Funktion; Kühlung; Rotorlager; Antrieb - Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50 Betriebsanleitung

4.2

Funktion

4.2.1 Kühlung
4.2.2

Rotorlager

4.2.3

Antrieb

Die Pumpe SplitFlow 50 bildet mit der Antriebselektronik TC 110 eine Einheit. Zur Span-
nungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden (z.B. TPS
oder DCU).
9
F
X3
250
235
Abb. 2: Ansicht SplitFlow 50 mit TC 110
9 Antriebselektronik TC 110
200 Pumpengehäuse
215 Pumpenunterteil
● Konvektionskühlung
● Luftkühlung (optional)
● Wasserkühlung (optional)
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch he-
runter. Je nach Einsatzgebiet und Typ der Splitflow stehen verschiedene Kühlvarianten
zur Auswahl.
Hybridgelagerte Turbopumpe
● Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
● Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Antriebselektronik TC 110
H
H
1
403 215
235 Vorvakuumanschluss
248 Sperrgasanschluss
250 Flutanschluss
Produktbeschreibung
200
248
SG
403 Zwischenabsaugung
X3 Multifunktionsanschluss
11