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Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system
Ce paragraphe décrit les principales procédures d'utilisation.
Avant d'utiliser le système, effectuez tous les branchements
électriques et pneumatiques.
Pendant le réchauffement de la chambre à vide, la température de la
bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
L'opérateur doit sélectionner le bon mode de refroidissement
(WIN 106): 1 pour le refroidissement à eau, 0 pour le refroidissement
à air pulsé (mode par défaut) en réglant la commande série WIN 106.
Pour plus de détails, consultez l'annexe "Technical Information".
L'opérateur doit également sélectionner le bon mode de
fonctionnement en fonction du gaz à pomper (WIN 157): 1 pour le N
et les gaz plus légers, 0 pour l'argon (mode par défaut), en réglant la
commande série WIN 157. Pour plus de détails, consultez l'annexe
"Technical Information".
Ne faites jamais fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas raccordée
AVERTISSEMENT!
à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée par la bride de fermeture. Ne
touchez pas la pompe et les éventuels accessoires pendant les opérations de
chauffage. La température élevée peut entraîner des lésions aux personnes.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system
Mode d'emploi
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Kapitel
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