfang
18
Produktanwendungen
18
Optionen
18
Mensch-Maschinen-Schnittstelle
19
Abb. 1: Beschreibung einer ATH 3204 M Pumpe
19
Abb. 2: Beschreibung einer ATH 3204 MT Pumpe
19
Antriebselektronik
20
Abb. 3: Beispiel einer Integrierten Antriebselektronik
20
Installation
22
Anweisungen für den Einbau an der Anlage
22
Installationsvorschriften
23
Abb. 4: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage
23
Sichern von Anlage und Rahmen
24
Abb. 5: Diagramm der auf die Anlage Ausgeübten Belastungen
24
Positionieren der Pumpe
25
Abb. 6: Betriebspositionen
25
Abb. 7: Installieren der Pumpe in der Horizontalen
26
Anschluss an die Pumpleitung
27
Abb. 8: Installation des Pumpeneinlasses nach Oben Weisend
27
Einlass der Pumpe
28
Auslass der Pumpe
29
Anschluss des Wasserkreislaufs
29
Verfahren für die Montage der Steckverbinder
30
Anschluss der Pumpe an den Wasserkreislauf
30
Anschluss des Stickstoffkreislaufs
31
Abb. 9: Spülflussdiagramm
32
Anschluss des Magnetventils Lufteinlass
33
Dichtigkeit der Anlage Prüfen
34
Anschluss an die Stromversorgung
34
Schutz der Elektrischen Installation
35
Netzanschluss
36
Abb. 10: Elektrischer Anschluss mit einem Elektrischen Steckverbinder
36
Abb. 11: Typischer Schaltplan
37
Betrieb
38
Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden
38
Inbetriebnahme der Pumpe
39
Einschalten
39
Anlaufen der Pumpe
39
Neustart der Pumpe nach einer Notabschaltung
40
Abschalten der Pumpe
40
Abschalten
40
Ausschalten
41
Längerer Stillstand
41
Überwachung des Betriebs
42
Erweiterte Einstellungen
43
Temperaturmanagementsystem der Pumpe
43
Bremsen der Pumpe
43
Steuerschnittstellen
44
Steuerungsmodi
44
Steuerung über die HHR
44
Einschalten
45
Menü „DISPLAY
46
Menü „SETUP
47
Ser Num
47
Steuerung über den Fernbedienungsanschluss
48
Verkabelung der Logikeingänge
48
Abb. 12: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch Gleichspannung
48
Funktion
48
Verkabelung der Logikausgänge
49
Abb. 13: Fernbedienungsanschluss: Steuerung durch Potentialfreie Relaiskontakte
49
Abb. 14: Anschluss Fernbedienung: Digitale Ausgänge
49
Befehl über die Serielle Schnittstelle RS-232/RS-485
50
Verbindungen
50
Kommunikationsprotokoll
52
Liste der Befehle
52
Betrieb Via Feldbus
58
Wartung
59
Sicherheitshinweise zur Wartung
59
Wartungsintervall
60
Kontaktinformationen
61
Vor-Ort-Wartung
61
Austauschverfahren durch einen Ersatzprodukt
61
Pumpe von der Anlage Trennen
62
Entleeren des Wasserkreislaufs
62
Pumpe für den Versand Vorbereiten
63
Außerbetriebnahme
64
Abschalten für Längere Zeit
64
Wiederinbetriebnahme
64
Entsorgung
64
Störungen
66
Störung und Fehleranzeige
66
Störung
66
Zubehöre
70
Ersatzteile
72
Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum
73
Technische Daten und Abmessungen
75
Allgemeines
75
Technische Eigenschaften
75
Eigenschaften der Umgebung
76
Eigenschaften des Kühlwassers
77
Eigenschaften des Stickstoffgases
77
Elektrische Eigenschaften
78
Abmessungen
78
Abb. 15: ATH 2804 M - ATH 3204 M - Abmessungen
78
Abb. 16: ATH 2804 MT - ATH 3204 MT - Abmessungen
79
Abb. 17: Magnetventil Spülung - Abmessungen
80
Abb. 18: Magnetventil Lufteinlass - Abmessungen
80
EG Konformitätserklärung
81
ETL Zeichen
82
Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Betriebsanleitung (64 Seiten)
Magnetgelagerte Turbomolekularpumpe
Marke:
Pfeiffer Vacuum
| Kategorie:
Pumpen
| Dateigröße: 7 MB
Inhaltsverzeichnis
Haftungsausschluss
2
Inhaltsverzeichnis
3
Zu dieser Anleitung
7
Gültigkeit
7
Mitgeltende Dokumente
7
Betroffene Produkte
7
Zielgruppe
7
Konventionen
7
Anweisungen IM Text
7
Piktogramme
7
Aufkleber
8
Abkürzungen
9
Sicherheit
10
Allgemeine Sicherheitshinweise
10
Sicherheitshinweise
10
Sicherheitshinweise in Bezug auf Entzündliche/Pyrophore Materialien
13
Sicherheitsmaßnahmen
14
Bestimmungsgemäße Verwendung
14
Vorhersehbarer Fehlgebrauch
14
Transport und Lagerung
16
Annahme des Produkts
16
Handhabung der Pumpe
16
Lagerung
17
Produktbeschreibung
18
Produktidentifizierung
18
Lieferumfang
18
Produktanwendungen
18
Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle
19
Abb. 1: Beschreibung einer ATH 2300 M Pumpe
19
Abb. 2: Beschreibung einer ATH 2300 MT Pumpe
19
Installation
20
Anweisungen für den Einbau an der Anlage
20
Installationsvorschriften
21
Abb. 3: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage
21
Sichern von Anlage und Rahmen
22
Tab. 1: auf die Anlage Ausgeübte Lasten
22
Abb. 4: Diagramm der auf die Anlage Ausgeübten Lasten - ATH 2300 M
22
Positionieren der Pumpe
23
Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch)
23
Abb. 5: Installieren der Pumpe in der Horizontalen
24
Anschluss an die Pumpleitung
25
Abb. 6: Installation des Pumpeneinlasses nach Oben Weisend
25
Einlass der Pumpe
26
Auslass der Pumpe
27
Anschluss des Wasserkreislaufs
27
Verfahren für die Montage der Steckverbinder
28
Anschluss der Pumpe an den Wasserkreislauf
29
Anschluss Stickstoffkreis
29
Abb. 7: Spülflussdiagramm
30
Anschluss des Magnetventils des Lufteinlasses
31
Dichtigkeit der Anlage Prüfen
32
Anschluss an die Stromversorgung
32
Schutz der Elektrischen Installation
33
Betrieb
35
Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden
35
Inbetriebnahme der Pumpe
36
Einschalten
36
Start der Pumpe
36
Neustart der Pumpe nach einer Notabschaltung
36
Abschalten der Pumpe
37
Ausschalten
38
Längerer Stillstand
38
Überwachung des Betriebs
38
Wartung
39
Sicherheitshinweise zur Wartung
39
Wartungsintervall
40
Kontaktinformationen
41
Vor-Ort Wartung
41
Austauschverfahren durch einen Ersatzprodukt
41
Pumpe von der Anlage Trennen
42
Entleeren des Wasserkreislaufs
42
Pumpe für den Versand Vorbereiten
42
Außerbetriebnahme
45
Abschalten für Längere Zeit
45
Wiederinbetriebnahme
45
Entsorgung
45
Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum
47
Zubehör
49
Funktion
49
Ersatzteile
51
Technische Daten und Abmessungen
52
Allgemeines
52
Technische Eigenschaften
52
Tab. 3: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
52
Tab. 4: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
52
Eigenschaften der Umgebung
54
Eigenschaften des Kühlwassers
54
Eigenschaften des Stickstoffgases
54
Tab. 5: Eigenschaften der Umgebung
54
Tab. 6: Eigenschaften des Kühlwassers
54
Elektrische Eigenschaften
55
Tab. 7: Eigenschaften des Stickstoffgases
55
Tab. 8: Elektrische Eigenschaften der Pumpe
55
Tab. 9: Elektrische Eigenschaften des Kundennetzwerks
55
Abmessungen und Gewicht
56
Abb. 8: Abmessungen ATH 2300 M
56
Abb. 9: Abmessungen ATH 2300 MT
57
Abb. 10: Abmessungen ATH 2300 MT mit OBC
58
Abb. 11: Abmessungen des Magnetventils Spülung
59
Abb. 12: Abmessungen des Einlassventils
59
Abb. 13: Abmessungen des Wasserventils
60
Abb. 14: Gewicht von ATH 2300 M-MT
60
UK Konformitätserklärung
61
EG Konformitätserklärung
62
Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Betriebsanleitung (60 Seiten)
Magnetgelagerte Turbopumpe
Marke:
Pfeiffer Vacuum
| Kategorie:
Pumpen
| Dateigröße: 6 MB
Inhaltsverzeichnis
Haftungsausschluss
2
Inhaltsverzeichnis
3
1 Zu dieser Anleitung
7
Gültigkeit
7
Betroffene Produkte
7
Mitgeltende Dokumente
7
Konventionen
7
Piktogramme
7
Zielgruppe
7
Anweisungen IM Text
8
Aufkleber
8
Abkürzungen
9
2 Sicherheit
10
Allgemeine Sicherheitshinweise
10
Sicherheitshinweise
10
Sicherheitshinweise in Bezug auf Entzündliche/Pyrophore Materialien
13
Sicherheitsmaßnahmen
14
Bestimmungsgemäße Verwendung
14
Vorhersehbarer Fehlgebrauch
14
3 Transport und Lagerung
16
Annahme des Produkts
16
Handhabung der Pumpe
16
Lagerung
17
4 Produktbeschreibung
18
Produktidentifizierung
18
Lieferumfang
18
Produktanwendungen
18
Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle
19
Abb. 1: Beschreibung einer ATH 1603 M Pumpe
19
Abb. 2: Beschreibung einer ATH 2303 M Pumpe
19
5 Installation
20
Anweisungen für den Einbau an der Anlage
20
Installationsvorschriften
21
Abb. 3: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage
21
Tab. 1: auf die Anlage Ausgeübte Lasten
22
Abb. 4: Diagramm der auf die Anlage Ausgeübten Lasten - ATH 1603 M
22
Abb. 5: Diagramm der auf die Anlage Ausgeübten Lasten - ATH 2303 M
22
Sichern von Anlage und Rahmen
23
Positionieren der Pumpe
23
Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch)
23
Anschluss an die Pumpleitung
24
Einlass der Pumpe
25
Auslass der Pumpe
25
Anschluss des Wasserkreislaufs
26
Verfahren für die Montage der Steckverbinder
26
Anschluss der Pumpe an den Wasserkreislauf
27
Anschluss Stickstoffkreis
28
Abb. 6: Spülflussdiagramm
29
Anschluss des Magnetventils des Lufteinlasses
30
Prüfen Sie, dass die Anlage Dicht ist
30
Anschluss an die Stromversorgung
31
Schutz der Elektrischen Installation
32
6 Betrieb
33
Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden
33
Inbetriebnahme der Pumpe
34
Einschalten
34
Start der Pumpe
34
Neustart der Pumpe nach einer Notabschaltung
34
Abschaltung der Pumpe
35
Ausschalten
36
Längerer Stillstand
36
Überwachung des Betriebs
36
7 Wartung
37
Sicherheitshinweise zur Wartung
37
Wartungsintervall
38
Kontaktinformationen
39
Vor-Ort-Wartung
39
Austauschverfahren für Ersatzprodukte
39
Pumpe von der Anlage Trennen
40
Entleeren des Wasserkreislaufs
40
Pumpe für den Versand Vorbereiten
40
8 Außerbetriebnahme
43
Abschaltung für Längere Zeit
43
Wiederinbetriebnahme
43
Entsorgung
43
9 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum
45
10 Zubehör
47
Funktion
47
11 Ersatzteile
49
12 Technische Daten und Abmessungen
50
Allgemeines
50
Technische Eigenschaften
50
Tab. 3: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
50
Tab. 4: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
50
Eigenschaften der Umgebung
51
Eigenschaften des Kühlwassers
52
Eigenschaften des Stickstoffgases
52
Tab. 5: Eigenschaften der Umgebung
52
Tab. 6: Eigenschaften des Kühlwassers
52
Tab. 7: Eigenschaften des Stickstoffgases
52
Elektrische Eigenschaften
53
Abmessungen und Gewicht
53
Tab. 8: Elektrische Eigenschaften der Pumpe
53
Tab. 9: Elektrische Eigenschaften des Kundennetzwerks
53
Abb. 7: Abmessungen ATH 1603 M
53
Abb. 8: Abmessungen von ATH 1603 M mit OBC
54
Abb. 9: Abmessungen ATH 2303 M
55
Abb. 10: Abmessungen von ATH 2303 M mit OBC
56
Abb. 11: Abmessungen des Magnetventils Spülung
57
Abb. 12: Abmessungen des Einlassventils
57
Konformitätserklärung
58
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