Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Agilent Technologies TV 301 Navigator Bedienungshandbuch
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Agilent Technologies Anleitungen
  4. Pumpen
  5. TV 301 Navigator
  6. Bedienungshandbuch

Agilent Technologies TV 301 Navigator Bedienungshandbuch

Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-900-946-01 (M)
03/2013
TV 301 Navigator
Pump models: 969-8918, 969-8919,
969-8920, 969-8921
Kit models: 969-8824, 969-8825, 969-8826,
969-8827, 969-8828, 969-8829, 969-8830,
969-8831
Controller models: 969-8972, 969-8973
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies TV 301 Navigator

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies TV 301 Navigator

  • Seite 1 TV 301 Navigator Pump models: 969-8918, 969-8919, 969-8920, 969-8921 Kit models: 969-8824, 969-8825, 969-8826, 969-8827, 969-8828, 969-8829, 969-8830, 969-8831 Controller models: 969-8972, 969-8973 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções...

  • Seite 2: Trademarks

    Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M)
  • Seite 3 TV 301 Navigator TV 301 Navigator TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 3/282...
  • Seite 4 TV 301 Navigator 4/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione 24 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 32 Installation 33 Gebrauch Wartung Entsorgung 39 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 5/282...
  • Seite 6 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación 61 Mantenimiento 66 Eliminación 67 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais 71 Armazenagem 73 6/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 7 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie Opslag Uitpakken 88 Installatie Gebruik Onderhoud 94 Afvalverwerking 95 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information 99 Opbevaring 100 Forberedelser før installation 101 Installation 102 Anvendelse 104 Nødstop TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 7/282...
  • Seite 8 Installation 114 Användning 116 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 121 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 123 Lagring Klargjøre til installasjon 125 Installasjon 126 Bruk Vedlikehold 131 Eliminering 132 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 8/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 9 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 146 Általános információ 147 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 156 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 159 Magazynowanie 160 Przygotowanie do instalacji 162 Instalacja TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 9/282...
  • Seite 10 Všeobecné informace Uskladnění 174 Příprava k instalaci 175 Instalace Použití Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 183 Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia 10/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 11 General Information 207 Storage Preparation for Installation 209 Installation 210 Maintenance Disposal 17 Technical Information 217 Description of the TV 301 Navigator 219 Technical Specification 224 TV 301 Navigator Outline 226 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 11/282...
  • Seite 12 Vibration Isolator Installation 264 Purge Valve Installation 264 Serial Cable Installation 265 TV 301Controller Installation 266 Pump Used with Corrosive Gases 272 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 275 12/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 13: Istruzioni Per L'uso

    TV 301 Navigator User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TV 22 Arresto del TV 301 Navigator Arresto di Emergenza 23 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...

  • Seite 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 15: Informazioni Generali

    Il TV 301 Navigator è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...
  • Seite 16 I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 17: Immagazzinamento

    10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 17/282...

  • Seite 18: Preparazione Per L'installazione

    Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.

  • Seite 19: Installazione

    In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 301 Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M)
  • Seite 20 Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Il TV 301 Navigator non può essere fissato tramite la sua base. NOTA Il TV 301 Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.

  • Seite 21: Uso

    Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 21/282...

  • Seite 22: Accensione Ed Uso Del Tv

    Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 301 Navigator Per accendere il TV 301 Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.

  • Seite 23: Arresto Del Tv 301 Navigator

    Istruzioni per l’uso Arresto del TV 301 Navigator Per arrestare il TV 301 Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).

  • Seite 24: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Seite 25: Smaltimento

    TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 25/282...
  • Seite 26 Istruzioni per l’uso Smaltimento 26/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 27: Gebrauchsanleitung

    TV 301 Navigator User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 301 Navigator Stoppen von Modell TV 301 Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/282...

  • Seite 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 29: Allgemeine Informationen

    Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TV 301 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder...

  • Seite 30: In Dieser Gebrauchsanleitung Werden Sicherheitshinweise Folgendermaßen Hervorgehoben

    Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen WARNUNG! Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text HINWEIS hervorgehoben werden. 30/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 31: Lagerung

    Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 31/282...

  • Seite 32: Vor Der Installation

    Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Abbildung 1 Modell TV 301 Navigator kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.

  • Seite 33: Installation

    Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 301 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M)
  • Seite 34 Installation Modell TV 301 Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 301 Navigator ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.

  • Seite 35: Gebrauch

    Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 35/282...

  • Seite 36: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 301

    Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.  Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich  entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”. Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.  36/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 37: Stoppen Von Modell Tv 301 Navigator

    Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 301 Navigator in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 37/282...

  • Seite 38: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 301 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...

  • Seite 39: Entsorgung

    Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 39/282...
  • Seite 40 Gebrauchsanleitung Entsorgung 40/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 41: Mode D'emploi

    Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator 50 Arrêt du TV 301 Navigator 51 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 53 Traduction de la mode d’emploi originale...

  • Seite 42: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 42/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 43: Indications Générales

    à une turbine tournant à vitesse élevée (56000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le TV 301 Navigator est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre".
  • Seite 44 Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 44/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 45: Stockage

    à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 45/282...

  • Seite 46: Preparation Pour L'installation

    Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 301 Navigator et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature.

  • Seite 47: Installation

    En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 301 Navigator doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").
  • Seite 48 à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TV 301 Navigator ne peut être fixé par sa base. NOTE Le TV 301 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1.

  • Seite 49: Utilisation

    Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 49/282...

  • Seite 50: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 301 Navigator

    Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator Pour allumer le TV 301 Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.

  • Seite 51: Arrêt Du Tv 301 Navigator

    Mode d’emploi Utilisation Arrêt du TV 301 Navigator Pour arrêter le TV 301 Navigator, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté...

  • Seite 52: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 301 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Seite 53: Mise Au Rebut

    Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 53/282...
  • Seite 54 Mode d’emploi Mise au rebut 54/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 55: Manual De Istrucciones

    Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación Encendido y Uso del TV 301 Navigator Parada del TV 301 Navigator 65 Parada de Emergencia 65 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...

  • Seite 56: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 56/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 57: Información General

    El TV 301 Navigator es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.
  • Seite 58 Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 58/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 59: Almacenamiento

    En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 59/282...

  • Seite 60: Preparación Para La Instalación

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 301 Navigator y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.

  • Seite 61: Instalación

    Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 301 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M)
  • Seite 62 Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TV 301 Navigator no puede fijarse utilizando su base. NOTA El TV 301 Navigator pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para...

  • Seite 63: Uso

    (véase el anexo “Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 63/282...

  • Seite 64: Encendido Y Uso Del Tv 301 Navigator

    Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 301 Navigator Para encender el TV 301 Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.

  • Seite 65: Parada Del Tv 301 Navigator

    Manual de istrucciones Parada del TV 301 Navigator Para parar el TV 301 Navigator nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).

  • Seite 66: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.

  • Seite 67: Eliminación

    éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 67/282...
  • Seite 68 Manual de istrucciones Eliminación 68/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 69: Manual De Istruções

    Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator 78 Paragem do TV 301 Navigator Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 69/282...

  • Seite 70: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 70/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 71: Informações Gerais

    às normas nacionais específicas. O TV 301 Navigator é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é...
  • Seite 72 As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 72/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 73: Armazenagem

    Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 73/282...

  • Seite 74: Preparação Para A Instalação

    Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 301 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.

  • Seite 75: Instalação

    “Technical Information”) humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante). Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 75/282...
  • Seite 76 Manual de Istruções Instalação O TV 301 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O TV 301 Navigator pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 301 Navigator em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.

  • Seite 77: Utilização

    (consultar o apêndice "Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 77/282...

  • Seite 78: Acendimento E Utilização Do Tv 301 Navigator

    Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator Para ligar o TV 301 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O modo Soft Start é previsto para ligar a bomba após um longo período de paragem.

  • Seite 79: Paragem Do Tv 301 Navigator

    Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 301 Navigator Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que...

  • Seite 80: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...

  • Seite 81: Eliminação

    Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 81/282...
  • Seite 82 Manual de Istruções Eliminação 82/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 83: Bedrijfshandleiding

    TV 301 Navigator User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator 92 Afzetten van de TV 301 Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 95 Vertaling van de originele instructies 83/282...

  • Seite 84: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 84/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 85: Algemene Informatie

    De TV 301 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
  • Seite 86 Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 86/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 87: Opslag

    Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 87/282...

  • Seite 88: Uitpakken

    Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. Figuur 1 De TV 301 Navigator kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.

  • Seite 89: Installatie

    “Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).  In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 89/282...
  • Seite 90 Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". De TV 301 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING De TV 301 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien.

  • Seite 91: Gebruik

    Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 91/282...

  • Seite 92: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 301 Navigator

    Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator Om de TV 301 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.

  • Seite 93: Afzetten Van De Tv 301 Navigator

    Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 301 Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 93/282...

  • Seite 94: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 301 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding WAARSCHUWING! loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is...

  • Seite 95: Afvalverwerking

    TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 95/282...
  • Seite 96 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 96/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 97: Istruktionsbog

    TV 301 Navigator User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 301 Navigator 105 Stop af TV 301 Navigator Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/282...

  • Seite 98: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er ADVARSEL! det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 98/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 99: Generel Information

    Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (56000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 301 Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 301 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS 232/RS...

  • Seite 100: Opbevaring

    De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra  forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. 100/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 101: Forberedelser Før Installation

    TV 301 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

  • Seite 102: Installation

    0 – 95 % (ikke kondenserende)  Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TV 301 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). 102/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 103 Istruktionsbog Installation TV 301 Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 301 Navigator i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen. Flangen ISO 100 K kan for eksempel fastgøres med klemmer af højstyrkestål (type Agilent-model IC 63250 DCMZ).

  • Seite 104: Anvendelse

    ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. 104/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 105: Start Og Anvendelse Af Tv 301 Navigator

     langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling  for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for interlock”; hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 105/282...

  • Seite 106: Nødstop

    Istruktionsbog Nødstop Stop af TV 301 Navigator For at afbryde TV 301 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...

  • Seite 107: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...

  • Seite 108: Bortskaffelse

    Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. 108/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 109: Bruksanvisning

    TV 301 Navigator User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 110 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Start och användning av TV 301 Navigator Att stänga av TV 301 Navigator 118 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 109/282...

  • Seite 110: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 110/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 111: Allmän Information

    TV 301 Navigator, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 301 Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).

  • Seite 112: Förvaring

    De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. 112/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 113: Förberedelser För Installation

    OBSERVER! pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Figur 1 Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 301 Navigator. Trots det OBSERVERA är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.

  • Seite 114: Installation

     I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 301 Navigator måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). 114/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 115 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 301 Navigator har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.

  • Seite 116: Användning

    (se bilagan “Technical information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 116/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 117: Start Och Användning Av Tv 301 Navigator

     långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i läge för  acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock"; hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 117/282...

  • Seite 118: Att Stänga Av Tv 301 Navigator

    Bruksanvisning Användning Att stänga av TV 301 Navigator Om du vill stänga av TV 301 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)

  • Seite 119: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 301 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad som kan ersätta pumpen med en renoverad pump.

  • Seite 120: Bortskaffning

    återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. 120/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 121: Instruksjon Manual

    TV 301 Navigator User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 122 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon 126 Bruk Starte og bruke TV 301 Navigator Stoppe TV 301 Navigator Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 121/282...

  • Seite 122: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 122/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 123: Generell Informasjon

    å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 301 Navigator har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.

  • Seite 124: Lagring

    Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. 124/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 125: Klargjøre Til Installasjon

    TV 301 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 301 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.

  • Seite 126: Installasjon

    0 - 95% (uten kondens)  Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 301 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). 126/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 127 Instruksjon Manual Installasjon TV 301 Navigator kan monteres i en valgfri stilling. Fest TV 301 Navigator i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen. For eksempel ISO 100 K flensen kan festes ved å bruke ekstra resistente stål klemmer (som Agilent modell IC 63250 DCMZ).

  • Seite 128: Bruk

    (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 128/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 129: Starte Og Bruke Tv 301 Navigator

     den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for  akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock” den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 129/282...

  • Seite 130: Stoppe Tv 301 Navigator

    Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 301 Navigator i en nødsituasjon. 130/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 131: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 301 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Seite 132: Eliminering

    Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. 132/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 133: Ohjekäsikirja

    TV 301 Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 134 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 140 TV 301 Navigatorin käynnistys ja käyttö 141 TV 301 Navigatorin pysäyttäminen Hätäpysäytys 142 Huolto 143 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 133/282...

  • Seite 134: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 134/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 135: Yleisiä Tietoja

    TV 301 Navigator on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.

  • Seite 136: Varastointi

     start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa HUOMIO! tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 136/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 137: Valmistelut Asennusta Varten137

    Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Kuva 1 TV 301 Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.

  • Seite 138: Asennus

    +5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen  kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)  Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. 138/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 139 TV 301 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 301 Navigator laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.

  • Seite 140: Käyttö

    (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. 140/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 141: Tv 301 Navigatorin Käynnistys Ja Käyttö

     vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,  jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M) 141/282...

  • Seite 142: Tv 301 Navigatorin Pysäyttäminen

    CE- normien vaatimukset täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista. Hätäpysäytys TV 301 Navigator on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä. 142/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 143: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 301 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.

  • Seite 144: Hävittäminen

    EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 144/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 145: Felhasználói Kézikönyv

    TV 301 Navigator User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informá 147 Tárolás 148 Előkészítés telepítésre 149 Telepítés Használat A TV 301 Navigator bekapcsolása és használata A TV 301 Navigator kikapcsolása 154 Vészleállítás 154 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 145/282...

  • Seite 146: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 146/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 147: Általános Információ

    általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 301 Navigator egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.

  • Seite 148: Tárolás

    Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a  szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni FIGYELEM! a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 148/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 149: Előkészítés Telepítésre

    Ábra 1 A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 301 Navigatort. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 149/282...

  • Seite 150: Telepítés

    0 – 95% (nem kondenzáló)  Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A TV 301 Navigatort elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). 150/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 151 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A TV 301 Navigator bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 301 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 1000 Nm tengely körüli nyomatéknak. Például az ISO 100 K karima rögzíthető nagy teherbírású...

  • Seite 152: Használat

    áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd “Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! 152/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 153: A Tv 301 Navigator Bekapcsolása És Használata

    Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 301 Navigator bekapcsolása és használata A TV 301 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. A “Soft Start” mód a szivattyú hosszabb leállást követő elindítására szolgál.

  • Seite 154: A Tv 301 Navigator Kikapcsolása

    Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. Vészleállítás A TV 301 Navigator vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból. 154/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 155: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 301 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá...

  • Seite 156: Megsemmisítés

    A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. 156/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 157: Podrecznik Instrukcji

    Turbomolekularnych Ogólne Informacje 159 Magazynowanie 160 Przygotowanie do instalacji 162 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 301 Navigator Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator Zatrzymanie Awaryjne 167 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 158: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 158/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 159: Ogólne Informacje

    System TV 301 Navigator jest zintegrowanym systemem składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw.

  • Seite 160: Magazynowanie

    0 do 95 % ( bez opar)  klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp  turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić· w sposób Soft-Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10  miesięcy od daty wysyłki. 160/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 161 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 161/282...

  • Seite 162: Przygotowanie Do Instalacji

    ć 1 Posta System TV 301 Navigator, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.

  • Seite 163: Instalacja

    W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” TV 301 Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Technical Information”) TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 163/282...
  • Seite 164 Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”. System TV 301 Navigator nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS TV 301 Navigator należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę...

  • Seite 165: Użytkowanie

    (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical Information”). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 165/282...

  • Seite 166: Włączenie I Użytkowanie Systemu Tv 301 Navigator

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 301 Navigator Aby włączyć TV 301 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Tryb “Soft Start” przewidziano w celu włączenia pompy po dłuższym okresie postoju.

  • Seite 167: Zatrzymanie Systemu Tv 301 Navigator

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator Aby zatrzymać TV 301 Navigator wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).

  • Seite 168: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TV 301 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie poniżej 50 °C.

  • Seite 169: Przetworstwo Odpadow

    . Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 169/282...
  • Seite 170 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 170/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 171: Návod K Použití

    Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 172 Všeobecné informace 173 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator 179 Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator 180 Nouzové zastavení Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 171/282...

  • Seite 172: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 172/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 173: Všeobecné Informace

    činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 301 Navigator je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný...

  • Seite 174: Uskladnění

    10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. 174/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 175: Příprava K Instalaci

    Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva TV 301 Navigator nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.

  • Seite 176: Instalace

    0 – 95 % (bez srážení)  V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva TV 301 Navigator se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). 176/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 177 Návod k Použití Instalace Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy. Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Agilent).

  • Seite 178: Použití

    (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 178/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 179: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 301 Navigator

    Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator Pro uvedení vývěvy TV 301 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. Režim „Soft Start“ slouží k zapnutí vývěvy po delším vyřazení z provozu.

  • Seite 180: Vypnutí Vývěvy Tv 301 Navigator

    Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator Pro vypnutí vývěvy TV 301 Navigator je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...

  • Seite 181: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 301 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...

  • Seite 182: Likvidace

    Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 182/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 183: Návod Na Obsluhu

    Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 185 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 301 Navigator Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 184: Bezpečnostné Pokyny Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 184/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 185: Všeobecné Informácie

    úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Zariadenie TV 301 Navigator predstavuje integrovaný systém s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.

  • Seite 186: Uchovávanie

    10 mesiacov odo  dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu POZOR! do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. 186/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 187: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 301 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...

  • Seite 188: Inštalácia

     V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 301 Navigator sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). 188/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 189 Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical Information”. Zariadenie TV 301 Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základnej POZNÁMKA dosky. Zariadenie TV 301 Navigator patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie POZOR! podľa smernice EN 61010-1.

  • Seite 190: Použitie

    (napríklad N2, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. 190/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 191: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 301 Navigator

    Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 301 Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Režim „Soft Start“ slúži na zapnutie vývevy po dlšom vyradení z prevádzky.

  • Seite 192: Vypnutie Zariadenia Tv 301 Navigator

    Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator Ak chcete vypnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...

  • Seite 193: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 301 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...

  • Seite 194: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. 194/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 195: Priročnik Za Navodila

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 301 Navigator Izklop naprave TV 301 Navigator 203 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 195/282...

  • Seite 196: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 196/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 197: Splošne Informacije

    TV 301 Navigator je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.

  • Seite 198: Shranjevanje

    Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko POZOR! vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. 198/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 199: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 301 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.

  • Seite 200: Montaža

    Relativna vlažnost: 0 – 95 % (brez kondenza)  V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information" . TV 301 Navigator morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). 200/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 201 Agilent strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Naprave TV 301 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA Po direktivi EN 61010-1 spada TV 301 Navigator v skupino za drugo POZOR! nameščanje (ali prekovoltažo).

  • Seite 202: Uporaba

    (kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. 202/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 203: Vklop In Uporaba Naprave Tv 301 Navigator

    Za zagon »Soft Start« načina je potrebno aktivirati ustrezen programski ukaz (glej odstavek »RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION« v prilogi “Technical Information”. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 301 Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Č·rpalka je normalno vrti;...

  • Seite 204: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 301 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Seite 205: Instructions For Use

    TV 301 Navigator User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for Installation 209 Installation Switching on and Use of TV 301 Navigator TV 301 Navigator Switching off 213 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 205/282...

  • Seite 206: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 206/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 207: General Information

    The TV 301 Navigator is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.

  • Seite 208: Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. 208/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 209: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 301 Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.

  • Seite 210: Installation

    In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 301 Navigator must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). 210/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 211 Be sure that the insulation of the device connected to the TV 301 Navigator is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.

  • Seite 212: Use

    (see the appendix "Technical Information"). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. 212/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 213: Switching On And Use Of Tv 301 Navigator

    Instructions for Use Switching on and Use of TV 301 Navigator To switch on the TV 301 Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. “Soft Start”...

  • Seite 214: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 301 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...

  • Seite 215: Disposal

    The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 215/282...
  • Seite 216 Instructions for Use Disposal 216/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 217: Technical Information

    TV 301 Navigator User Manual Technical Information Description of the TV 301 Navigator 219 Pump Description Controller Description Technical Specification TV 301 Navigator Outline Interconnections P3 - Vent P5 – External Fan J5 – In-Out Signal Description How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 235 How to Connect the Outputs of the Controller 239 J6 –...
  • Seite 218 Technical Information Disposal Vent Accessories 261 TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 TV-301 AG Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9844 Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation Serial Cable Installation TV 301Controller Installation Bottom Mounting Side Mounting...

  • Seite 219: Description Of The Tv 301 Navigator

    Description of the TV 301 Navigator Description of the TV 301 Navigator The TV 301 Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in various models that differ in the high vacuum flange and the controller.

  • Seite 220: Pump Description

    The turbine is made of high-strength aluminium al-loy, machined from a single block. Figure 3 Model 969-8921, Model 969-8827, Model 969-8831 220/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 221 Technical Information Description of the TV 301 Navigator Figure 4 Model 969-8919, Model 969-8825, Model 969-8829 Figure 5 Model 969-8918, Model 969-8824, Model 969-8828 Figure 6 Model 969-8920, Model 969-8826, Model 969-8830 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 221/282...
  • Seite 222 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange (KF25 – optional). 222/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 223: Controller Description

    AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (optional). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 223/282...

  • Seite 224: Technical Specification

    Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input pwr: 300 VA Stand-by pwr: 10 W Max oper. power: 150 W with water or air cooling Protection fuse 224/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 225 Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump). When the TV 301 Navigator has been stored at a temperature less than 5°C, NOTE wait until the system has reached the above mentioned temperature.

  • Seite 226: Tv 301 Navigator Outline

    Technical Information TV 301 Navigator Outline TV 301 Navigator Outline The following figure shows the TV 301Navigator outline (dimensions are in inches [mm]). Figure 8 TV 301 Navigator outline 226/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 227 Technical Information TV 301 Navigator Outline Figure 9 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 227/282...
  • Seite 228 Technical Information TV 301 Navigator Outline Figure 11 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump Figure 12 Graph of nitrogen throughput test 228/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 229: Interconnections

    The following figure shows the TV 301 interconnections. Figure 13 TV 301 interconnections P3 - Vent Figure 14 P3-Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 229/282...

  • Seite 230: P5 - External Fan

    This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the TV 301 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig-nals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. 230/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 231: Signal Description

    +24 Vdc pin and the interlock (-) signal to the GROUND pin. Soft start: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up time could be up to 45 min. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 231/282...
  • Seite 232 Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). 232/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 233 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency  threshold: 500 Hz  hysteresis: 1%  activation type: "high level"  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 233/282...
  • Seite 234 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). 234/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 235: How To Connect The Open Collector Inputs Of The Controller

    1. the customer supplies the 24 Vdc 2. the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 235/282...
  • Seite 236 Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 21 Case 1 236/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 237 Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 22 Case 2 with relay utilisation TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 237/282...
  • Seite 238 Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 23 Case 2 with transistor utilisation 238/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 239: How To Connect The Outputs Of The Controller

    Figure 24 J6 – Serial Figure 25 9 pin connector This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 301. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 239/282...
  • Seite 240 RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial NOTE connection A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). 240/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 241: Input Power Connection On The Model 969-8972

    RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software. Communication Format 8 data bit  no parity  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 241/282...

  • Seite 242: Communication Protocol

     window number (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each window see the relevant paragraph. <COM> (Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into  the window 242/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 243 Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 243/282...
  • Seite 244 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for ex-ample you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 244/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 245 RS 232/RS 485 communication description Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 245/282...
  • Seite 246 RS 232/RS 485 communication description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 246/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 247: Window-Meanings

    Set point hysteresis (in % of 0 to 100 threshold) (default = 2) Water cooling 0 = NO 1 = YES Active Stop (write only in 0 = NO stop) 1 = YES TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 247/282...
  • Seite 248 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) 248/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 249 CRC Parameter structure "XXXX" Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 249/282...
  • Seite 250 3. These commands remove the pump motor sup-ply for a short time. If they are used continuous-ly, they can cause the pump stopping. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 27 Window N. 206 Bit Description 250/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 251: Inlet Screen Installation

    0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 251/282...
  • Seite 252 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 30 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 31 252/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 253 Technical Information Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange di-mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. Figure 32 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 253/282...

  • Seite 254: Heater Band Installation

    80 °C. The heater band must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to obtain fast and efficient heating. Figure 34 254/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 255 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 °C. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 255/282...

  • Seite 256: Air Cooling Kit Installation

    When the pump is supplied by the rack C.U. 969-9437 or 969- 9537 please utilize the special fan extension cable 969-9949. To fix the fan to the TV 301 case execute the following procedure (see the following figure): 256/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 257 Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller; Connect the fan supply to the P4 connector of the controller. Figure 36 Figure 37 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 257/282...

  • Seite 258: Water Cooling Kit Installation

    The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969- 9347 (plastic model). Figure 38 Model 969-9337 Figure 39 Model 969-9347 258/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 259 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure. Figure 41 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 259/282...
  • Seite 260 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. 260/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 261: Vent Accessories

    The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent op-eration. TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 Figure 42 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec.

  • Seite 262: Ag Rack Controller Compatible Vent Valve Mod

    Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). TV-301 AG Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9844 Figure 45 262/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 263 Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the oring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Figure 47 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 263/282...

  • Seite 264: Vibration Isolator Installation

    To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 48 264/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 265: Serial Cable Installation

    Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure. Figure 50 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 265/282...

  • Seite 266: Tv 301Controller Installation

    Turn the pump again; Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 51 Mounting 1 266/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 267: Side Mounting

    Turn the pump again; 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 267/282...

  • Seite 268: Connection A - High Vacuum Flange

    Connection A - High Vacuum Flange To connect the Turbo-V301 pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 53 268/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 269 Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 269/282...

  • Seite 270: Connection Configurations

    The Turbo-V 301 pump is characterized by its high compression ratio also for oil NOTE vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil back-streaming. 270/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 271: Connection C - Electrical

    25 °C) and pin E is connected to the pump ground. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 271/282...

  • Seite 272: Pump Used With Corrosive Gases

    Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. 272/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 273 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 57 Purge layout TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 273/282...

  • Seite 274: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 274/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...

  • Seite 275: Accessories And Spare Parts

    969-9240 Purge valve KF16-M12 20 SCCM 969-9241 Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 969-9242 Foreline flange KF25 1/4 gas 969-9130 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 949-9325 Forepump SH 110 SH01101UNIV TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 275/282...
  • Seite 276 Technical Information Accessories and Spare Parts 276/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Seite 282 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Inhaltsverzeichnis