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Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies HS-16
Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies HS-16
- Seite 1 HS-16 - HS-20 - HS-32 - NHS-35 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 2 Agilent disclaims all © Agilent Technologies, Inc. 2024 not correctly performed or adhered to, warranties, either express or implied, could result in damage to the product...
- Seite 3 Inhalt Inhalt Technische Information Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Definitionen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Entsorgung Service Diffusion Pump Hazards Explosion Gefahren durch Druckbeaufschlagung Dangerous Substances Hohe Temperaturen Hohe Spannungen Weights Große Geräte und schwere Gewichte Diffusionspumpe Beschreibung Pump Operation Pumpenluftgeschwindigkeit und Durchsatz...
- Seite 4 Inhalt Auspacken Einrichtung Montage Reinigung einer neuen Pumpe Sicherheit bei der Reinigung Demontage zur Erstreinigung Wiederzusammenbau nach der ersten Reinigung System- und Versorgungsanschlüsse Vakuumanschlüsse Kühlwasser Die Quick Cool-Schlange Anschluss Erzielung eines hohen Vakuums bei der NHS-35 Elektrische Anschlüsse Überhitzung: Erkennung durch Wärmeschalter Anfänglicher Vakuumtest Nachfüllen oder Wechseln der Pumpenflüssigkeit Informationen zu Flüssigkeit und DP-Leistung...
- Seite 5 Inhalt Verfahren zur Demontage und Wiedermontage Kühlkappe Düseneinheiten HS-16 Düseneinheit HS-20 Düseneinheit HS-32 Düseneinheit NHS-35 Düseneinheit Verfahren zum Austausch des Heizelements Fehlersuche Leakage Ausgasen Schlechte Pumpen- oder Systemleistung Zubehör und Ersatzteile Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 6 Inhalt Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 7 Technische Information Technische Information Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Definitionen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Entsorgung Service Diffusion Pump Hazards Explosion Gefahren durch Druckbeaufschlagung Dangerous Substances Hohe Temperaturen Hohe Spannungen Weights Große Geräte und schwere Gewichte Diffusionspumpe Beschreibung Pump Operation Pumpenluftgeschwindigkeit und Durchsatz...
- Seite 8 Inbetriebnahme Feuchte Umgebungen Abschaltverfahren Wartung Regelmäßige Inspektionen Reinigung Reinigung Sicherheit Verfahren zur Demontage und Wiedermontage Kühlkappe Düseneinheiten HS-16 Düseneinheit HS-20 Düseneinheit HS-32 Düseneinheit NHS-35 Düseneinheit Verfahren zum Austausch des Heizelements Fehlersuche Leakage Ausgasen Schlechte Pumpen- oder Systemleistung Zubehör und Ersatzteile...
- Seite 9 Technische Information Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der „High Throughput Diffusion Pumps“ mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist Die in den spezifischen Abschnitten dargestellten Wartungsarbeiten mit spezifischen Verordnungen hinsichtlich der höheren Wartungsebene (entsprechend geschultes Personal für die Wartungsarbeiten) dürfen nicht durch den Benutzer...
- Seite 10 Technische Information Definitionen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Einige wichtige Bezüge dieser Betriebsanleitung werden durch Kontrastfarben hervorgehoben und eingerahmt. Die Vorsichtshinweise werden vor Verfahren angezeigt, die Schäden am Gerät VORSICHT verursachen könnten, wenn sie nicht beachtet werden. Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf ein WARNUNG Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von...
- Seite 11 Technische Information Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen können, ist wie folgt: Gefährliche Spannungen...
- Seite 12 Technische Information Das folgende Symbol kann auf am Gerät angebrachten Warnschildern verwendet werden. Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebs- oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Ätzende Stoffe Explosives Material Giftige Gase Erstickung...
- Seite 13 Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.
- Seite 14 Technische Information Unsachgemäße Verwendung Agilent Technologies übernimmt keine Haftung für Schäden, die durch unsachgemäßen Gebrauch der Hochdurchsatz-Diffusionspumpen entstanden sind. Unsachgemäßer Gebrauch führt zum Verlust aller Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Das für den Betrieb und die Wartung der Pumpe zuständige Personal muss gut ausgebildet sein und mit den Unfallverhütungsvorschriften vertraut sein.
- Seite 15 Technische Information Entsorgung Bedeutung des „WEEE“ Logos auf den Schildern. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EG-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt NICHT zusammen mit Haushalts- oder Industriemüll entsorgt werden darf, sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
- Seite 16 Technische Information Service Sollte ein Kunde einen erweiterten Austausch- oder Reparaturservice benötigen, wenden Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt an die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um das Produkt zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 17 Technische Information Diffusion Pump Hazards Konstrukteure von Systemen, die Diffusionspumpen verwenden, müssen Gefahren so weit wie möglich ausschließen. Für Gefahren, die nicht ausgeschlossen werden können, werden Warnhinweise, Verfahren und Anweisungen zur sachgemäßen Verwendung und Wartung bereitgestellt. Verwenden Sie Schutzvorrichtungen, Sicherheitsmerkmale und Verriegelungen wie empfohlen. In Tabelle 1 finden Sie eine Liste allgemeiner Gefahren und empfohlener Maßnahmen, in Tabelle 2 eine Liste verbotener Maßnahmen, die zu Explosionen führen können, und in Tabelle 3 eine Liste von Gefahren durch Druckbeaufschlagung, die zu Schäden an...
- Seite 18 Technische Information Überdruck im Pumpsystem Integrieren Sie ein Überdruckventil in das Vakuumsystem Hohe Spannung Vermeiden Sie den Kontakt von Personen mit hohen Spannungen; entwerfen Sie Warnhinweise und bringen Sie diese an. Toxizität und Korrosivität Giftige und/oder korrosive Gase an einen sicheren Ort ableiten;...
- Seite 19 Technische Information Explosion und Feuer durch Aceton und Alkohol: Diffusionspumpen werden normalerweise mit Aceton und Alkohol gereinigt. In Verbindung mit Luft, Sauerstoff und anderen Oxiden sind Alkohol und die meisten anderen Lösungsmittel hochentzündlich und explosiv. Lassen Sie niemals auch nur eine Spur dieser Reinigungsmittel in oder auf der Pumpe zurück.
- Seite 20 Technische Information Gefahren durch Druckbeaufschlagung Große Vakuumpumpen und ihre Komponenten sind für den Vakuumbetrieb ausgelegt. Sie sind nicht für eine Druckbeaufschlagung ausgelegt, die dazu führen könnte, dass sie bersten und dabei möglicherweise Splitter mit tödlicher Geschwindigkeit ausstoßen. Schwere Unfälle sind durch absichtliche Druckbeaufschlagung von Vakuumsystemen und deren Komponenten verursacht worden.
- Seite 21 Technische Information Dangerous Substances Chemische Gefahren von Aceton und Alkohol: Diffusionspumpen werden normalerweise mit Aceton oder Alkohol gereinigt. Aceton, Alkohol und die meisten anderen Lösungsmittel sind reizend, narkotisierend, depressiv und/oder krebserregend. Ihr Einatmen und Verschlucken kann schwerwiegende Folgen haben. Selbst die Absorption durch die Haut kann zu einer mäßigen Toxizität führen.
- Seite 22 Technische Information Hohe Temperaturen Heiße Oberflächen: Die Kesseltemperaturen erreichen bis zu 275 °C (530 °F) und können schwere Verbrennungen verursachen. Vergewissern Sie sich stets, dass die Oberflächen auf nahezu Raumtemperatur abgekühlt sind, bevor Sie sie berühren. Heißes Kühlwasser und Dampf: Das zur Kühlung der Pumpe verwendete ...
- Seite 23 Technische Information Diffusionspumpe Beschreibung Diffusionspumpen werden dort eingesetzt, wo der Durchsatz für schwere Gaslasten wichtig ist. Die Diffusionspumpen beginnen bei etwa 10 Torr zu arbeiten, nachdem eine mechanische Vorpumpe den größten Teil der Luft im System abgesaugt hat. Abbildung 2 HS-20 Diffusionspumpe In einer Diffusionspumpe gibt es keine beweglichen Teile.
- Seite 24 Technische Information Pump Operation The diffusion pump works by heating the pump fluid to its boiling point. The vapors travel upward inside the jet assembly and are accelerated out and downward through the jet nozzles toward the cool outer walls of the pump, where the vapor condenses back into a fluid.
- Seite 25 Technische Information Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 26 Technische Information Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 27 Luftgeschwindigkeit und dem Durchsatz in Beziehung gesetzt wird. Diese Beziehung wird für die großen Vakuumpumpen in den Diagrammen in Abbildung 3 bis Abbildung 6 dargestellt. Abbildung 3 HS-16 Drehzahl- und Durchsatzkurven, 8,1 kW Abbildung 4 HS-20 Drehzahl- und Durchsatzkurven Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 28 Technische Information Abbildung 5 HS-32 Drehzahl- und Durchsatzkurven Abbildung 6 NHS-35 Drehzahl- und Durchsatzkurven Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 29 Technische Information Physikalische Datens Tabelle 5 HS-16: Abmessungen und Gewichte Abbildung 7 HS-16 Grundriss mit ASA-Flanschen Tabelle 6 HS-16: Flanschabmessungen Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 30 Technische Information Tabelle 7 HS-20: Abmessungen und Gewichte Abbildung 8 HS-20 Grundriss mit ASA-Flanschen Tabelle 8 HS-20 Flanschabmessungen Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 31 Technische Information Tabelle 9 HS-32: Abmessungen und Gewichte Connections: 3/8" FPT / 3/8" FPT / Body and Foreline G1/2(optional) G1/2(optional) 3/8" FPT 3/8" FPT Quick Cool coils Abbildung 9 HS-32 Grundriss mit ASA-Flanschen Tabelle 10 HS-32 Flanschabmessungen Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 32 Technische Information Tabelle 11 NHS-35: Abmessungen und Gewichte Connections: 3/8" FPT / Body and Foreline G1/2(optional) 3/8" FPT Quick Cool coils Abbildung 10 NHS-35 Grundriss mit ASA-Flanschen Tabelle 12 NHS-35 Flanschabmessungen Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 33 Technische Information Auspacken • Prüfen Sie vor dem Anheben einer Pumpe das Gewicht der Ausrüstung in WARNUNG Tabelle 4. • Verwenden Sie Hilfsmittel und geschultes Personal für das Bewegen und die Installation, um zu vermeiden, dass die Pumpe herunterfällt, ausrutscht oder umkippt und Personen schwer verletzt werden.
- Seite 34 Technische Information Reinigung einer neuen Pumpe Eine neue Pumpe muss nur gereinigt werden, wenn das gewünschte Vakuum unter HINWEIS 1x10 Torr liegt. Sicherheit bei der Reinigung Bei der Reinigung einer Diffusionspumpe werden Aceton und Alkohol verwendet, die beide giftig und explosiv sind. Beachten Sie die folgenden Informationen und Warnungen sorgfältig, bevor Sie mit der Reinigung beginnen.
- Seite 35 Technische Information Demontage zur Erstreinigung Dieses Verfahren umfasst die Reinigung der folgenden Elemente: Düseneinheit Ablassstopfen Schauglas Innenraum der Pumpe Um die Pumpe zu demontieren: Entfernen Sie die Kühlkappe wie unter „Kühlkappe“ beschrieben. Demontieren Sie das interne Düsensystem vom Pumpengehäuse gemäß dem entsprechenden Verfahren unter „Düsenbaugruppen“.
- Seite 36 Technische Information System- und Versorgungsanschlüsse Ein Ausfall der Stromversorgung kann zu Überhitzung, Beschädigung des WARNUNG Geräts und Explosion führen. Planen Sie Ihr System so, dass Personal und Eigentum vor diesen Gefahren geschützt sind. Vakuumanschlüsse Das Pumpengehäuse muss senkrecht und lotrecht installiert werden. Prüfen Sie, ob der Gegenflansch am System horizontal ±1°...
- Seite 37 Technische Information Kühlwasser Zum Anschluss des Kühlwassers HS-16/20: Schließen Sie die Kühlschlange der Kühlkappe und die gesamte Körper- und Vorlaufkühlung in Reihe an, mit Ausnahme der Quick Cool-Schlange (siehe folgender Abschnitt), wie in Abbildung 11 gezeigt. Die Kühlwasserdurchflussmenge für Ihren Pumpentyp finden Sie in Tabelle 4.
- Seite 38 Technische Information Für den Anschluss von Kühlwasser HS-32/NHS-35: Schließen Sie alle Körper- und Vorlaufkühlungen in Reihe an, mit Ausnahme der Quick Cool-Schlange. Schließen Sie die Cold Cap-Kühlschlange separat an (Abbildung 12). Die Durchflussmenge des Kühlwassers ist in Tabelle 4 angegeben. Höhere Durchflussmengen schaden der Pumpe nicht. Wenn die Diffusionspumpe durch ein Wasserumlaufsystem gekühlt wird, stellen Sie sicher, dass das System dazu in der Lage ist: Eine ausreichende Kühlung und einen ausreichenden Wärmeaustausch, um...
- Seite 39 Technische Information Erzielung eines hohen Vakuums bei der NHS-35 Beim Betrieb mit niedrigen Drücken (unter 1x10 Torr) kann der Enddruck gesenkt werden, indem der Teil der Kühlschlangen, der sich an der Biegung der Vorlaufleitung befindet, wie in Abbildung 10 gezeigt, umgangen wird. Dieses Verfahren erhöht die Temperatur der Vorlaufleitung und sorgt für eine zusätzliche Entgasung der zum Kessel zurückfließenden Flüssigkeit, wodurch niedrigere Drücke möglich werden.
- Seite 40 Technische Information Tabelle 13 Schaltplanpositionen Quellenspannung HS-16 Verdrahtung HS-20 Verdrahtung HS-32 Verdrahtung NHS-35 Verdrahtung 200 Delta Abbildung 15 208 Delta Abbildung 13 Abbildung 15 220 Delta Abbildung 15 Abbildung 17 Abbildung 20 240 Delta Abbildung 13 Abbildung 15 Abbildung 17...
- Seite 41 Technische Information Um die Pumpe zu verdrahten: Prüfen Sie das Heizgerät auf die richtige Versorgungsspannung und suchen Sie den entsprechenden Schaltplan. Die richtige Spannung ist angegeben. Prüfen Sie den Lastausgleich, indem Sie den Widerstand jedes Abzweigs messen. Die Widerstände der Heizgeräte sind in den jeweiligen Schaltplänen angegeben.
- Seite 42 Thermoschaltern erkannt, von denen einer die Kesseltemperatur und der andere die Wassertemperatur überwacht. Diese Schalter sind werksseitig eingestellt und müssen nicht justiert werden. Die Abschalttemperaturen für die Wasser- und Kesselschalter sind in der folgenden Tabelle angegeben. Tabelle 14 Thermische Abschalttemperaturen Units HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 Wasserschalter °F Kesselschalter °F...
- Seite 43 Technische Information Abbildung 13 HS-16 3-Phasen-Delta-Schaltung Tabelle 15 HS-16 3-Phasen-Deltaschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 2700 W 3200 W 8100 WATTS 9600 WATTS 8100 WATTS 9600 WATTS 208 V = 12.8 208 V = 8.6 26.6...
- Seite 44 Technische Information Abbildung 14 HS-16 3-Phasen WYE-Schaltung Tabelle 16 HS-16 3-Phasen-WYE NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 2700 W 3200 W 8100 WATTS 9600 WATTS 8100 WATTS 9600 WATTS 240 V = 20.3 240 V = 17.1...
- Seite 45 Technische Information Abbildung 15 HS-20 3-Phasen- Delta-Parallelschaltung Tabelle 17 HS-20 3-Phasen- Delta-Parallelschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 2000 W 12000 Watts 12000 Watts 200 V = 19 200 V = 6.3 34.6 208 V = 20.5 208 V = 6.8 33.3...
- Seite 46 Technische Information Abbildung 16 HS-20 3-Phasen-WYE-Parallelschaltung Tabelle 18 HS-20 3-Phasen-WYE-Parallelschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 2000 W 12000 Watts 12000 Watts 220 V = 22.9 380 V = 22.8 18.2 240 V = 27.3 415 v = 27.2 16.7 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 47 Technische Information Abbildung 17 HS-32 3-Phasen- Delta-Parallelschaltung Tabelle 19 HS-32 3-Phasen-Delta-Parallelschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LINE CURRENT (AMPS) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 4000 W 24000 Watts 24000 Watts 220 V = 11.5 220 V = 3.8 240 V = 13.7 240 V = 4.5 57.7 400 V = 37.9...
- Seite 48 Technische Information Abbildung 18 HS-32 3-Phasen-WYE-Parallelschaltung Tabelle 20 HS-32 3-Phasen-WYE-Parallelschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 4000 W 24000 Watts 24000 Watts 240 V = 13.7 415 V = 13.6 33.4 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 49 Technische Information Abbildung 19 HS-32 3-Phasen- Delta -Serienschaltung Tabelle 21 HS-32 3-Phasen- Delta -Reihenschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 4000 W 24000 Watts 24000 Watts 240 V = 13.7 480 V = 18.2 28.9 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 50 Technische Information Abbildung 20 NHS-35 3-Phasen- Delta-Parallelschaltung Tabelle 22 NHS-35 3-Phasen- Delta-Parallelschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 4000 W 24000 Watts 24000 Watts 220 V = 11.5 220 V = 3.8 240 V = 13.7 240 V = 4.5 57.7 380 V = 34.2...
- Seite 51 Technische Information Abbildung 21 NHS-35 3-Phasen-WYE-Parallelschaltung Tabelle 23 NHS-35 3-Phasen-WYE-Parallelschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 4000 W 24000 Watts 24000 Watts 240 V = 13.7 415 V = 13.6 33.4 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 52 Technische Information Abbildung 22 NHS-35 3-Phasen- Delta-Serienschaltung Tabelle 24 NHS-35 3-Phasen- Delta-Reihenschaltung NOMINALER HEIZWIDERSTAND BEI LEITUNG ZU LEITUNG LEITUNGSSTROM (AMPERE) RAUMTEMPERATUR (OHMS) WIDERSTAND (OHMS) L1-L2/L2-L3/L3-L1 4000 W 24000 Watts 24000 Watts 240 V = 13.7 480 V = 18.2 28.9 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 53 Technische Information Anfänglicher Vakuumtest Bevor Sie die Pumpe mit Flüssigkeit füllen, führen Sie diesen ersten Vakuumtest durch, um die Dichtheit des Systems und der Vakuumanschlüsse zu prüfen. Pumpen und ihre Komponenten sind für den Betrieb unter Vakuum ausgelegt; sie sind nicht dafür vorgesehen, unter Druck gesetzt zu werden, was dazu führen könnte, dass sie bersten und dabei möglicherweise Splitter mit tödlicher Geschwindigkeit ausstoßen.
- Seite 54 Technische Information Wenden Sie sich an Ihren Agilent-Vertreter, um Informationen über das HINWEIS umfangreiche Angebot an Helium-Lecksuchgeräten von Agilent zu erhalten. Nachfüllen oder Wechseln der Pumpenflüssigkeit Die Explosionsgefahr bei großen Vakuumdiffusionspumpen wird durch die WARNUNG folgenden Faktoren erhöht: • Verwendung einer Kohlenwasserstoffflüssigkeit als Fördermedium. Kohlenwasserstoffflüssigkeit ist anfälliger für Explosionen als synthetische Flüssigkeit auf Silikonbasis.
- Seite 55 Technische Information Die empfohlene Flüssigkeitsmenge für jede Pumpe ist in Tabelle 4 angegeben. Die Flüssigkeiten müssen in sauberen, fest verschlossenen Behältern gelagert werden und sollten deutlich nach ihrem Typ gekennzeichnet sein. Pumpenflüssigkeiten unterschiedlicher Art und Herkunft dürfen nicht vermischt werden. Im Allgemeinen ist es nicht ratsam, gebrauchte und neue Flüssigkeit für eine Pumpenfüllung zu mischen.
- Seite 56 Technische Information Um Pumpenflüssigkeit hinzuzufügen oder zu wechseln: Suchen Sie die Füll- und Ablassanschlüsse in der entsprechenden Skizze. Sehen Sie sich Abbildung 7 bis Abbildung 10 an. Die Anschlüsse sind mit speziellen Viton® -Elastomer-Dichtungen versehen. Vergewissern Sie sich, dass die Stromversorgung der Heizungen ausgeschaltet ist.
- Seite 57 Technische Information Betrieb Während der Erstinstallation kann die neu installierte Pumpenflüssigkeit entgast werden. Dies kann zu Druckschwankungen in der Vorlaufleitung führen, die als normal angesehen werden. Unter den folgenden Bedingungen besteht erhöhte Explosionsgefahr: WARNUNG • Entweichen von Luft in das System •...
- Seite 58 Technische Information Inbetriebnahme Um die Pumpe zu starten: Evakuieren Sie die Diffusionspumpe mit einer mechanischen Vorpumpe auf unter 0,5 Torr (0,67 mbar). Die Diffusionspumpe funktioniert nur, wenn der Förderdruck unter dem zulässigen Vordruck liegt. Schalten Sie die Kühlwasserversorgung des Pumpengehäuses ein und prüfen Sie, ob ein ausreichender Durchfluss gewährleistet ist, indem Sie die an den visuellen Ablasspunkten austretende Wassermenge untersuchen.
- Seite 59 Technische Information Abschaltverfahren 1 Das Ablassen oder Einlassen von Luft in eine Pumpe mit heißem Kessel, WARNUNG insbesondere wenn diese unter Vakuum steht, ermöglicht den Kontakt eines starken Oxidationsmittels mit der heißen Pumpenflüssigkeit und erhöht das Risiko einer Explosion erheblich. 2 Die Kesseltemperaturen erreichen bis zu 275 °C (530°...
- Seite 60 Technische Information Wartung Führen Sie diese regelmäßigen Kontrollen durch, um einen störungsfreien Betrieb zu gewährleisten. Diese Wartung verhindert kostspielige Ausfallzeiten und Reinigungsverfahren. Führen Sie ein tägliches Protokoll der Pumpen- und Systemleistung, um deutliche Abweichungen zu erkennen, die Korrekturmaßnahmen erfordern. Regelmäßige Inspektionen The maximum interval between inspection of the pump is established on the basis of experience.
- Seite 61 Technische Information Reinigung Reinigung Sicherheit Bei der Reinigung einer Diffusionspumpe werden Aceton und Alkohol verwendet, die beide giftig und explosiv sind. Beachten Sie die folgenden Warnhinweise, bevor Sie mit dem Reinigungsprozess beginnen. Wenn diese Lösungsmittel erhitzt oder versprüht werden oder mit Hochtemperaturgeräten in Berührung kommen, werden sie entflammbar und explosiv, was zu schweren Verletzungen oder zum Tod führen kann.
- Seite 62 Technische Information Aufgrund der allmählichen Verschlechterung der Pumpenflüssigkeiten kann eine vollständige Reinigung der Pumpe erforderlich sein. In diesem Fall muss die Pumpe aus dem System entfernt werden. Um eine installierte Pumpe zu reinigen: Trennen Sie alle Wasserkühlungsleitungen und unterbrechen Sie den primären Stromkreis für die Pumpenheizungen.
- Seite 63 Technische Information Verfahren zur Demontage und Wiedermontage Kühlkappe Um die Kühlhaube zu demontieren, gehen Sie wie in der folgenden Abbildung gezeigt vor und führen die folgenden Schritte aus. Die Halo- Ablenkplatte wird auf die gleiche Weise demontiert. HINWEIS Entfernen Sie die Muffe, die Mutter, den Mitnehmer und die Dichtung, die sich am Ende der Wasserleitung der Kühlkappe an der Außenseite der Pumpe befinden.
- Seite 64 Technische Information Die Wasserleitung muss an die Kupplung der Kühlkappe mit FPT-Gewinde HINWEIS angeschlossen werden. Abbildung 24 Montage der Kühlkappe Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 65 Technische Information Düseneinheiten Die Düseneinheiten der einzelnen Pumpen werden in den folgenden Unterabschnitten beschrieben und dargestellt. Die Verfahren und Zeichnungen sind spezifisch für jedes Pumpenmodell. HS-16 Düseneinheit Abbildung 25 HS-16 Düseneinheit Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 66 Technische Information Um die Düseneinheit zu demontieren: Entfernen Sie die Kühlkappe oder das Halo- Ablenkblech wie unter „Kühlkappe“ beschrieben. Schrauben Sie die obere Kappe von ihrer Kupplung ab und entfernen Sie sie. Entfernen Sie den oberen Stopfen. Entfernen Sie den Tropfschutz, der lose auf der zweiten Stufe sitzt. Heben Sie die gesamte zweite Stufe an und nehmen Sie sie ab.
- Seite 67 Technische Information HS-20 Düseneinheit Abbildung 26 HS-20 Düseneinheit Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Benutzerhandbuch...
- Seite 68 Technische Information Um die Düseneinheit zu demontieren: Entfernen Sie die Kühlkappe oder das Halo-Schutzblech wie unter „Kühlkappe“ beschrieben. Schrauben Sie die Düsenkappe von der Kupplungseinheit ab. Entfernen Sie den Düsenstopfen. Ziehen Sie das Zentralrohr mit der Düse der zweiten Stufe und dem Düsenschild heraus.
- Seite 69 Technische Information Kontrollieren Sie, dass die untere Düseneinheit fest auf der Pumpe sitzt und der Auswerfer richtig positioniert ist. Zur korrekten Ausrichtung befindet sich im Pumpenfuß ein Stift; der große Schlitz im Düsenfuß muss auf diesen Stift ausgerichtet sein. Führen Sie die Schritte 1 bis 5 in umgekehrter Reihenfolge aus. Wenn sich die Düsenkupplung während des Ausbaus von der Düsenstange löst, HINWEIS positionieren Sie sie so, dass die Oberseite der Düsenkupplung mit dem unteren...
- Seite 70 Technische Information HS-32 Düseneinheit Abbildung 28 HS-32 Düseneinheit Um die Düse zu demontieren: Schrauben Sie die Sechskantmutter ab, mit der die Kühlkappe befestigt ist, und entfernen Sie sie. Achten Sie vor dem Ausbau auf die Ausrichtung der Kappe. Entfernen Sie die Kühlkappe (oder das Halo- Ablenkblech) wie unter „Kühlkappe“...
- Seite 71 Technische Information Um die Düse wieder zusammenzubauen: Wurde die mittlere Düsenstange bei der Demontage entfernt oder gelockert, schrauben Sie die Stange wieder in die Kesselplatte. Die Oberseite der Stange sollte etwa 1/16„ bis 1/8“ unter der Oberseite des Einlassflansches (Einlassebene der Pumpe) liegen.
- Seite 72 Technische Information NHS-35 Düseneinheit Abbildung 29 NHS-35 Düseneinheit Um die Düse zu demontieren: Schrauben Sie die Sechskantmutter ab, mit der die Kühlkappe befestigt ist, und entfernen Sie sie. Achten Sie vor dem Ausbau auf die Ausrichtung der Kappe. Entfernen Sie die Kühlkappe (oder das Halo- Ablenkblech) wie unter „Kühlkappe“...
- Seite 73 Technische Information Um die Düse wieder zu montieren: Wenn die mittlere Düsenstange bei der Demontage entfernt oder gelockert wurde, schrauben Sie die Stange wieder in die Kesselplatte. Die Oberseite der Stange sollte etwa 1/16„ bis 1/8“ unter der Oberseite des Einlassflansches (Einlassebene der Pumpe) liegen.
- Seite 74 Technische Information Verfahren zum Austausch des Heizelements Die folgende Abbildung zeigt die Komponenten der Heizelement- Einheit. Das Verfahren zum Austausch des Heizelements ist für alle großen Diffusionspumpen identisch*. Beim Umgang mit dem Glasfaserisolator und den Drähten sind folgende WARNUNG Vorsichtsmaßnahmen zu beachten, da der Glasfaserisolator RCF enthält, ein potenziell krebserregendes Material.
- Seite 75 Technische Information WARNUNG Hochspannung (bis zu 480 V) kann tödlich sein. Unterbrechen Sie immer den primären Stromkreis zur Stromversorgung, bevor Sie mit Arbeiten am Heizgerät oder seiner Verkabelung beginnen. Eine schlechte Klemmung, die zu einem unzureichenden Wärmekontakt führt, VORSICHT kann die Lebensdauer des Heizelements verkürzen und die Pumpenleistung beeinträchtigen.
- Seite 76 Technische Information Die verbleibende(n) Mutter(n) handfest anziehen, dann alle Muttern gleichmäßig mit einem Drehmoment von 250 Pfund anziehen. Die Ausrichtung des Heizgeräts mit der Quetschplatte überprüfen. Das Heizgerät muss sich auf allen drei Seiten innerhalb der Laschen der Quetschplatte befinden. Die Heizkabel gemäß...
- Seite 77 Technische Information Fehlersuche Leakage Wenn Leckagen die vermutete Ursache für eine schlechte Systemleistung sind, überprüfen Sie zunächst die folgenden Punkte: Einlass- und Vorlaufanschlüsse Ablass- und Füllstopfen Andere Klemmringverschraubungen, wie z. B. Hochvakuummessgeräte im System Gewindeverbindungen, wie z. B. ein Vorlaufmanometer. ...
- Seite 78 Technische Information Schlechte Pumpen- oder Systemleistung In der folgenden Tabelle sind die Fehler, die wahrscheinlichen Ursachen und die zu ergreifenden Abhilfemaßnahmen aufgeführt, wenn Sie ein Problem mit einer großen Diffusionspumpe haben. Tabelle 25 Fehlersuchanleitung Fehler Wahrscheinliche Ursache Abhilfemaßnahme Schlechte Druckbeaufschlagung des Leckagen im System, virtuell oder real Lokalisieren und reparieren Systems...
- Seite 79 Technische Information Tabelle 25 Fehlersuchanleitung (Fortsetzung) Fehler Wahrscheinliche Ursache Abhilfemaßnahme Starke Verunreinigung der Zu hoher Vordruck Pumpenflüssigkeit in der Kammer Längerer Betrieb im Überlastbereich Betriebsverfahren einhalten Zu frühes Umschalten von der Umschalten bei niedrigerem Vorpumpe in den Abpumpzyklus Kammerdruck Unsachgemäßer Systembetrieb und Betriebsverfahren einhalten unsachgemäße Entlüftungsvorgänge Pumpe startet nicht...
- Seite 80 Bei der Bestellung von Ersatzteilen geben Sie bitte die Typennummer und die Seriennummer der Pumpe an. In den folgenden Tabellen sind die Zubehör- und Ersatzteile für die HS-16, HS-20, HS-32 und NHS-35 aufgeführt. Tabelle 26 HS-16 Zubehör und Ersatzteile Teilenummer...
- Seite 81 Technische Information Tabelle 26 HS-16 Zubehör und Ersatzteile ( Fortsetzung) Teilenummer Beschreibung 79308001 Heizungsabdeckplatte K0377164 O-Ring-Satz; enthält: ❑ 1 Butyl ASA Einlass-O-Ring (48214001) ❑ 1 Buna-N ASA Vorderleitungs-O-Ring (660890348) ❑ 8 Viton Füll- und Ablass-O-Ringe (660892213) ❑ 1 Schauglas-O-Ring (660892232) ❑...
- Seite 82 Gewindestopfen, Füllen und Ablassen K9050001 Oberer Thermoschalter, Temperatureinstellung: 185 °F K9050002 Unterer Thermoschalter, Temperatureinstellung: 390 °F X3900-68006 HS-16/20 Thermoschalterkabel, 14 AWG, 80“ Länge 648056329 Ni-Verbindung, 14 AWG X3900-68000 HS-16/20 Heizungsdraht, 120“ 10 AWG 647320025 Heizelement mit Leitungen (2,000 W, 200 V)
- Seite 83 Technische Information Tabelle 27 HS-20 Zubehör und Ersatzteile (Fortsetzung) Teilenummer Beschreibung K7107001 Klemmblech L6514001 Isolierung für Heizungen, Cerablanket 0,50“ dick 84497001 Heizungsabdeckplatte L9223001 Schauglas (für Pumpen, die nach Oktober 1994 gebaut wurden) K0377165 O-Ring-Satz; enthält: ❑ 1 Butyl-O-Ring für ASA-Einlassflansch (84349002) ❑...
- Seite 84 Technische Information Tabelle 28 HS-32 Accessories and Spare Parts Teilenummer Beschreibung 77252801 Kühlkappen-Baugruppe, einschließlich Nr. 10-32 SST Rd Hd Schraube und Nr. 10-32 Sechskantmutter SST L8839301 Dichtungssatz für Kühlkappe F2622001 Mitnehmer für Kühlkappe (Messing) 75786001 Mutter für Kühlkappe 622445026 Kühlkappe mit Innengewinde, 1/2„ OD Rohr x 3/8“ FPT, Imperial Flexfitting Nr. 66-FL 76511301 Düseneinheit F6097301...
- Seite 85 Technische Information Tabelle 29 NHS-35 Zubehör und Ersatzteile Teilenummer Beschreibung F1971302 Düseneinheit 81437301 Kühlkappen-Baugruppe (einschließlich Nr. 10-32 SST Rd Hd-Schraube und Nr. 10- 32 Sechskantmutter) SST L8839301 Dichtungssatz für Kühlkappe F2622001 Kühlkappenstößel (Messing) 75786001 Mutter für Kühlkappe 622445026 Kühlkappe mit Innengewinde, 1/2„ OD Rohr x 3/8“ FPT, Imperial Flexfitting Nr. 66-FL F1744301 Baugruppe Ablenkblech der Vorlaufleitung 77261001...
- Seite 86 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
- Seite 87 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product. Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations (IATA, DOT, etc.) and carrier requirements.
- Seite 88 Vacuum Products Division Request for Return Form Customer information Company : Contact Name: Address: Tel: Fax: Email: Equipment Product description Agilent PartNo Agilent Serial No Original Purchasing Reference Failure description Type of process (for which the equipment was used) Type of return Non Billable Billable New PO # (hard copy must be submitted with this form): ______________________________________...
- Seite 89 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...
- Seite 90 In This Book The manual describes the following: Technische Information This information is subject to change without notice. © Agilent Technologies, Inc. 2024 Agilent Technologies Italia S.p.A. Vacuum Products Division *699901140DE* Edition 09/24 Via F.lli Varian, 54 *699901140DE* Issue H.00 10040 Leinì...