IFM Electronic efector500 Bedienungsanleitung Seite 40

Folien-DMS:
Diese bestehen aus gewalzter Folie mit einer Dicke der Größenordnung
Mikrometer. Ihre Form erhalten sie zum Beispiel durch Ätzung. Als Material
wird zum Beispiel Konstantan verwendet. Die Widerstände haben hier
Werte von etwa 120 - 200 Ohm. Sie sind bis maximal 80°C, spezielle Ty-
pen bis 300°C einsetzbar.
Vorteile:
Obgleich DMS bei Wägezellen mit gutem Erfolg eingesetzt werden, kann
bei Druckmessungen nur eine geringere Genauigkeit erzielt werden wegen
der erheblich geringeren Abmessungen des Sensorelements.
Nachteile:
Die Genauigkeit wird bei kleineren Abmessungen und bei kleineren Drü-
cken (unter 6 bar) schlechter. Werte unter 1 bar sind kaum noch zuverläs-
sig zu erfassen. Der Temperaturbereich ist eingeschränkt. Das hängt u. a.
damit zusammen, dass sie durch eine Klebung auf den Träger aufgebracht
werden. Die Klebung unterliegt auch einer Alterung. Das führt zu einer
schlechteren Langzeitstabilität. Die Geräte erfordern einen vergleichsweise
hohen Prüfaufwand.
Dünnfilm-DMS
Sie werden mit Dünnschichttechnik gefertigt. Darunter versteht man zum
Beispiel Aufdampfen, Aufsputtern oder chemische Methoden. Die Materi-
aldicke bei den Widerständen beträgt etwa 0,05 Mikrometer, bei den Lei-
terbahnen ca. 2 Mikrometer. Daraus ergeben sich Widerstandswerte von
ca. 350 - 10 000 Ohm. Der Temperaturbereich lässt sich bis 170°C aus-
dehnen.
Vorteile:
Man benötigt nur geringe elektrische Energien. Es sind sehr kleine Ab-
messungen möglich. Der Temperaturbereich ist für viele Anwendungen
ausreichend. Die Geräte besitzen eine hohe Langzeitstabilität. Das me-
chanische Verhalten bei Überlastung ist bei metallischen Membranen beim
Einsatz in der Hydraulik gut.
Nachteile:
Die Fertigung ist aufwendig, das heißt, sehr teuer. Bei Druckbereichen un-
ter 25 bar sind sie etwa viermal so teuer wie bei höheren Druckbereichen.
Das kommt daher, dass hier der Durchmesser und damit die Fläche der
Aufnehmer vergrößert werden muss. Werte unter 6 bar sind kaum noch
zuverlässig zu erfassen.
Die EMV-Anfälligkeit ist höher. Wenn sie auf einen leitfähigen Träger auf-
gebracht werden, müssen sie von diesem durch eine isolierende Schicht
getrennt werden. Da sie den Bewegungen, genauer den Verformungen,
des Trägers ohne "Kriechen" gut folgen sollen, kann diese Schicht nicht
sehr dick sein. Daher lässt sich nur eine geringe Durchschlagsfestigkeit er-
reichen.
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