Agilent TPS-compact Betriebsanleitung Seite 123

使用说明
有关可选附件的安装，请参见"技术信息"章节。
本段详细介绍了基本操作程序。
在使用系统之前，进行所有电气和气动连接。在加热真空室时，入口法兰的温度不
得超过 120°C（使用 ConFlat 法兰）和 80°C（使用 ISO 法兰）
警告
当涡轮进气法兰未连接到真空室或未封闭时，切勿使用泵系统。
警告
请勿在加热过程中接触涡轮分子泵或其任何附件。高温可能会导致灼伤
警告
避免泵在运行时受到冲击或发生剧烈运动。轴承可能会损坏，并可能对人体或物
品造成损害.
使用不含灰尘、颗粒或湿气的惰性气体（如氮气）为泵排气。排气口的压力必须
小心
小于 2 bar（高于大气压）
警告
不要在存在爆炸性、有毒、易燃或放射性氣體的情況下使用泵系統。
Agilent TPS-compact User Manual 123