Befestigung Der Pumpe - Agilent Technologies Varian TV 1001SEM Bedienungshandbuch

BEFESTIGUNG DER PUMPE


GEFAHR!
Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung
zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen
Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem
Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen,
besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder
der Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten
Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert
werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden
an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten.
TV 1001 SEM in einer stabilen Position befestigen. Den Ein-
trittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems
montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von
8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.
Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahl-
klemmen befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250
DCMZ).
Die nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250
DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem
Anzugsmoment sie festzuziehen sind.
FLANSCH ANZ.
ISO 200 8
Die nachstehende Tabelle gibt an, wie schrauben für jeden
ISO-F-Flansch erforderlich sind und mit welchem Anzugsmo-
ment sie festzuziehen sind.
FLANSCH ANZ.
ISO 200 F 12
Für die Flansche F müssen die Stahlschrauben von der Klasse
>8.8 sein
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
Modell TV 1001 SEM kann in jeder beliebigen Position instal-
liert werden.
HINWEIS
Modell TV 1001 SEM kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
ACHTUNG!
Der TV 1001 SEM gehört zur zweiten Installationsklasse
(Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist.
Die Vorrichtung muß daher
angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 1001 SEM hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und
die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise
angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter
Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der
an den TV 1001 SEM angeschlossenen Vorrichtung auch bei
einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der
Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der
Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
ANZUGSMOMENT
35 Nm
ANZUGSMOMENT
5 Nm
an eine Speisungsleitung
Vakuumkammer darf die

Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht
Verbrennungsgefahr.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß
atmosphärischen Druck) betragen.
Zum Pumpen von Gasen mit Partikeln oder aggressiven
Schadstoffe für die Lager, sind die Pumpen mit einer Öffnungs-
klappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas
(Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical
Information").
Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämp-
fen benutzen, weil sie das Material im Innern der Pumpe be-
schädigen könnten.

Wenn die Pumpe
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die
für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei
Vorhandensein von
werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV
1001 SEM
Zur Einschaltung von Modell TV 1001 ist es mit der
erforderlichen Versorgungsspannung
eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein
von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder
freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 1001
gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen
des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen
Betrieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
"Waiting for Interlock".
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 1001 SEM
Zum Stoppen von
Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller
sorgt für den sofortigen Pumpenstopp.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
ACHTUNG!
soll unter 2 bar (über
ACHTUNG!
GEFAHR!
zur Förderung von giftigen,
explosionsfähigen Gasen
zu versorgen.
Modell TV 1001 SEM
87-900-973-01(E)
dem
leicht
verwendet
Der
ist die