IFM Electronic efector500 Bedienungsanleitung Seite 42

Temperaturgang
1. Temperaturgang des Null-Signals
2. Temperaturgang des Signals
Bei der Fertigung von Polysilizium wird daher Wert darauf gelegt, dass es
keine Vorzugsrichtung im Material gibt. Polysilizium ist also isotrop.
Piezo-Dünnfilm DMS
Piezo-Dünnfilm DMS werden ähnlich wie metallische DMS auf einen Trä-
ger aus Silizium aufgebracht. Da sie auch durch eine isolierende Schicht
vom Träger getrennt werden, ist hier der Fertigungsaufwand hoch. Piezo-
Einkristall-DMS bestehen aus einem Federkörper, Membran oder Balken,
in den leitfähige Zonen eindotiert werden.
In Piezo-Dünnfilm-DMS hat isotropes Polysilizium Temperaturbereiche von
maximal -30°C bis +200°C und ist auch langzeitstabil. Piezo-Einkristall-
DMS haben einen Temperaturbereich von maximal -30°C bis +120°C.
Dickfilm-DMS
Dickfilm-DMS werden durch Siebdruck auf keramische oder metallische
Membranen oder Biegebalken aufgebracht. Die Schichtdicke beträgt ca.
20 Mikrometer. Sie ist ca. 1000-mal dicker als Dünnfilm-DMS. Der k-Faktor
beträgt hier 10 bis 50. Messgeräte mit diesem Material werden in Druckbe-
reichen von 0,4 bis 200 bar eingesetzt.
Vorteil:
Die Fertigung ist billiger, d. h. die Geräte sind preisgünstig.
Nachteil:
Die alternde Dickschicht führt zu einer Langzeitdrift des Widerstandes. Die
Temperaturkompensation ist aufwendig.
Bei den Messfehlern durch Temperatureffekte unterscheidet man zwei
Arten:
Das bedeutet eine Verschiebung des Bezugspunktes. Es handelt sich um
einen absoluten Fehler. Er vergrößert sich also bei einer Verringerung des
Messbereichs. Er wirkt sich am meisten bei kleinen Messwerten aus. Er
wird in der Norm als thermische Änderung des Nullsignals (thermal zero
shift) bezeichnet.
Einflussgrößen:
Genauigkeit des Brückenabgleichs
lokale Temperaturunterschiede
Gegenmaßnahmen:
Konstruktive Änderungen bei der Anordnung der DMS
Einflussgrößen:
diverse
Gegenmaßnahmen:
Konstruktive Änderungen bei der Anordnung der DMS
Das bedeutet eine Verfälschung des eigentlichen Messwertes. Hierbei
handelt es sich um einen relativen Fehler. Er wird auch als Temperatur-
gang des Kennwertes oder, in der Norm, als thermische Änderung der
Ausgangsspanne (thermal span shift) bezeichnet.
- Drucksensoren -
a) metallische DMS
Größenordnung:
min. 0,05 % für 10 K
b) piezoresistive DMS
Größenordnung:
min. 0,15 % für 10 K
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