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Turbopumpen mit TC 750
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Turbopumpen
mit Antriebselektronik TC 750-E74
Turbopumps
with electronic drive unit TC 750-E74
TC 750 mit 15-poligem Remote-Anschluss
TC 750 with 15-pole remote connection
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TC 750-E74
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TC 750-E74
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Turbopumpen mit Antriebselektronik TC 750-E74 Turbopumps with electronic drive unit TC 750-E74 Ergänzende Informationen zu Betriebsanleitungen für Turbopumpen mit TC 750 TC 750 mit 15-poligem Remote-Anschluss Supplementary information to operating TC 750 with 15-pole remote connection...
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Seite 2: Fernbedienung Anschließen
(+) remote/local status (-) ~alarm status (+) Anschluss "E74" Der Anschluss "REMOTE" an der TC 750-E74 mit 15-poliger Anschlussbuchse ent- spricht den Anforderungen der Richtlinie SEMI E74-0301 für ein zusätzliches inver- tiertes Alarmsignal bei Turbomolekularpumpen. Input signal Output signal... - Seite 3 Fernbedienung anschließen Bedeutung wenn Bedeutung wenn Signal (+) Pin (-) Pin geschlossen geöffnet acceleration status Pumpe beschleunigt Pumpe beschleunigt nicht normal status Schaltpunkt erreicht Schaltpunkt nicht erreicht deceleration status Pumpe bremst Pumpe bremst nicht alarm status kein Fehler Fehler remote / local status 7 Gerät fernbedient Gerät nicht fernbedient ~alarm status...
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Seite 4: Connecting The Remote Control Unit
(+) remote/local status (-) ~alarm status (+) Connection The connection "REMOTE" on the TC 750-E74 with 15-pole female plug complies "E74" with the requirements for an additional inverted alarm signal on turbomolecular pumps as described in the Standard SEMI E74-0301. - Seite 5 Connecting the remote control unit Signal (+) Pin (-) Pin Meaning if closed Meaning if closed acceleration status Pump accelerates Pump does not accelerate normal status Switch point attained Switch point not attained deceleration status Pump decelerates Pump does not decelerate alarm status No malfunction Malfunction...
- Seite 6 Notizen / Notes:...
- Seite 8 Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...