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7 Wartungsarbeiten
B
Öffnen Sie die Multipol-Wartungsabdeckung.
1
2
C
Öffnen Sie die Tür des Linsensystems.
Lösen Sie die Rändelschraube und öffnen Sie die Tür. Das Vakuumgehäuse muss mit
Atmosphäre belüftet werden, bevor Sie die Tür öffnen.
162
LCMS-8060
LCMS-8060NX
CL
Drücken Sie mit dem Finger auf die Vertiefung.
Heben Sie die ganze Abdeckung nach oben ab.
Multipol-Wartungsabdeckung
Rändelschraube
CL
Tür des Linsensystems
Rändelschraube
Multipol 2
Multipol 1
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