Vorvakuumseite Anschließen - Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50 Betriebsanleitung

5.5 Vorvakuumseite anschließen
Empfehlung: als Vorpumpe eine geeignete Vakuumpumpe aus dem Pfeiffer Vacuum
Programm einsetzen.
Gesundheitsschäden durch giftige Gase
Prozessgase können gesundheitsschädigend und umweltverschmutzend sein.
 Gasausstoß der Vorpumpe sicher ableiten!
 Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasherstellers beachten.
235 235.1
Abb. 5: Vorpumpe anschließen
235 Vorvakuumanschluss
235a Vorvakuumpumpe
Gestaltung des Vorvakuumanschlusses im Hinblick auf plötzliches Verdrehen der
Pumpe
Bei der Befestigung von Hochvakuumflanschen in ISO-KF oder ISO-K Ausführung kann
es trotz ordnungsgemäßer Installation zu einem Verdrehen im Falle eines plötzlichen
Blockierens des Rotors kommen.
 Direkt an der Pumpe zu installierende Massen gering halten.
 Ggf. flexible Leitungselemente direkt an die Turbopumpe anschließen.
 Bei starren Rohrverbindungen: Federungskörper zur Dämpfung von Vibrationen in die
Verbindungsleitung einbauen.
 Vorvakuumleitung mit Kleinflansch-Bauteilen oder Schlauchverschraubungen an-
schließen. Freien Querschnitt des Vorvakuumflansches nicht einengen!
 Der elektrische Anschluss der Vorpumpe erfolgt über eine Relaisbox.
 Für Anschluss und Betrieb der Vorvakuumpumpe siehe deren Betriebsanleitung.
Steuerung der Vorvakuumpumpe
Steuerung der Vorpumpe über die Antriebselektronik der Turbopumpe ist mit Relaisbox
oder Verbindungskabel aus dem Zubehörprogramm möglich.
 Siehe hierzu die Betriebsanleitung des betreffenden Zubehörs.
WARNUNG
235.3
235.2
235.1 Zentrierring
235.2 Spannring
HINWEIS
Installation
235a
235.3 Vakuumkomponenten
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