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取扱説明書
TPS-compact 実装
これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際にシ
警告
ステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が損害を受
けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性があります。
TPS-compactは、垂直位置にのみ取り付けることができます。
TPS-compactを安定した位置に固定し、ターボポンプのインレットフランジをシ
ステムのカウンターフランジに取り付けます。
ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウ
ェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。
更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧ください。
電源コード: 電気配線用の正しいケーブルは、3線(Ph + N + Earth)ケーブルで
す。 線の部分は、少なくとも0.75 mm
TPS-compact は、その基部またはインレットではない他のフランジを介して固
注意
定することはできません。
警告
システムは、線間電圧を簡単に遮断できるように設置する必要があります.
TPS-compact は、その基部またはインレットではない他のフランジを介して固
注意
定することはできません。
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(AWG18) ある必要があります。
Agilent TPS-compact User Manual

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