Agilent Technologies Varian TV 1001SEM Bedienungshandbuch Seite 33

FASTGØRELSE AF PUMPE

ADVARSEL!
Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og
systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis
forbindelsen ikke er tilstrækkelig
drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller
motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette
tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller
systemet, hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller
dødsfald og/eller materiel beskadigelse af apparaterne i
nærheden.
Montér TV 1001 SEM i en stabil position ved at montere
turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange.
Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm
omkring dens egen akse.
ISO-K-flangen kan eksempelvis fastspændes ved hjælp af
stålklemmer med høj styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250
DCMZ).
Nedenstående tabel beskriver antallet af klemmer (IC 63250
DCMZ), som er nødvendige til hver enkelt flange, samt det
nødvendige tilspændingsmoment for klemmerne.
LANGE ANT.
ISO 200 8
Nedenstående tabel beskriver antallet af skruer, som er
nødvendige til hver enkelt ISO-F-flange, samt det nødvendige
tilspændingsmoment.
LANGE ANT.
ISO 200 F 12
Stålskruerne til flangerne F skal være i klasse > 8.8
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget "Teknisk Information" findes yderligere detaljer.
TV 1001 SEM kan installeres i en hvilken som helst position.
BEMÆRK
Navigator TV 1001 kan ikke fastgøres i fundamentet.
VIGTIGT!
TV 1001 SEM hører til den anden installationsklasse (eller
overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor
anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne
klasse.
TV 1001 SEM er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og
til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de
eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang
til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er
tilsluttet TV 1001 SEM, har en passende isolering. Dette gælder
også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1.
Der henvises til bilaget "Teknisk Information" for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden
anvendelse af systemet,
pneumatiske tilslutninger
opvarmning af vakuumkammeret
temperatur ikke overstige 120° C.

ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
til at modstå dette
DREJNINGS-MOMENT
35 Nm
DREJNINGS-MOMENT
5 Nm
bør samtlige elektriske
udføres. I forbindelse med
må indløbsflangens
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke
indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den
specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk
tryk).
I forbindelse med pumpning af gasser, der indeholder partikler
og andre aggressive foruredningsmidler, der skader lejerne, er
disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er
nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller
helium) for at beskytte lejerne (se bilaget "Technical
Information").
Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende
dampe, der kan beskadige pumpens indvendige dele.
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Start og anvendelse af TV 1001 SEM
For at starte TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at tilslutte et
forsyningsstik.
blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START
metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne
funktion automatisk
aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START
metoden.
For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte
måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit "RS 232
"COMMUNICATION
Information").
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 1001's
fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsing, stop eller "Waiting for
interlock"
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Stop af TV 1001 SEM
For at afbryde TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at afbryde
strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks
pumpen.
For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en
strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de
bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik
(som skal være godkendt på international plan). Benyt dette
og
kabel og stik sammen med en stikkontakt, som på passende
måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og
opfylde kravene ifølge CE(EF) normerne.
De høje spændinger, som udvikles i controller'en, kan
forårsage alvorlige skader eller døden. Før der foretages
vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble
fødekablet fra.
Nødstop
Afbrydelse af TV 1001 SEM i nødsituationer sker ved at koble
ledningen fra styreenheden.
27/87
BRUGSANVISNING
VIGTIGT!
VIGTIGT!

ADVARSEL!
Den indbyggede styreenhed
med hensyn til alle
DESCRIPTION" i bilaget

ADVARSEL!
87-900-973-01(E)
genkender
efterfølgende
"Teknisk