Inhaltsverzeichnis
Werbung
Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System
Ta del opisuje osnovne delovne postopke. Pred uporabo sistema
izvedite vse električne in pnevmatske vezave.
Med morebitnim segrevanjem vakuumske komore, temperatura na
vhodni prirobnici ne sme presegati 80 °C.
Upravljavec mora zagotoviti ustrezno hlajenje (WIN 106): 1 za vodno
hlajenje, 0 za prisilno zračno hlajenje (privzeti način) na serijskem
upravljalniku WIN 106. Za podrobnejše informacije si oglejte dodatek
"Technical Information".
Upravljavec mora poskrbeti za pravilno uporabo skladno s plinom, ki
ga bo naprava črpala (WIN 157): 1 za N
(privzeti način) na serijskem upravljalniku WIN 157. Za podrobnejše
informacije si oglejte dodatek "Technical Information".
SVARILO!
Črpalke nikoli ne vključite, če vhodna prirobnica ni povezana z vakuumsko
komoro ali ni zaprta z zaporno prirobnico. Med fazo segrevanja se turbo
črpalke in njene morebitne dodatne opreme ne dotikajte. Zaradi visoke
temperature obstaja nevarnost opeklin.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
Priročnik za Navodila
in lažje pline, 0 za argon
2
(A)
15
279/406
Werbung
Kapitel
Inhaltsverzeichnis
