Pfeiffer Vacuum HPT 200 Betriebsanleitung Seite 24

Technische Daten und Maßbilder
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Korrekturfaktor Pirani:
N 1,00
2
Luft 1,00
H 0,58
2
He 1,02
Ar 1,59
CO 0,89
2
CF 0,95
4
Relative Empfindlichkeit im molekularen Bereich (1 · 10
Korrekturfaktor BA-Sensor:
He 5,93
H 2,39
2
Ar 0,80
CO 0,74
2
C H 0,32
3 8
Ne 3,50
Kr 0,60
Xe 0,41
R 0,28
12
CF 0,57
4
-1
mbar)