Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50 Betriebsanleitung
Turbopumpen
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Andere Handbücher für SPLITFLOW 50:
- Betriebsanleitung (24 Seiten) ,
- Betriebsanleitung (108 Seiten)
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum SPLITFLOW 50
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original SPLITFLOW 50 Turbopumpe...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung ..........4 1.1 Gültigkeit . - Seite 3 Ersatzteile SplitFlow 50........
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Seite 4: Zu Dieser Anleitung
Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien. -
Seite 5: Piktogramme
Zu dieser Anleitung 1.2.2 Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument 1.2.3... -
Seite 6: Sicherheit
Medium oder von der gesamten Anlage ausgehen, auf- merksam zu machen. Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausgestat- tet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detail- liert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben. -
Seite 7: Schutzausrüstung
Sicherheit ● Verbindung zum Schutzleiter (PE) wird empfohlen (Schutzklasse III). ● Während des Betriebs Steckerverbindungen nicht lösen. ● Vor Arbeiten am Hochvakuumflansch Stillstand des Rotors abwarten. ● Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fernhalten. ● Turbopumpe niemals mit Reinigungsmittel füllen oder betreiben. ●... -
Seite 8: Bestimmungsgemäße Verwendung
● die Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt wurden Verschlusssiegel warranty seal Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfernen eines Verschluss- siegels führt zum Verlust der Gewährleistung. Produkt während der Gewährleistungszeit nicht öffnen! Bei prozessbedingt kürzeren Wartungsintervallen Pfeiffer Vacuum Service verständi- gen. -
Seite 9: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung Transport und Lagerung Transport Transportbehälter der Vakuumpumpe wiederverwenden. – Vakuumpumpen möglichst in ihrer Originalverpackung transportieren oder versen- den. Schutzdeckel von Hoch- und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem Anschluss ent- fernen. Original-Schutzdeckel aufbewahren. Turbopumpe immer aufrecht transportieren. Lagerung ... -
Seite 10: Produktbeschreibung
PM P03 900 M.-No.: Ser. -No.: 6.7 kg Weight: Made in Germany Abb. 1: Beispiel für ein Typenschild 4.1.3 Lieferumfang ● SplitFlow 50 mit TC 110 und 24 V DC ± 5 % ● Schutzdeckel für den Hochvakuum- und Vorvakuumflansch ● Betriebsanleitung... -
Seite 11: Funktion
Produktbeschreibung Funktion Die Pumpe SplitFlow 50 bildet mit der Antriebselektronik TC 110 eine Einheit. Zur Span- nungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden (z.B. TPS oder DCU). Abb. 2: Ansicht SplitFlow 50 mit TC 110 Antriebselektronik TC 110 235 Vorvakuumanschluss 403 Zwischenabsaugung 200 Pumpengehäuse... -
Seite 12: Einsatzbereich
Produktbeschreibung Einsatzbereich Die Pumpen SplitFlow 50 sind unter folgenden Umgebungsbedingungen zu installieren und zu betreiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Zul. Schutzart IP 54 Schutzklasse Umgebungstemperatur +5 °C bis +30 °C bei Konvektionskühlung ohne Gasdurchsatz +5 °C bis +35 °C bei Luftkühlung +5 °C bis +40 °C bei Wasserkühlung... -
Seite 13: Installation
● Bei Verwendung von Gehäuseheizung und Wasserkühlung darf die Temperatur am Anschlussflansch der Vakuumkammer 120 °C nicht überschreiten. ● Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum zu- lässig. ● Der Einsatz in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder pe- riodische Kräfte auf die Geräte einwirken, ist nicht zulässig. -
Seite 14: Erdbebensicherheit
Abb. 3: Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen = Sicherheitsverbindung, jeweils kundenseitig realisieren. 5.2.2 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuum- flansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Dadurch wird das Saugvermögen der Pumpe reduziert. Reduziertes Saugvermögen in %... -
Seite 15: Einbaulagen
Installation Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Splitflow Pumpen sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen konzipiert. Rohrleitungen vor der Vakuumpumpe abstützen oder abhängen. Auf die verankerte Pumpe dürfen keine Kräfte aus dem Rohrleitungssystem einwirken. -
Seite 16: Hochvakuumseite Anschließen
Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch dürfen ausschließlich die im Folgenden auf- geführten Bauteile verwendet werden. Die Installationselemente für Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Die Zugfestigkeit des Flanschmaterials muss in allen Betriebszuständen mindestens 170 N/mm betragen. - Seite 17 Installation Sechskantschraube und Gewindebohrung Darauf achten, dass die Dichtflächen nicht beschädigt sind. 1) Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe führen. 2) Sprengring in die Nut am Hochvakuumflansch einsetzen. 3) Turbopumpe mit Überwurfflansch und Zentrierring gemäß der Abblidung am Gegen- flansch befestigen.
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Seite 18: Installation Von Cf- Flanschen
Die Verbindungsarten für die Installation CF- mit CF-Flansch sind "Sechskantschraube und Durchgangsbohrung", "Stiftschraube und Gewindebohrung" sowie "Stiftschraube und Durchgangsbohrung". ● der gültige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm ● Eine Kupfer-Dichtung ● Schutzgitter oder Splitterschutz sind optional Sechskantschraube und Durchgangsbohrung 1) Sofern verwendet: Schutzgitter oder Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe einsetzen. -
Seite 19: Vorvakuumseite Anschließen
Installation Vorvakuumseite anschließen Empfehlung: als Vorpumpe eine geeignete Vakuumpumpe aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. WARNUNG Gesundheitsschäden durch giftige Gase Prozessgase können gesundheitsschädigend und umweltverschmutzend sein. Gasausstoß der Vorpumpe sicher ableiten! Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasherstellers beachten. 235.3 235a 235.2... -
Seite 20: Anschlüsse An Der Turbopumpe
Ausführliche Hinweise über Funktion, Konfiguration und Betrieb mit den Anschlusspanel befinden sich in der spezifischen Betriebsanleitung für die betreffende Antriebselektro- nik. 5.6.2 Erdung Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applika- tive Störeinflüsse abzuleiten. Abb. 6: Erdungsanschluss herstellen 5.6.3 Elektrische Versorgung Für die Spannungsversorgung der Antriebselektronik TC 110 nur Original-Netzteile ver-... -
Seite 21: Zubehöranschluss
(optional) DC out TPS / DC U Abb. 7: Anschluss TC 110 an ein Netzteil mit Pfeiffer Vacuum Verbindungskabel Schalter S1 am Netzteil ausschalten (Stellung "0"). Verbindungskabel mit dem 15-poligen Stecker in den Anschluss "X3" an der Antrieb- selektronik stecken und festschrauben. -
Seite 22: Zwischenabsaugung Anschließen
Installation 5.7.1 Zwischenabsaugung anschließen Abb. 9: Zwischenabsaugung anschließen 403 Verschlussschraube am Anschluss H1 Verschlussschraube 403 aus dem Pumpenunterteil herausschrauben. – Auf Dichtring achten! Zwischenabsaugung betreiberseitig auf den Anschluss H1 (M5) installieren. -
Seite 23: Luftkühlung
Antriebselektronik stecken und festschrauben. Einstellungen und Ansteuerung über die Schnittstellen der Antriebselektronik vorneh- men. 5.7.3 Flutventil Das Pfeiffer Vacuum Flutventil dient dem automatischen Fluten bei Abschaltung oder Stromausfall. Der zulässige Anschlussdruck beträgt max. 1500 hPa absolut. 250a Abb. 11: Flutventil anschließen... -
Seite 24: Heizmanschette
Installation 5.7.4 Heizmanschette Um den Enddruck schneller zu erreichen, können Turbopumpe und Rezipient ausge- heizt werden. Das Verwenden einer Heizmanschette ist nur bei Pumpen mit Hochvaku- umflansch in Edelstahlausführung zulässig. Die Heizdauer ist abhängig vom Verschmut- zungsgrad des Prozesses sowie dem zu erreichenden Enddruck und sollte mindestens 4 Stunden betragen. -
Seite 25: Sperrgasanschluss
● Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50 % des maximalen Gasdurchsatzes ist zur Ge- währleistung der Rotorkühlung Sperrgas zu verwenden. ● Die Durchflussmenge für Sperrgas beträgt 7.5 - 9.5 sccm für die SplitFlow 50. Sperrgasversorgung mit Steuerventil 248a Abb. -
Seite 26: Wasserkühlung
Installation 5.7.6 Wasserkühlung Turbopumpen SplitFlow 50 mit TC 110 können optional mit Wasserkühlung ausgestattet werden. ● Bei erhöhtem Vorvakuumdruck (> 0,1 hPa) und/oder Betrieb mit hohem Gasdurchsatz muss wahlweise Luft- oder Wasserkühlung verwendet werden. ● Bei Umgebungstemperaturen > +35 °C generell Wasserkühlung verwenden. -
Seite 27: Betrieb
Das Pumpen von Gasen mit höheren Molekülmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen. Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten. Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen (> 80) Pfeiffer Vacuum verständigen. Betriebsarten Folgende Betriebsarten sind möglich: ●... -
Seite 28: Betrieb Ohne Bediengerät
Für den Betrieb mit Fernbedienung folgende Dokumente beachten: ● Betriebsanleitung "Antriebselektronik TC 110" 6.3.3 Betrieb mit DCU oder HPU Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät folgende Doku- mente beachten: ● Betriebsanleitung "DCU" ● Betriebsanleitung "HPU"... -
Seite 29: Überwachung Des Betriebszustands
Betrieb Überwachung des Betriebszustands 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Turbopumpe an. Eine differenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit DCU oder HPU möglich. Symbol LED Status Anzeige Bedeutung Grün stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤... -
Seite 30: Ausschalten Und Fluten
Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max. 15 hPa/s für 20 s. – Der Ventilquerschnitt für die Flutrate von 15 hPa/s muss auf die Größe des Rezipi- enten abgestimmt werden. – Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil verwenden. Anschließend mit einem zusätzlichen, beliebig großen Flutventil fluten. -
Seite 31: Wartung / Austausch
Gesundheitsgefährdungen durch gefährliche Substanzen zu verhindern. Betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren. HINWEIS Haftungsausschluss Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Haftung für Personen- oder Sachschäden, die auf- grund unsachgemäß ausgeführter Wartung entstehen. Der Haftungs- und Gewährleis- tungsanspruch erlischt. Wartungsintervalle und -zuständigkeiten ... - Seite 32 Wartung / Austausch Abb. 16: Montage / Demontage Betriebsmittelspeicher Gehäusedeckel O-Ring 320 Gummifuß Betriebsmittelspeicher 305 O-Ring Schlüssel für Gehäusedeckel (PV M40 813) 40a Poroplast-Stab Gummifüße 320 (4x) aus dem Pumpenunterteil herausschrauben. Verschlussdeckel 7 an der Unterseite der Turbopumpe mit Spezialwerkzeug E her- ausschrauben.
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Seite 33: Antriebselektronik Austauschen
Wartung / Austausch Antriebselektronik austauschen HINWEIS Schäden an Pumpe und Antrieb Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Pumpe elektrische Energie. Es besteht die Gefahr eines Masseschlusses beim vorzeitigen Trennen von Pumpe und Antriebselektronik. Antriebselektronik niemals bei bestehender Netzverbindung oder laufendem Rotor von der Pumpe trennen. -
Seite 34: Außerbetriebnahme
Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen. Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen. Ggf. Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen. Ggf. Lagerwechsel durchführen lassen. Dabei die Gesamtlaufzeit beachten. Ggf. Betriebsmittelspeicher austauschen. -
Seite 35: Störungen
Reset durch Netz aus/einschalten Reset über Pin 6 am Anschluss "X3" Differenzierte Fehleranzeige über DCU oder HPU möglich Pfeiffer Vacuum Service verständigen Steht kein Pfeiffer Vacuum Bediengerät zur Verfügung bitte den Pfeiffer Vacuum Service verstän- digen. -
Seite 36: 10 Service
Für eine schnelle und reibungslose Abwicklung sind folgende Schritte notwendig: Service-Anforderung und Erklärung zur Kontaminierung herunterladen. Service-Anforderung ausfüllen und per Fax oder Email an Ihre Pfeiffer Vacuum Service-Adresse senden. Bestätigung der Service-Anforderung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen. -
Seite 37: Ersatzteile Splitflow 50
Ersatzteile SplitFlow 50 11 Ersatzteile SplitFlow 50 Pos. Benennung Größe Bestellnummer Bemerkungen Stück Bestellmenge Antriebselektronik TC 110 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher PM 143 740 -T incl. Poroplast-Stäbe Gummi-Metallpuffer d = 12 mm P 3695 700 ZD Bei Zubehör- oder Ersatzteilbestellungen zusätzlich Modellnummer des Typenschildes... -
Seite 38: 12 Zubehör
PM 016 207 -U schutz, DN 63 ISO-K/-F Schutzgitter für DN 63 CF-F PM 016 333 Splitterschutz für Pfeiffer Vacuum Turbopumpen PM 016 312 Dämpfungskörper für HiPace 60/80, DN 63 CF-F PM 006 801 -X TPS 110, Netzteil für Wand/Normschienenmontage... - Seite 39 TTV 001, Trockenvorlage zum Fluten von Turbopumpen PM Z00 121 PM Z00 121 Luftkühlung für HiPace 60 P, HiPace 80 und SplitFlow 50/80 mit TC 110/ PM Z01 300 PM Z01 300 Luftkühlung für HiPace 60/80, SplitFlow 50/80, 230 V...
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Seite 40: 13 Technische Daten Und Maßbilder
Technische Daten und Maßbilder 13 Technische Daten und Maßbilder 13.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen: Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelastung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● ISO 21360; 2007: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungs- daten von Vakuumpumpen - Allgemeine Beschreibung"... -
Seite 41: 13.2 Technische Daten
Technische Daten und Maßbilder 13.2 Technische Daten Parameter SplitFlow SplitFlow Anschlussflansch (Eingang) DN 63 ISO-K DN 63 CF-F Anschlussflansch (Zwischenabsaugung) Anschlussflansch (Ausgang) G 1/4" G 1/4" Saugvermögen für Ar 53 l/s 53 l/s Saugvermögen für H 21 l/s 21 l/s Saugvermögen für He 27 l/s 27 l/s... -
Seite 42: 13.3 Maße
DN 63 ISO-K 89.3 M5 - 10 deep (6x) 37.5 Zwischenstufe M5 G 1/4“ Intermediate stage M5 Abb. 18: SplitFlow 50, DN 63 ISO-K Zwischenabsaugung M5 Intermediate evacuation M5 DN 63 CF-F 89.3 37.5 M5 - 10 deep (6x) Zwischenabsaugung M5 Intermediate evacuation M5 G1/4“... -
Seite 43: Konformitätserklärung
● Maschinen 2006/42/EG (Anhang II, Nr. 1 A) ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. SplitFlow 50 Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen:... -
Seite 44: Kompetenz In Theorie Und Praxis
VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.