Zu dieser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
● Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und Schutz- maßnahmen einhalten. ● Sicherheitsvermerke an alle Benutzer weitergeben. 2.2 Bestimmungsgemäße Verwendung ● Digitalen Transmitter HPT 100 nur zum Messen von Totaldrücken im Bereich 1 • 10 ... 1000 mbar einsetzen. 2.3 Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleis-...
Vacuum Protokoll. Zur Anbindung an Profibus-Systeme stehen entsprechende Bus- Adapter zur Verfügung (siehe Zubehör). Der Transmitter reagiert auf Messwertanfragen, Typanfragen und Justierbefehle. 3.3 Einsatzbereich Das Gerät HPT 100 ist in folgenden Umgebungsbedingungen zu installieren und zu be- treiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume)
Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung Geräte ohne äußeren Schutz dürfen nicht mit elektrostatisch aufladbaren Materialien in Berührung kommen und dürfen nicht in elektrischen oder magnetischen Feldern bewegt werden. In Räumen mit feuchter oder aggressiver Atmosphäre: Gerät zusammen mit einem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschweißen.
Installation 5 Installation 5.1 Vakuumanschluss VORSICHT Vakuumkomponente! Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädi- gungen achten. Auf saubere, fettfreie und trockene Anschlussflansche achten. VORSICHT Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium, wenn elastomere Dicht- ringe dem Druck nicht mehr standhalten.
Seite 8
Installation Adresswahlschalter einstellen ------------------ ------------------ ------------------ ------------------ Abb. 2: Adresswahlschalter einstellen Gummistopfen (in Abb. nicht dargestellt) vom Adresswahlschalter abnehmen, und ge- wünschte Adresse gemäß der jeweiligen Anschlusssituation einstellen. Adresswahlschalter am Transmitter auf RS-232-Betrieb einstellen (Grundeinstellung Transmitter am Steu- ab Werk).
Installation Adresswahlschalter am Transmitter auf RS-232-Betrieb einstellen (Grundeinstellung Transmitter am Netz- ab Werk). teil DPS 101 anschlie- Transmitter mit Verbindungskabel am Netzteil sowie an der RS-232-Schnittstelle des ßen PC’s anschließen. Netzteil einstecken. Transmitter mit Software DokuStar (inkl. Lieferumfang DPS 101) betreiben. Transmitter am Netz- teil DPS 109 anschlie- RS 485...
Vacuum Vacuum chamber chamber Abb. 7: Anschlussplan HPT 100 - USB/RS-485 Konverter Adresswahlschalter S am Transmitter auf RS-485-Betrieb mit entsprechender Adres- se einstellen. Transmitter mit Verbindungskabel an USB/RS-485 Konverter anschließen. Spannungsversorgung am Transmitter herstellen. 5.3 Ausbau von Komponenten zu deren Wartung WARNUNG Kontamination von Teilen des Transmitters durch gemessene Medien möglich!
Betrieb 6 Betrieb 6.1 Vor dem Einschalten Nach Anlegen der Versorgungsspannung ist der Transmitter betriebsbereit. Jedoch ist es angebracht, vor dem Messen eine Stabilisierungszeit von 5-10 min abzuwarten und den Transmitter während der Messung ununterbrochen zu betreiben. Der gemessene Druck ist gasartabhängig. Zur Anpassung an verschiedene Gase kann im Transmitter ein entsprechender Gasart-Korrekturfaktor für Pirani- oder Heißkatho- den-Komponente für den Druckbereich unterhalb 0,1 mbar eingestellt werden.
Kommunikationsanleitung möglich. Beim Einschalten der Versorgungsspannung befindet sich die Variable "Filament" auf "On" , (voreingestellt) d.h. der HPT 100 arbeitet im Normalbetrieb. Zustandsänderungen dieser Variable während des Betriebes werden nur temporär gespeichert. Der Zustand der Variable "Filament" kann jederzeit geändert werden und bleibt bis zum Abschalten der Versorgungsspannung gespeichert.
Betrieb 6.4 Umschaltbereiche wählen Der HPT 100 Transmitter bietet die Möglichkeit, je nach Anwendung den Umschaltbe- reich zwischen Pirani- und BA-Sensor anzupassen um zu verhindern, dass – in dem Übergansbereich der Messwert zu Regelung verwendet wird oder – im Falle von Beschichtungsanwendungen, die Heißkathode (BA) eingeschaltet ist und dadurch frühzeitig verschmutzt.
Betrieb 6.6 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Telegrammrahmen Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
Betrieb ? ASCII ASCII Verwendete Datenty- Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel falsch / wahr 000000 / 111111 pos. ganze Zahl 000000 bis 999999 pos. Festkommazahl 001571 entspricht 15,71 Zeichenkette TC_400 pos. ganze Zahl 000 bis 999 Zeichenkette 100023 6.7 Transmitter abgleichen Der Transmitter ist ab Werk justiert.
Degas 7 Degas Ablagerungen auf dem Elektrodensystem der Heißkathodenröhre können einerseits zu Instabilitäten im Mess-Signal sowie andererseits zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahoch- vakuum führen, wodurch evtl. ein zu hoher Druck gemessen wird. In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb von 2 · 10 mbar, die Anode des Sensors durch Ausheizen von adsorbierten Gasteilchen zu reinigen.
9 Wartung / Service Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuchten Tuch beseitigt werden. Nehmen Sie den Pfeiffer Vacuum Service in Anspruch! Sollte wi- der Erwarten ein Schaden am Gerät auftreten, haben Sie verschiedene Möglichkeiten, Ihre Geräte-Verfügbarkeit aufrecht zu erhalten: ●...
Technische Daten und Maßbilder 11 Technische Daten und Maßbilder 11.1 Technische Daten Parameter Digital Pirani/Bayard- Digital Pirani/Bayard- Alpert Transmitter Alpert Transmitter Anschlussflansch (Eingang) DN 40 ISO-KF DN 40 CF Schutzart IP 40 IP 40 Anzahl der Filamente Dichtung Metall Metall Druck max.
Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt der EU-Richtlinie über Elekt- romagnetische Verträglichkeit 2004/108/EG und der EU-Niederspannungsrichtlinie 2006/95/EG entspricht. DigiLine HPT 100 Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: DIN EN 61010-1: 2002 DIN EN 61326-1: 2006...
Seite 24
Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Führend. Zuverlässig. Vakuumlösungen, für deutsche Ingenieurskunst, kompetente Kundennah. Beratung und zuverlässigen Service. Seit der Erfindung der Turbopumpe setzen wir in unserer Branche Maßstäbe. Dieser Führungsanspruch wird uns auch in Zukunft antreiben. Sie suchen eine perfekte Deutschland Großbritannien...