Produktbeschreibung; Funktion; Kühlung; Rotorlager - Pfeiffer Vacuum HIPACE 1800 C Betriebsanleitung

Produktbeschreibung

3 Produktbeschreibung
3.1 Funktion
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung
dient das integrierte Netzteil.
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14
13
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Abb. 2:
1 Hochvakuumanschluss
2 Vorvakuumanschluss, DN 40 ISO-KF
3 Luftkühlung
4 Antriebselektronik TC 1200
5 Schutzdeckel für Vorvakuumflansch
6 Flutschraube
7 Schutzdeckel für Hochvakuumflansch
8 Betriebsmittelpumpe
3.1.1 Kühlung
● Luftkühlung
Die Antriebselektronik regelt die Kühlleistung des eingebauten Lüfters abhängig vom Kühlbedarf.
3.1.2 Rotorlager
Hybridgelagerte Turbopumpe
● Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
● Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Turbopumpen der hybridgelagerten HiPace Serie verwenden für die Rotorlagerung auf der Vorvakuum-
seite Keramikkugellager. Die Betriebsmittelpumpe sorgt für eine definierte Schmierung und eine dauer-
hafte Funktion der Kugellager.
3.1.3 Antrieb
● Antriebselektronik TC 1200
20/66
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Aufbau HiPace 1800 mit Luftkühlung, C- und UC-Version
2 3
9
8
7
9 Netzanschluss Relaisbox
10 Sperrgasanschluss
11 Netzanschluss "AC in"
12 Steuerkabel Luftkühlung - TC
13 Anschlusskabel Luftkühlung
14 Relaisbox Luftkühlung
15 Erdungsanschluss
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5
6