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Pfeiffer Vacuum HIPACE 60 P Betriebsanleitung
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Turbopumpe
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BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
HIPACE 60 P
Turbopumpe
Turbopump
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE 60 P

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 60 P

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 60 P Turbopumpe Turbopump...
  • Seite 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.
  • Seite 3 Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
  • Seite 4 Inhaltsverzeichnis Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.4 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten 6.5.2 Fluten Wartung Allgemeine Wartungshinweise Wartungsintervalle und- zuständigkeiten...
  • Seite 5 Tab. 10: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 11: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 12: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 60 P Tab. 14: Zubehör Tab. 15: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 16: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
  • Seite 6 Abb. 16: Demontage und Montage der Antriebselektronik Abb. 17: Ersatzteile HiPace 60 P Abb. 18: Abmessungen HiPace 60 P | DN 63 ISO-K Abb. 19: Abmessungen HiPace 60 P | DN 63 CF-F Abb. 20: Abmessungen HiPace 60 P | DN 40 ISO-KF...
  • Seite 7 Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
  • Seite 8 Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 der Vakuumpumpe. HiPace 60 P Mod. PM PXX XXX Type 12 Typenschild der Antriebselektronik - - - - - - - -...
  • Seite 9 Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Hinweis Betriebsanleitung Hinweis Erdungsanschluss 2 Typenschild Antriebselektronik Typenschild der Turbopumpe 3 Verschlusssiegel 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)
  • Seite 10 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Seite 12 Sicherheit WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. WARNUNG Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
  • Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
  • Seite 14 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 15 Sicherheit ► Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus. ► Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0).
  • Seite 16 ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 17 ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 18 Die Eigenschaftsbezeichnung "P" kennzeichnet prozessgeeignete Turbopumpen. Sie sind unempfind- lich gegen Staub und korrosive Gase. Scannen Sie den QR-Code oder klicken Sie hier und sehen Sie, wie Pfeiffer Vacuum Turbopumpen arbeiten. Abb. 2: Aufbau HiPace 60 P 1 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss...
  • Seite 19 3.1.3 Antrieb ● Antriebselektronik TC 110 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
  • Seite 20 ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
  • Seite 21 Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
  • Seite 22 Installation 5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen HINWEIS Schäden an der Vakuumpumpe durch Krafteinwirkung an der Hochvakuumseite Durch Befestigung am Pumpenunterteil und gleichzeitig starrer Rohrverbindung an der Hochvakuum- seite besteht die Gefahr, dass Zwangskräfte auf die Turbopumpe wirken. Mechanische Belastungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge. ►...
  • Seite 23 ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 60 P 620 Nm...
  • Seite 24 Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen der Turbopumpe reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für die Gasart...
  • Seite 25 4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.3.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.
  • Seite 26 Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
  • Seite 27 Installation Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 28 4. Beachten Sie für den Anschluss und Betrieb der Vorpumpen oder Pumpstände die Informationen aus deren Betriebsanleitung. 5.5 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.
  • Seite 29 Installation Zubehörgeräte mit TC verbinden ● Die Verwendung von Pfeiffer Vacuum Zubehör über die Antriebselektronik ist über ent- sprechende Verbindungskabel bzw. Adapter am Multifunktionsanschluss "X3" möglich. ● Konfiguration des gewünschten Zubehörausgangs über RS-485 mittels Pfeiffer Vacu- um Steuergeräte oder PC.
  • Seite 30 Installation Abb. 12: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1. Verwenden Sie den Erdungsanschluss der Turbopumpe (M4 Innengewinde). 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall.
  • Seite 31 5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verlängerungskabel an das Steuergerät an. 31/112...
  • Seite 32 Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 33 Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.
  • Seite 34 ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status...
  • Seite 35 Gefahr von unkontrollierbaren Druckanstiegen. Mechanische Schäden an der Turbopumpe bis zum Ausfall sind die Folge. ► Halten Sie die vorgeschriebene maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 hPa/s ein. ► Vermeiden Sie manuelles und unkontrolliertes Fluten von sehr kleinen Volumina. ► Verwenden Sie ggf. ein Flutventil aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 35/112...
  • Seite 36 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
  • Seite 37 6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.
  • Seite 38 ● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
  • Seite 39 Wartung Abb. 14: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Gummi-Metallpuffer O-Ring, Betriebsmittelspeicher 2 Spezialwerkzeug Betriebsmittelspeicher 3 Schraubenschlüssel Kapillarstab (8×) 4 Verschlussdeckel Schutzdeckel 5 O-Ring Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3.
  • Seite 40 Wartung Abb. 15: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Verschlussdeckel Gummi-Metallpuffer 2 O-Ring Drehmomentschlüssel 3 O-Ring, Betriebsmittelspeicher Spezialwerkzeug 4 Betriebsmittelspeicher Schutzdeckel 5 Kapillarstab (8×) Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe mit der Pinzette ein. 2. Setzen Sie den neuen Betriebsmittelspeicher bis zu dessen O-Ring in die Lagerfassung ein. –...
  • Seite 41 Wartung HINWEIS Sachschaden durch elektrostatische Entladungen Die Nichtbeachtung der elektrostatischen Gefährdung von elektronischen Komponenten führt zu de- ren Beschädigung oder Zerstörung. ► Stellen Sie ESD-Schutzmaßnahmen am Arbeitsplatz sicher. ► Beachten Sie DIN EN 61340 "Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene".
  • Seite 42 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 42/112...
  • Seite 43 1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
  • Seite 44 Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 45 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 46 ● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung. ● Rotor schwergängig, ● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick- Lager defekt lung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Sollwert Hochlaufzeit ● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700] zu niedrig eingestellt über ein Steuergerät.
  • Seite 47 Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 48 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 49 Ersatzteile HiPace 60 P Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 110 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher PM 143 740 -T inkl. Kapillarstäbe und O-Ringe Gummi-Metallpuffer P 3695 700 ZD Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 60 P 49/112...
  • Seite 50 Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Seite 51 Luftkühlung für HiPace 60 P, HiPace 80 und SplitFlow 50/80 mit TC 110/120 PM Z01 300 Wasserkühlung für HiPace 60 P / 80 / 350 / 450 und für SplitFlow 50 / 80 mit PM 016 623 -T Steckverschraubung, 8 mm Verlängerungskabel M8 auf M8...
  • Seite 52 Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 53 Technische Daten und Abmessungen Typbezeichnung erweitert HiPace® 60 P mit TC HiPace® 60 P mit TC 110 RS Kompressionsverhältnis für He 3,5 · 10 3,5 · 10 Kompressionsverhältnis für N 1 · 10 1 · 10 Saugvermögen für Ar 63 l/s 63 l/s Saugvermögen für H 28 l/s...
  • Seite 54 Transport und Lagertemperatur -25 – 55 °C -25 – 55 °C Gewicht 2,2 kg 2,3 kg Tab. 17: Technische Daten für HiPace 60 P | 24 V 14.3 Abmessungen Maße in mm DN 63 ISO-K 89.3 M5 - 10 deep (6x) 37.5 DN 16 ISO-KF / 1/4“...
  • Seite 55 Technische Daten und Abmessungen 89.3 DN 40 ISO-KF M5 - 10 deep (6x) 37.5 DN 16 ISO-KF / 1/4“ Abb. 20: Abmessungen HiPace 60 P | DN 40 ISO-KF 55/112...
  • Seite 56 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 57 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 58 58/112...
  • Seite 59 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
  • Seite 60 Table of contents Operating modes 6.2.1 Operation without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "X3" 6.2.3 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.4 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring...
  • Seite 61 Factory settings for delayed venting in turbopumps Tbl. 11: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Tbl. 12: Troubleshooting turbopumps Tbl. 13: Overview of the spare parts available for the HiPace 60 P Tbl. 14: Accessories Tbl. 15: Conversion table: Pressure units Tbl. 16: Conversion table: Units for gas throughput Tbl.
  • Seite 62 Electronic drive unit installation and removal Fig. 13: Spare parts HiPace 60 P Fig. 14: Dimensions HiPace 60 P | DN 63 ISO-K Fig. 15: Dimensions HiPace 60 P | DN 63 CF-F Fig. 16: Dimensions HiPace 60 P | DN 40 ISO-KF...
  • Seite 63 Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status.
  • Seite 64 Rating plate The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar Berliner Str. 43 of the vacuum pump. HiPace 60 P Mod. PM PXX XXX Type 12 Rating plate of the electronic drive unit - - - - - - - -...
  • Seite 65 About this manual Fig. 1: Position of the stickers on the product 1 Operating instructions note Information regarding ground connection 2 Rating plate for electronic drive unit Rating plate of the turbopump 3 Warranty seal 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current...
  • Seite 66 Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Seite 67 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.
  • Seite 68 Safety WARNING Risk of injury due to incorrect installation Dangerous situations may arise from unsafe or incorrect installation. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
  • Seite 69 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
  • Seite 70 Safety WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate. There is the risk of damaging on-site connections (e.g., fore-vacuum line) and resulting leaks. This results in leakage of process media.
  • Seite 71 Safety Permissible surrounding magnetic field for air cooling 3.3 mT Permissible surrounding magnetic field for water cooling 4.0 mT Maximum irradiated thermal output for air cooling 0.9 W Maximum irradiated thermal output for water cooling 1.2 W Maximum permissible rotor temperature of the turbopump 90 ℃...
  • Seite 72 ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.
  • Seite 73 Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power supply packs provide the voltage supply. The feature description "P" designates turbopumps suitable for the process. They are insensitive against dust and corrosive gases.
  • Seite 74 ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.
  • Seite 75 ► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits.
  • Seite 76 Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.
  • Seite 77 ● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump.
  • Seite 78 90 ℃ Tbl. 6: Requirements for dimensioning high vacuum connection supplied by customer Important information for correct installation ► Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connection of the turbopump. 5.3.2 Considering earthquake protection NOTICE...
  • Seite 79 Installation 5.3.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed of the turbo- pump reduces according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.
  • Seite 80 Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.
  • Seite 81 – Tightening torque: 5, 10, 16 ± 1 Nm Connection of hexagon head set screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum for the connection. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange on the turbopump.
  • Seite 82 Use the turbopump only in combination with a suitable backing pump that can deliver up to the required maximum fore-vacuum pressure. To achieve the fore-vacuum pressure, use a suitable vacuum pump or a pumping station from the Pfeiffer Vacuum range. In this case, the backing pump is also controlled directly via the turbopump electronic drive unit interfaces (e.g., relay box or connection cable).
  • Seite 83 Installation Connecting accessory devices to TC ● Use of Pfeiffer Vacuum accessories via the electronic drive unit is enabled via a corre- sponding connection cable or adapter at the “X3” multi-function connection. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC.
  • Seite 84 Installation Fig. 8: Example: Connecting the grounding cable Procedure 1. Use the turbopump ground terminal (M4 female thread). 2. Route the connection in accordance with locally applicable provisions. 5.6.2 Establishing electric connection DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ►...
  • Seite 85 5. Insert the connecting cable into the connection "DCout" on the power supply pack and close the bayonet lock. 6. If you are using a Pfeiffer Vacuum control unit: Connect the “RS-485” connector to the control unit using a suitable extension cable.
  • Seite 86 Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol.
  • Seite 87 Notes on operation without control unit 1. Only use the approved Pfeiffer Vacuum connection cables with bridges on the "X3" connection on the electronic drive unit. 2. Only switch on the power supply of the turbopump immediately before operation.
  • Seite 88 6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. Symbol...
  • Seite 89 This causes mechanical damage to the turbopump, including potential failure. ► Observe the prescribed maximum pressure rise speed of 15 hPa/s. ► Avoid manual and uncontrolled venting of very low volumes. ► Where necessary, use a venting valve from the Pfeiffer Vacuum range of accessories. 89/112...
  • Seite 90 General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.
  • Seite 91 5. Change the operating fluid reservoir at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Consult with Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or im- pure processes.
  • Seite 92 ● When ordering spare parts, make sure you use the correct pump article number and the operating fluid reservoir. ● This information can be found on the pump rating plate. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ●...
  • Seite 93 Maintenance Fig. 10: Removing the operating fluid reservoir 1 Rubber-metal bumper O-ring, operating fluid reservoir 2 Special tool Operating fluid reservoir 3 Wrench Capillary rod (8×) 4 Screw cap Protective cover 5 O-ring Removing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2.
  • Seite 94 Maintenance Fig. 11: Installing the operating fluid reservoir 1 Screw cap Rubber-metal bumper 2 O-ring Torque wrench 3 O-ring, operating fluid reservoir Special tool 4 Operating fluid reservoir Protective cover 5 Capillary rod (8×) Installing the operating fluid reservoir 1. Insert all new capillary rods with the tweezers. 2.
  • Seite 95 Maintenance Backing up settings made by the customer The factory operating parameters are always preset in replacement units. All settings made by the customer to the original electronic drive unit are lost when it is replaced. To preserve your custom settings, you have the following options: 1.
  • Seite 96 5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units.
  • Seite 97 2. Clean the turbopump externally with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing.
  • Seite 98 ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...
  • Seite 99 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
  • Seite 100 ● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700].
  • Seite 101 We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Seite 102 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
  • Seite 103 Operating fluid reservoir PM 143 740 -T incl. capillary rods and O-rings Rubber-metal bumper P 3695 700 ZD Tbl. 13: Overview of the spare parts available for the HiPace 60 P 103/112...
  • Seite 104 Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters.
  • Seite 105 Air cooling for HiPace 60 P, HiPace 80 and SplitFlow 50/80 with TC 110/120 PM Z01 300 Water cooling for HiPace 60 P / 80 / 350 / 450 and for SplitFlow 50 / 80 with push- PM 016 623 -T...
  • Seite 106 Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
  • Seite 107 4 mT Permissible irradiated thermal output max. 1.2 W 1.2 W Shipping and storage temperature -25 – 55 °C -25 – 55 °C Weight 2.2 kg 2.3 kg Tbl. 17: Technical data for HiPace 60 P | 24 V 107/112...
  • Seite 108 DN 63 ISO-K 89.3 M5 - 10 deep (6x) 37.5 DN 16 ISO-KF / 1/4“ Fig. 14: Dimensions HiPace 60 P | DN 63 ISO-K 89.3 DN 63 CF-F M5 - 10 deep (6x) 37.5 DN 16 ISO-KF / G 1/4“...
  • Seite 109 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Seite 110 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Seite 111 111/112...