Inhaltsverzeichnis
Werbung
10
Ohjekäsikirja
Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö
Älkää koskaan käyttäkö pumppua jos paikalla on syövyttäviä kaasuja tai höyryjä,
HUOMIO!
jotka voivat vahingoittaa pumpun sisällä olevia materiaaleja.
VAROITUS!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, palavien tai radioaktiivisten kaasujen
pumppaamiseen, noudata jokaiselle kaasutyypille kuuluvia menetelmiä. Älä
käytä pumppua jos paikalla on räjähtäviä kaasuja. Pumppu on suunniteltu
typen, argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen. Mikäli argoniin
nähden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan, ottakaa yhteyttä
Agilentin tekniseen huoltoon lisätietoja varten.
Miten Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
käynnistetään
Ennen järjestelmän käynnistämistä tarkistakaa, että vastaliitin I/O on
irrotettu. Jos järjestelmä on liitetty kauko-ohjattavaan I/O -
laitteeseen varmistakaa, että STOP -signaali on päällä (ks. kappale
"J1 – REMOTE I/O" liitteestä "Technical Information").
Järjestelmän käynnistämiseksi suorittakaa seuraavat toimenpiteet:
1
2
3
4
190/406
irrottakaa (jos paikalla) järjestelmän vastaliitin I/O;
Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin käynnistämiseksi
on tarpeen syöttä 48 Vcc virtaa ulkoisen tehonlähteen kautta
(969-6521);
asettakaa tyhjiökammion sisäinen paine 0,1 mbariin;
syöttäkää Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemille START
-signaali yhdellä seuraavista tavoista:
a
liittäkää varustuksiin kuuluva I/O vastaliitin
b
syöttäkää START-signaali kauko-ohjauksesta liittimen I/O
avulla (ks. kappale "J1 – REMOTE I/O" liitteestä "Technical
Information")
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
(A)
Werbung
Kapitel
Inhaltsverzeichnis
