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11�5�8� Spülphase
Zum Bestimmen der geeigneten Parametereinstellungen für die Spülung und die Belüftung muss eine Beurteilung der Exposition durchgeführt werden� Die Phasen von Spülung und Belüftung
sind normalerweise zum Entfernen des Ethylenoxids (EO) aus der Kammer, zum Verpacken und zum Laden der Materialien erforderlich�
Die EO‑Entfernung aus der Kammer und der Charge hängt von verschiedenen Faktoren ab, darunter: Zusammensetzung des Materials der Charge, Umfang der Charge, Temperatur und Zeit, und
der in der Phase Spülung und Belüftung eingestellten Parameter�
Die vorprogrammierten Zyklusparameter für die Spülungsphase sind die Sollwerte, die der 3M™ Zyklusprogrammierer bei jedem neuen Zyklus annimmt�
Hinweis: Bei der Verwendung von vorprogrammierten Zykluseinstellungen für die Spülung ist eine Begutachtung jedes nutzerdefinierten Zyklus erforderlich, um sicherzustellen, dass die
Verfahren der Einrichtung den nationalen, staatlichen und lokalen Anforderungen für Grenzwerte von kurzzeitiger Exposition (STEL) und langfristiger Exposition (LTEL) genügen�
• Die Anzahl der Spülzyklen ist die Anzahl der für die Spülung durchgeführten Entlüftungen mit Frischluft und vollständigem Vakuum�
• Die Lüftungsrate ist das Maß, in dem zum Druckanstieg gefilterte Luft in die Kammer geführt wird, bis die Einstellung Haltezeit: Top erreicht ist (siehe Abbildung 48)� Vier (4)
Lüftungsraten stehen zur Verfügung: 100 %, 75 %, 50 % und 25 %� Die programmierte Lüftungsrate wird für alle programmierten Spülzyklen angewandt� Die Lüftungsrate wird durch die
prozentuale Zeit, in der das Lüftungsventil aktiviert und Richtung Kammer geöffnet ist, gesteuert�
• Eine Lüftungsrate mit einer Einstellung auf 100 % bedeutet den schnellsten Druckanstieg� Das Lüftungsventil ist zur Kammer hin 100 % der Zeit lang geöffnet, bis die programmierte
Haltezeit: Top erreicht ist� Die Lüftungsrate des vorprogrammierten Zyklus ist 100 %�
• Eine Lüftungsrate mit einer Einstellung auf 25 % ist die niedrigste Rate, mit der das Lüftungsventil zur Kammer hin geöffnet ist, demnach zu 25 % der Zeit bis die programmierte
Haltezeit: Top erreicht wurde�
• Die Haltezeit: Top ist der Zeitraum, in dem das Lüftungsventil offen bleibt, während das Vakuum Luft durch die Kammer leitet� Der Timer Haltezeit: Top wird gestartet, wenn die Haltezeit:
Bottom erreicht ist� Eine Einstellung auf eine Minute sorgt für einen scharfen Übergang zum nächsten programmierten Spülzyklus (siehe Abbildung 48)� Eine längere Einstellung für Haltezeit:
Top sorgt für einen stufenweisen Übergang hin zum Ausgleich des Luftflusses durch die Kammer, einige mBar (kPa) unterhalb des Atmosphärendrucks, bis die Zeitdauer für Haltezeit: Top
abgelaufen ist und der nächste programmierte Spülzyklus gestartet wird (Abbildung 48)�
• Der Vakuumgrad ist der Zieldruck der Kammer für jeden Spülzyklus�
• Haltezeit: Bottom ist der Zeitraum, in dem die Kammer nach dem Erreichen des Vakuumgrads die Parameter konstant hält (Abbildung 48)�
• Die Belüftungszeit bei Verriegelung ist die Belüftungsmenge, die der Zyklus anwendet, bevor der Betreiber oder Vorgesetzte auf die Kammer zugreifen kann�
• Keine Belüftungszeit der Abzugshaube ist die minimale Belüftungsmenge, die der Zyklus anwendet, bevor ein Betreiber oder Vorgesetzter auf die Kammer zugreifen kann, wenn die
optionale Abzugshaube deaktiviert ist oder der erforderliche Luftstrom durch die Abzugshaube nicht erbracht werden kann�
8. Spülung
Parameter
Anzahl der Spülzyklen
Absaugrate
Lüftungsrate
Haltezeit: Oben
Vakuumhöhe
Haltezeit: Unten
Gesperrte Belüftungszeit
Keine Belüftungszeit für Abzugshaube
Minimum
Sollwert
2
5
25
100
25
100
1
4
100
300
0
0
0
90
0
180
Maximum
Einheiten
99
100
%
100
%
99
Min
300
mbar
99
Min
999
Min
999
Min
Abbildung 47�
Spülphase
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