Agilent Technologies Varian TV 1001SEM Bedienungshandbuch Seite 61

MONTÁŽ VÝVĚVY

VÝSTRAHA!
Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by
mohlo být vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto
propojení nebude schopno vydržet tento točivý moment, vývěva
by se mohla odpojit od systému nebo kryt elektromotoru by se
mohl odpojit od pláště vývěvy. V tomto případě by z vývěvy
nebo systému mohly vyletět kovové úlomky, které by mohly
způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení.
Vývěvu TV 1001 SEM umístěte do stabilní polohy a přívodní
přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte
systému pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8900
Nm kolem své osy. Např. přírubu ISO-K lze připevnit
příchytkami z vysoce pevné oceli (jako je typ IC63250DCMZ
firmy Varian).
Následující tabulka uvádí
IC63250DCMZ pro každou přírubu a příslušný utahovací
moment.
PŘÍRUBA POČET
ISO 200 8
Následující tabulka uvádí nezbytný počet šroubů pro každou
přírubu ISO-F a příslušný utahovací moment.
PŘÍRUBA POČET
ISO 200 F 12
Třída ocelových šroubů pro přírubu "F" musí být > 8.8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný
Information".
Vývěvu TV 1001 SEM lze instalovat v libovolné poloze.
POZNÁMKA
Vývěvu TV 1001 SEM nelze připevnit pomocí její základny.
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 1001 SEM do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva TV 1001 SEM je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást
nebyla přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 1001
SEM byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice
EN 61010-1.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical
Information".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.

VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
k protipřírubě
nezbytný počet příchytek
UTAHOVACÍ MOMENT
35 Nm
UTAHOVACÍ MOMENT
5 Nm
popis v příloze "Technical
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání plynů s obsahem částic nebo znečišťujících látek,
agresivních vůči
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz
přílohu Information").
Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů
nebo výparů, které by mohly poškodit materiály použité uvnitř
vývěvy.

Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 SEM
Pro uvedení vývěvy TV 1001 SEM do provozu je nutné přivést
síťové napětí k regulátoru (doplňkový). Integrovaný regulátor
automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů
a uvede vývěvu do provozu.
První spuštění vývěvy je v režimu "pozvolného rozběhu".
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim "pozvolného
rozběhu" se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez "pozvolného rozběhu". Chcete-li opět zapnout režim
"pozvolného rozběhu",
programovým příkazem (viz odstavec "POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485" v příloze "Technical Information").
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
TV 1001 SEM indikuje provozní stavy systému blikáním:
- bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
- pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu "čekání na
blokování";
- rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 1001 SEM
Pro vypnutí vývěvy TV 1001 SEM je nutné odpojit síťové napětí
od regulátoru. Ten vývěvu okamžitě zastaví.

Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla
Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka
dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně
schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně
uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES.
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné
zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř
jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 1001 SEM v nouzové situaci
je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
55/87
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VAROVÁNÍ
ložiskům, jsou tyto vývěvy
VAROVÁNÍ
VÝSTRAHA!
musíte jej aktivovat
VÝSTRAHA!
87-900-973-01(E)
vybaveny
patřičným