Agilent TPS-compact Betriebsanleitung Seite 8

Contents
运输及存储
产品描述
安装
安装准备
设置
TPS-compact 的安装
高真空法兰的连接
ISO-K 法兰的安装
ConFlat 法兰的安装
TPS-compact 的启动和运行
慢启动
停止 TPS-compact
紧急停止
维护
转子寿命
清洁
处置
服务
6
取扱説明書
この説明書について
有効期
8 Agilent TPS-compact User Manual
118
119
120
120
121
122
124
125
126
127
128
129
129
130
130
130
131
132
133
134
134