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Miniature and
2 l/s VacIon Pumps
Miniature Models:
913-0037 913-0038
913-0040 913-0041
913-0049 913-0050
Magnet: 913-0042
2 l/s Models:
913-0032 913-0034
913-0035 913-0045
913-0046 913-0047
913-0052 913-5000
Magnet: 913-0011
87-400-044-01 (D)
APRIL 2006
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(GB) INSTRUCTION MANUAL
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Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies Varian 913-0037
Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies Varian 913-0037
- Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. Miniature and 2 l/s VacIon Pumps MANUALE DI ISTRUZIONI Miniature Models: BEDIENUNGSHANDBUCH 913-0037 913-0038 NOTICE DE MODE D’EMPLOI 913-0040 913-0041 (GB) INSTRUCTION MANUAL 913-0049 913-0050...
- Seite 2 Miniature pumps 2 l/s VacIon pumps...
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Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI DI SICUREZZA....................1 INFORMAZIONI GENERALI......................1 INSTALLAZIONE ...........................1 Collegamento dell’unità di controllo ..................2 NOTE DI FUNZIONAMENTO ......................2 Operazione di “bakeout” ......................2 CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO ANOMALE ................3 Bassa corrente........................3 Alta corrente.........................3 BETRIEBSANLEITUNG SICHERHEITSHINWEISE ......................4 ALLGEMEINE HINWEISE ......................4 INSTALLATION..........................4 Anschluss des Controllers ....................5 FUNKTIONSWEISE........................5 Bakeout..........................5 BETRIEBSSTÖRUNGEN ......................6... -
Seite 6: Istruzioni Per L'uso
ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI DI SICUREZZA MODELLO Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4” 913-0046 Questa apparecchiatura è destinata ad uso pro- OD 90° a T fessionale. L'utilizzatore deve leggere attentamen- Con tubo in rame OFHC da 3/4” OD 913-0052 te il presente manuale di istruzioni ed ogni altra Con flangia 1 1/3”... -
Seite 7: Collegamento Dell'unità Di Controllo
ISTRUZIONI PER L'USO Dopo che il sistema ha raggiunto una pressione Collegamento dell’unità di controllo inferiore ai 10 Torr, si può avviare la pompa semplicemente accendendo l’unità di controllo. L’avvio della pompa viene indicato dalla presenza PERICOLO! di un assorbimento di corrente da parte dell’unità Le tensioni generate dall’unità... -
Seite 8: Condizioni Di Funzionamento Anomale
ISTRUZIONI PER L'USO 5. Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche e) Che non ci siano rivestimenti di film metallici c’è anche la possibilità del loro impiego per conduttori sugli isolatori a causa di un funzio- processare sotto vuoto altri componenti. Poichè namento sopra i 10 Torr per elevati periodi di il passante di alta tensione può... -
Seite 9: Sicherheitshinweise
BETRIEBSANLEITUNG SICHERHEITSHINWEISE MODELL Mit Kurzer Rohr in Edelstahl 3/4” OD 913-0047 Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch Mit Rohr in OFHC Kupfer 3/4” OD 913-0052 bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer die- ses Handbuch sowie alle weiteren von Varian mit- Mit Flansch 1 1/3”... -
Seite 10: Anschluss Des Controllers
BETRIEBSANLEITUNG Nachdem das System einen Druck unter 10 Torr Anschluss des Controllers erreicht hat, ist es möglich, die Pumpe lediglich durch Einschalten des Controllers zu starten. Der GEFAHR! Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und den Controller erkenntlich. -
Seite 11: Betriebsstörungen
BETRIEBSANLEITUNG 5. Zu den verschiedenen Einsatzmöglichkeiten d) Es darf keine Stromabgabe durch “Spitzen” der Ionenpumpen zählt auch die Vakuumer- erfolgen, die sich an den Katoden gebildet ha- zeugung in anderen Komponenten. Da Hoch- ben. An die Pumpe eine Spannung zwischen spannungsverbinder nur einer begrenzten 10 und 14 kVAC mit einer Stromstärke zwi- Anzahl von Erwärmungszyklen (bis zu 400°C) -
Seite 12: Instructions D'utilisation
INSTRUCTIONS D’UTILISATION INFORMATIONS SUR LA SÉCURITÉ MODÈLE Avec tuyau en acier inoxydable de 3/4” 913-0046 Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisa- ØE 90° en T tion professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur Avec tuyau courte en acier inoxydable de 913-0047 de lire attentivement cette notice d'instructions 3/4”... -
Seite 13: Branchement De L'unité De Contrôle
INSTRUCTIONS D’UTILISATION Après que le système a atteint une pression infé- Branchement de l'unité de contrôle rieure à 10 Torr, il est possible de démarrer la pompe en allumant simplement l'unité de contrôle. La mise en marche de la pompe est signalée par DANGER! la présence d'une absorption de courant par l'unité... -
Seite 14: Conditions De Fonctionnement Anormales
INSTRUCTIONS D’UTILISATION 5. Les pompes ioniques offrent de nombreuses d) Il n'y ait pas d'émission de courant sur les pointes applications. Elles permettent même la prépa- formées sur les cathodes. Appliquer à la pompe ration sous-vide d'autres composants. Le pas- une tension entre 10 et 14 kVca avec un courant sant de haute tension pouvant supporter un entre 20 et 30 mA pendant 5-20 secondes pour... -
Seite 15: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE SAFETY INFORMATION MODEL With 3/4” OD 180° Stainless Steel Short 913-0047 This equipment is destined for use by profession- Tube als. The user should read this instruction manual With 3/4” OD OFHC Copper Tube 913-0052 and any other additional information supplied by With 1 1/3”... -
Seite 16: Control Unit Connection
INSTRUCTIONS FOR USE After the system is rough-pumped to below 10 Control unit connection Torr, the pump can be started by simply switching on the VacIon pump control unit. A current draw on the control unit will indicate that the pump dis- WARNING! charge has started. -
Seite 17: Unusual Operating Conditions
INSTRUCTIONS FOR USE UNUSUAL OPERATING CONDITIONS DISPOSAL Meaning of the "WEEE" logo found in labels Low current The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic If the pump current reads lower than normal for the Equipment) Directive. -
Seite 18: Customer Information
Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3. - Seite 19 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 20 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)