Inhaltsverzeichnis - Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50 Betriebsanleitung

Inhaltsverzeichnis

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1 Zu dieser Anleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Gültigkeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1.1 Mitgeltende Dokumente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Konventionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Piktogramme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Anweisung im Text . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Abkürzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.5 Verwendete Symbole . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 Sicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Sicherheitsmaßnahmen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.2 Schutzausrüstung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.4 Nicht bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3 Transport und Lagerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.1 Transport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.2 Lagerung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Produktbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1 Produktidentifikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.1 Pumpentypen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.2 Pumpenmerkmale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.3 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.2 Funktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.1 Kühlung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.2 Rotorlager . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2.3 Antrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.3 Einsatzbereich . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.1 Vorbereitende Arbeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2 Aufstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2.1 Erdbebensicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2.2 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2.3 Dämpfungskörper . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3 Einbaulagen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.4 Hochvakuumseite anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.4.1 Installation von ISO-K Flansch mit ISO-K Flansch . . . . . . . . . . . . 16
5.4.2 Installation von ISO-K Flansch mit ISO-F Flansch . . . . . . . . . . . . 16
5.4.3 Installation von CF- Flanschen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.5 Vorvakuumseite anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.6 Anschlüsse an der Turbopumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6.1 Antriebselektronik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6.2 Erdung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.6.3 Elektrische Versorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.7 Zubehöranschluss. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.7.1 Zwischenabsaugung anschließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.7.2 Luftkühlung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.7.3 Flutventil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.7.4 Heizmanschette . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.7.5 Sperrgasanschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.7.6 Wasserkühlung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6 Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27