Agilent Technologies Varian TV 1001SEM Bedienungshandbuch Seite 52

ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A TV 1001 SEM sorozatú szivattyúk turbómolekuláris szivattyúk
magas- és ultramagas vákuumalkalmazásokhoz és bármilyen
típusú gázt vagy gázelegyet szivattyúzhat. Nem alkalmasak
folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására.
A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú
elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max.
38000 fordulat/perc) biztosítja.
szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta"
vákuumot igénylő alkalmazásokra.
Fel van szerelve külső csatlakozókkal, hogy további ventillátort
tápláljon, vezérelje a ventillátor szelepet, amit távoli helyről
irányít egy soros vonalon (RS 232 vagy RS 485) keresztül
csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt
Information" függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:

VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
FIGYELEM
A „Figyelem" üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegből
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian turbomolekuláris
teljesítményszintjének garantálására
útmutatásokat kell követni:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
• hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
• relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TV 1001 SEM-et különleges védőcsomagolásban szállítják.
Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
való jogosulatlan
A TV 1001 SEM
talál a „Technical
vett fontos információt
szivattyúk maximális
a következő
46/87
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV
1001 SEM-et. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való
telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
TELEPÍTÉS
FIGYELEM
Ne távolítsa el az öntapadó
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve
környezetben.
Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell
biztosítani:
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
-
hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-
-
hőmérséklet diagramot
függelékben)
- relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Technical Information".
A TV 1001 SEM-et elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni
(lásd „Technical Information").
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
és védőkupakot
robbanó vagy tűzveszélyes
a „Technical Information"
87-900-973-01(E)
a