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Ausheizen - Pfeiffer Vacuum HPT 200 Betriebsanleitung

Pirani kaltkathoden transmitter
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Betrieb
6.2

Ausheizen

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Überhöhte Ausheiztemperatur!
Gefahr der Beschädigung von Elektronik und ggf. Magneteinheit!
 Bei Ausheiztemperaturen > 60°C, vor dem Ausheizen Elektronik und ggf. Magnetein-
heit immer vom Sensorkopf 5 abnehmen und ausschließlich Flansch ausheizen.
 Deckel 5a nicht thermisch isolieren. Er muss während des Ausheizens durch Kon-
vektion der Raumluft gekühlt werden.
 Auf die Zuordnung der Komponenten zueinander achten, nicht vertauschen.
5
4
3
Abb. 6: Sensorbaugruppe austauschen
Während des Ausheizens des Sensorkopfes kann dieser am Vakuumsystem montiert
verbleiben.
 Rändelmuttern 3 an der Flanschseite herausdrehen,
– auf Dichtscheiben 4 achten, da sie die Schutzklasse gewährleisten.
 Gehäuse 7 incl. Elektronik vom Sensorkopf abziehen.
 Sensorkopf 5 ausheizen; auf max. Ausheiztemperatur (180 °C) am Flansch achten.
 Transmitter abgleichen.
VORSICHT
6
5a
7

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