Agilent TPS-compact Betriebsanleitung Seite 9

Contents
定義と用語
警告・注意・注の定義
警告の記号
安全性
適切な使用
不適切な使用
保護用装備
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
輸送と保管
製品説明
取り付け
取り付けの準備
セットアップ
TPS-compact 実装
高真空フランジの接続
ISO-K フランジの取り付け
ConFlat フランジの取り付け
TPS-compact コンパクトの起動と操作
ソフトスタート
TPS-compact コンパクトを停止する
非常停止
メンテナンス
ローターの寿命
クリーニング
処分
サービス
Agilent TPS-compact User Manual
135
135
136
138
138
139
140
141
142
143
144
144
145
146
148
149
150
151
152
153
153
154
154
154
155
156
9