Seite 1 TV 401/301/21 NSF Pump Models 869-8928 Controller model: 969-8979M005 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-900-995-01 (C)
Seite 2: Trademarks
Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Seite 3 TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 3/294...
Seite 4 TV 401/301/21 NSF 4/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione 19 Uso 21 Manutenzione 24 Smaltimento 25 Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 31 ...
Seite 6 Contents Mode d’emploi 41 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 42 Indications générales 43 Stockage 45 Preparation pour l’installation 46 Installation 47 Utilization 49 Entretien 52 Mise au rebut 53 Manual de istrucciones 55 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 ...
Seite 7 Contents Armazenagem 73 Preparação para a instalação 74 Instalação 75 Utilização 77 Manutenção 80 Bedrijfshandleiding 83 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Uitpakken 88 Installatie 89 Gebruik 91 Onderhoud 94 Afvalverwerking 95 Istruktionsbog 97 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 98 ...
Seite 8 Contents Bortskaffelse 109 Bruksanvisning 111 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän information 113 Förvaring 115 Förberedelser för installation 116 Installation 117 Användning 119 Underhåll 122 Bortskaffning 123 Instruksjon Manual 125 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 126 Generell informasjon 127 Lagring 129 Klargjøre til installasjon 130 ...
Seite 9 Contents Varastointi 143 Valmistelut asennusta varten144 Asennus 145 Käyttö 147 Huolto 150 Hävittäminen 151 11 Felhasználói Kézikönyv 153 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154 Általános informáicó 155 Tárolás 157 Előkészítés telepítésre 158 Telepítés 159 Használat 161 Karbantartás 164 Megsemmisítés 165 12 Podrecznik Instrukcji 167 ...
Seite 10 Contents Konserwacja 178 Przetworstwo odpadow 179 13 Návod k Použití 181 Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182 Všeobecné informace 183 Uskladnění 185 Příprava k instalaci 186 Instalace 187 Použití 189 Údržba 192 Likvidace 193 14 Návod na Obsluhu 195 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 196 ...
Seite 11 Contents Splošne informacije 211 Shranjevanje 213 Priprava za montažo 214 Montaža 215 Uporaba 217 Vzdrževanje 220 Odlaganje opadkov 221 16 Instructions for Use 223 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information 225 Storage 227 Preparation for Installation 228 Installation 229 Use 231 ...
Seite 12 Contents Water Cooling Kit Installation 270 Purge Valve Installation 273 Serial Cable Installation 274 TV 401/301/21 NSF Controller Installation 275 Connection of the Fore Vacuum Pump 275 Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction 276 Connection of the Electrical Connector 284 Pump Used with Corrosive Gases 285 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 287 ...
Seite 13: Istruzioni Per L'uso
TV 401/301/21 NSF User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TV 401/301/21 NSF Arresto del TV 401/301/21 NSF 23 Arresto di Emergenza 23 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Seite 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Seite 15: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Seite 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
Seite 17: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C umidità...
Seite 18: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TV 401/301/21 NSF viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 401/301/21 NSF e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Seite 19: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema. Non alimentare la Turbopompa se non è fissata adeguatamente al sistema da vuoto. Figura 2 Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Seite 20 Istruzioni per l’uso Installazione Il TV 401/301/21 NSF può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TV 401/301/21 NSF in posizione stabile collegando la flangia di fissaggio della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse. La seguente tabella mostra le viti da utilizzare per il fissaggio della turbopompa, il loro numero e con quale coppia di serraggio stringerle.
Seite 21: Uso
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.
Seite 22: Accensione Ed Uso Del Tv 401/301/21 Nsf
Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 401/301/21 NSF Per accendere il TV 401/301/21 NSF è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa. La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start”...
Seite 23: Arresto Del Tv 401/301/21 Nsf
Istruzioni per l’uso Arresto del TV 401/301/21 NSF Per arrestare il TV 401/301/21 NSF è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Seite 24: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 401/301/21 NSF non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Seite 25: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Seite 26 Istruzioni per l’uso Smaltimento 26/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 27: Gebrauchsanleitung
TV 401/301/21 NSF User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 29 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 401/301/21 NSF 36 Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF 37 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/294...
Seite 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Seite 29: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Seite 30: In Dieser Gebrauchsanleitung Werden Sicherheitshinweise Folgendermaßen Hervorgehoben
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen WARNUNG! Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
Seite 31: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von -20 °C bis 70 °C Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend) Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu...
Seite 32: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TV 401/301/21 NSF wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 401/301/21 NSF ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Seite 33: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Schutzkappe erst bei Anschluss der Turbopumpe an das System entfernen. VORSICHT! Die Turbopumpe nicht speisen, wenn sie nicht ordnungsgemäß an das Vakuumsystem angeschlossen ist. Abbildung 2 Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Seite 34 Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 401/301/21 NSF kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Die TV 401/301/21 NSF in einer stabilen Position befestigen, wobei der Flansch der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen werden soll. Die Verbindung von Pumpenflansch und Gegenflansch soll einen Widerstand bis zu einem Drehmoment von 2000 Nm um die eigene Achse aufweisen.
Seite 35: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120 °C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist.
Seite 36: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 401/301/21 Nsf
Gebrauchsanleitung Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 401/301/21 NSF Zur Einschaltung von Modell TV 401/301/21 NSF ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe. Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Seite 37: Stoppen Von Modell Tv 401/301/21 Nsf
Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF Zum Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist.
Seite 38: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 401/301/21 NSF erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Seite 39: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Seite 40 Gebrauchsanleitung Entsorgung 40/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 41: Mode D'emploi
TV 401/301/21 NSF User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 43 Stockage Preparation pour l’installation 46 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Arrêt du TV 401/301/21 NSF Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 41/294...
Seite 42: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Seite 43: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Seite 44 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte.
Seite 45: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...
Seite 46: Preparation Pour L'installation
Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le TV 401/301/21 NSF est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Seite 47: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Ne retirer le bouchon de protection qu'au moment du branchement de la ATTENTION! turbopompe au système. Ne pas alimenter la turbopompe tant qu'elle n'est pas correctement fixée au système à vide. Figure 2 Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à...
Seite 48 Mode d’emploi Installation Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 401/301/21 NSF doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le TV 401/301/21 NSF peut être installée dans n'importe quelle position. Assurer le TV 401/301/21 NSF de façon stable en fixant la collerette de la turbopompe à...
Seite 49: Utilization
Mode d’emploi Utilization Utilization Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120 °C.
Seite 50: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 401/301/21 Nsf
Mode d’emploi Utilization Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Pour allumer le TV 401/301/21 NSF il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Seite 51: Arrêt Du Tv 401/301/21 Nsf
Mode d’emploi Utilization Arrêt du TV 401/301/21 NSF Pour arrêter le TV 401/301/21 NSF, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Seite 52: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 401/301/21 NSF n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Seite 53: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Seite 54 Mode d’emploi Mise au rebut 54/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 55: Manual De Istrucciones
TV 401/301/21 NSF User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Indications générales 57 Almacenamiento 59 Preparación para la instalación 60 Instalación Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF 64 Parada del TV 401/301/21 NSF 65 Parada de Emergencia 65 Mantenimiento Eliminación...
Seite 56: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Seite 57: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Seite 58 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al no ¡ATENCIÓN! respetarse, podrían provocar daños al equipo. ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
Seite 59: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Seite 60: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TV 401/301/21 NSF se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Seite 61: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación Retirar el tapón de protección sólo en el momento de conectar la bomba de ¡ATENCIÓN! turbina al sistema. No alimentar la bomba de turbina si ésta no se encuentra adecuadamente fijada al sistema de vacío. Figura 2 No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en...
Seite 62 Manual de istrucciones Instalación El TV 401/301/21 NSF puede instalarse en cualquier posición. Fijar el TV 401/301/21 NSF en una posición estable conectando la brida de fijación de la bomba de turbina a una contrabrida fija con capacidad de resistir a un par de 2000 Nm en torno al propio eje. La tabla siguiente describe el número de tornillos necesarias y con qué...
Seite 63: Uso
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...
Seite 64: Encendido Y Uso Del Tv 401/301/21 Nsf
Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF Para encender el TV 401/301/21 NSF basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.
Seite 65: Parada Del Tv 401/301/21 Nsf
Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF Parada del TV 401/301/21 NSF Para parar el TV 401/301/21 NSF nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Seite 66: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 401/301/21 NSF no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Seite 67: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Seite 68 Manual de istrucciones Eliminación 68/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 69: Manual De Istruções
TV 401/301/21 NSF User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais Armazenagem Preparación para la instalación 74 Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TV 401/301/21 NSF 78 Paragem do TV 401/301/21 NSF 79 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais...
Seite 70: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Seite 71: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destinase a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Seite 72 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais.
Seite 73: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C humidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante) ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o...
Seite 74: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 401/301/21 NSF é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Seite 75: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação Retirar a tampa de proteção somente no momento de ligar a turbobomba ao CUIDADO! sistema. Não ativar a Turbobomba se não está fixada corretamente no sistema de vácuo. Figura 2 Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Seite 76 Manual de Istruções Instalação O TV 401/301/21 NSF pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 401/301/21 NSF em posição estável ligando o flange de retenção da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 2000 Nm ao redor do seu eixo. A tabela a seguir indica o número de parafusos e o torque de aperto necessários.
Seite 77: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 120 °C.
Seite 78: Acendimento E Utilização Do Tv 401/301/21 Nsf
Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 401/301/21 NSF Para ligar o TV 401/301/21 NSF é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O primeiro accionamento da bomba fazse em “Soft Star”...
Seite 79: Paragem Do Tv 401/301/21 Nsf
Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 401/301/21 NSF Para parar o TV 401/301/21 NSF é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional).
Seite 80: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 401/301/21 NSF não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligálo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Seite 81: Eliminação
Manual de Istruções Manutenção Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Seite 82 Manual de Istruções Manutenção 82/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 83: Bedrijfshandleiding
TV 401/301/21 NSF User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301/21 NSF Afzetten van de TV 401/301/21 NSF 93 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 95 Vertaling van de originele instructies 83/294...
Seite 84: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Seite 85: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Seite 86 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
Seite 87: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van -20 °C tot 70 °C relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend) de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-...
Seite 88: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TV 401/301/21 NSF wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 401/301/21 NSF niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Seite 89: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Verwijder de beschermdop pas op het moment dat de turbopomp op het VOORZICHTIG! systeem wordt aangesloten. De Turbopomp niet voeden als hij niet correct op het vacuümsysteem is aangesloten. Figuur 2 De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar...
Seite 90 Bedrijfshandleiding Installatie De TV 401/301/21 NSF moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De TV 401/301/21 NSF kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TV 401/301/21 NSF in een stabiele positie door de bevestigingsflens van de turbopomp aan een vaste steunflens te bevestigen die bestand is tegen een koppel van 2000 Nm rond de eigen as.
Seite 91: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur van de rotor nooit 120 °C overschrijden. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Seite 92: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 401/301/21 Nsf
Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301/21 Om de TV 401/301/21 NSF in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock-en startsignalen en start de pomp. De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start”...
Seite 93: Afzetten Van De Tv 401/301/21 Nsf
Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de TV 401/301/21 NSF Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring).
Seite 94: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 401/301/21 NSF is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding WAARSCHUWING! loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Seite 95: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Seite 96 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 96/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 97: Istruktionsbog
TV 401/301/21 NSF User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301/21 NSF Stop af TV 401/301/21 NSF 107 Nødstop Vedligeholdelse 108 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/294...
Seite 98: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Seite 99: Generel Information
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Seite 100 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader.
Seite 101: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C relativ fugtighed: fra 0 til 95 % (ikke kondenserende).
Seite 102: Forberedelser Før Installation
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TV 401/301/21 NSF leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 401/301/21 NSF ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Seite 103: Installation
Istruktionsbog Installation Installation Beskyttelsesproppen må først fjernes, når turbopumpen sluttes til systemet. FORSIGTIG! Turbopumpen må aldrig aktiveres, hvis den ikke er fastspændt korrekt til vakuumsystemet. Figur 2 Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Seite 104 Istruktionsbog Installation TV 401/301/21 NSF kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 401/301/21 NSF i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 2.000 Nm omkring akselen. Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af skruer samt drejningsmomemt.
Seite 105: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Seite 106: Start Og Anvendelse Af Tv 401/301/21 Nsf
Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301/21 NSF For at starte TV 401/301/21 NSF er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START metoden.
Seite 107: Stop Af Tv 401/301/21 Nsf
Istruktionsbog Anvendelse Stop af TV 401/301/21 NSF For at afbryde TV 401/301/21 NSF er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Seite 108: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 401/301/21 NSF behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Seite 109: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Seite 110 Istruktionsbog Bortskaffelse 110/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 111: Bruksanvisning
TV 401/301/21 NSF User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Att stänga av TV 401/301/21 NSF Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 111/294...
Seite 112: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Seite 113: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Seite 114 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.
Seite 115: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången.
Seite 116: Förberedelser För Installation
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation TV 401/301/21 NSF levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 401/301/21 NSF inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna.
Seite 117: Installation
Bruksanvisning Installation Installation Ta bort skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet. Sätt OBSERVER! aldrig igång turbopumpen om den inte är ordentligt fäst vid vakuumsystemet. Figur 2 Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Seite 118 Bruksanvisning Installation TV 401/301/21 NSF kan installeras i valfri position. Fäst TV 401/301/21 NSF i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 2000 Nm kring sin axel. Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal skruvar och åtdragningsmoment.
Seite 119: Användning
Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Seite 120 Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 401/301/21 NSF För att starta TV 401/301/21 NSF behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av inledningscykeln slås av automatiskt.
Seite 121: Att Stänga Av Tv 401/301/21 Nsf
Bruksanvisning Användning Att stänga av TV 401/301/21 NSF Om du vill stänga av TV 401/301/21 NSF behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på...
Seite 122: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 401/301/21 NSF är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Seite 123: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Seite 124 Bruksanvisning Bortskaffning 124/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 125: Instruksjon Manual
TV 401/301/21 NSF User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 133 Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21 NSF Stoppe TV 401/301/21 NSF 135 Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 125/294...
Seite 126: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Seite 127: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Seite 128 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.
Seite 129: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: Temperatur: fra -20 °C til 70 °C. Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering). Kunden må...
Seite 130: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TV 401/301/21 NSF leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 401/301/21 NSF pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Seite 131: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Fjern beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet. FORSIKTIG! Turbopumpen må aldri aktiveres hvis den ikke er festet korrekt til vakuumsystemet. Figur 2 Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare.
Seite 132 Instruksjon Manual Installasjon Følgende tabell angir det nødvendige antall skruer og det relevante strammemomentet. Tab. 1 Festing til kammeret Ant. Stramme-moment Skruer med M6 gjenger og klasse >= 12,9 10 Nm ADVARSEL! Vakuumkammeret, som inneholder pumpen, skal ha en sikkerhetsmessig egnet tykkelse.
Seite 133: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120°C. Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, ADVARSEL! eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Seite 134 Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START.
Seite 135: Stoppe Tv 401/301/21 Nsf
Instruksjon Manual Bruk Stoppe TV 401/301/21 NSF TV 401/301/21 NSF stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Seite 136: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 401/301/21 NSF er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Seite 137: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Seite 138 Instruksjon Manual Eliminering 138/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 139: Ohjekäsikirja
TV 401/301/21 NSF User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 147 TV 401/301/21 NSFin käynnistys ja käyttö TV 401/301/21 NSFin pysäyttäminen 149 Hätäpysäytys 149 Huolto 150 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 139/294...
Seite 140: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 140/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 141: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Seite 142 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. VAROITUS! Varoitus- merkintöjen tehtävänä on kiinnittää käyttäjän huomio erityisiin toimintatapoihin, joiden virheellinen suorittaminen voi aiheuttaa vakavia henkilövahinkoja. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 142/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 143: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C – 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). Asiakkaan tulee aina käynnistää...
Seite 144: Valmistelut Asennusta Varten
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TV 401/301/21 NSF toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 401/301/21 NSFin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Seite 145: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään järjestelmään. Älkää HUOMIO! kytkekö turbopumppuun sähköä, ellei sitä ole kiinnitetty asianmukaisesti tyhjiöjärjestelmään. Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Seite 146 Ohjekäsikirja Asennus TV 401/301/21 NSF voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Kiinnittäkää TV 401/301/21 NSF vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 2000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Seuraavassa taulukossa ovat kiinnikkeiden vaadittava määrä ja kiristysmomentti. Tab. 1 Kammioon kiinnitys Mää-Rä...
Seite 147: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana.
Seite 148: Tv 401/301/21 Nsfin Käynnistys Ja Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö TV 401/301/21 NSFin käynnistys ja käyttö TV 401/301/21 NSFin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” - menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti käynnistysjakson jälkeen. Siten pumpun seuraavat käynnistykset tapahtuvat ilman “Soft Start”...
Seite 149: Tv 401/301/21 Nsfin Pysäyttäminen
Ohjekäsikirja Käyttö TV 401/301/21 NSFin pysäyttäminen TV 401/301/21 NSFin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
Seite 150: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 401/301/21 NSF ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Seite 151: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Seite 152 Ohjekäsikirja Hävittäminen 152/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 153: Felhasználói Kézikönyv
TV 401/301/21 NSF User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154 Általános informáicó 155 Tárolás Előkészítés telepítésre 158 Telepítés Használat A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása és használata 162 A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása 163 Vészleállítás 163 Karbantartás Megsemmisítés 165 Az eredeti utasítás fordítása 153/294...
Seite 154: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Seite 155: Általános Informáicó
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Seite 156 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. VESZÉLY! A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi sérülésekhez vezethet.
Seite 157: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó...
Seite 158: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TV 401/301/21 NSF-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Seite 159: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el a védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt. Ne táplálja a turbószivattyút, amíg az megfelelően nincs csatlakoztatva a vákuumrendszerhez. Ábra 2 Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó...
Seite 160 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A TV 401/301/21 NSF bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 401/301/21 NSF-et stabil helyzetben, a turbószivattyú rögzítő karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 2000 Nm tengely körüli nyomatéknak. A következő táblázat a turbószivattyú rögzítéséhez használandó csavarokat, a szükséges mennyiséget és a hozzátartozó...
Seite 161: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
Seite 162: A Tv 401/301/21 Nsf Bekapcsolása És Használata
Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása és használata A TV 401/301/21 NSF bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Az első szivattyúindítás „lágy indítás” módban történik. Amikor az indítási ciklus befejeződik, a „lágy indítás”...
Seite 163: A Tv 401/301/21 Nsf Bekapcsolása
Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301/21 NSF bekapcsolása A TV 401/301/21 NSF kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Seite 164: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 401/301/21 NSF nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Seite 165: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Seite 166 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 166/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 167: Podrecznik Instrukcji
TV 401/301/21 NSF User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogolne informacje 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF 176 Zatrzymanie systemu TV 401/301/21 NSF 177 Zatrzymanie Awaryjne 177 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej...
Seite 168: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Seite 169: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Seite 170 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować...
Seite 171: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od -20 °C do 70 °C względna wilgoć...
Seite 172: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TV 401/301/21 NSF jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Seite 173: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie połączenia pompy do systemu. UWAGA! Nie zasilać turbopompy jeżeli nie jest odpowiednio zamocowana do systemu próżniowego. Posta 2 Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Seite 174 Podrecznik Instrukcji Instalacja TV 401/301/21 NSF musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “ Technical Information”) TV 401/301/21 NSF może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TV 401/301/21 NSF w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz mocujący turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 2000 Nm wokół...
Seite 175: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operatywne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C. ZAGROZENIE! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Seite 176: Włączenie I Użytkowanie Tv 401/301/21 Nsf
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF Aby włączyć TV 401/301/21 NSF wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Pierwsze uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start który na zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się automatycznie, i dlatego też...
Seite 177: Zatrzymanie Systemu Tv 401/301/21 Nsf
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu TV 401/301/21 NSF Aby wyłączyć TV 401/301/21 wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).
Seite 178: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja TV 401/301/21 NSF nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Seite 179: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Seite 180 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 180/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 181: Návod K Použití
TV 401/301/21 NSF User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182 Všeobecné informace 183 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 189 Zapnutí a použití vývěvy TV 401/301/21 NSF 190 Vypnutí vývěvy TV 401/301/21 NSF 191 Nouzové zastavení 191 Údržba 192 Likvidace Překlad originálního návodu...
Seite 182: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Seite 183: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Seite 184 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují...
Seite 185: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -20 °C až 70 °C Rozpětí...
Seite 186: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TV 401/301/21 NSF se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Seite 187: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Nezapínejte turbovývěvu, dokud nebude náležitě připojena k podtlakovému systému. Postava 2 Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí...
Seite 188 Návod k Použití Instalace Vývěvu TV 401/301/21 NSF lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 401/301/21 NSF upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 2000 Nm kolem své osy. Následující tabulka uvádí šrouby pro připevnění turbočerpadla, počet těchto šroubů...
Seite 189: Použití
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 120 °C. NEBEZPEČÍ! Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k vakuové...
Seite 190: Zapnutí A Použití Vývěvy Tv 401/301/21 Nsf
Návod k Použití Použití Zapnutí a použití vývěvy TV 401/301/21 NSF Pro uvedení vývěvy TV 401/301/21 NSF do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”. Jakmile bude rozběhový...
Seite 191: Vypnutí Vývěvy Tv 401/301/21 Nsf
Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 401/301/21 NSF Pro vypnutí vývěvy TV 401/301/21 NSF je nutné vypnout síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Seite 192: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 401/301/21 NSF nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Seite 193: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Seite 194 Návod k Použití Likvidace 194/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 195: Návod Na Obsluhu
TV 401/301/21 NSF User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 197 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 200 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301/21 NSF 204 Vypnutie zariadenia TV 401/301/21 NSF 205 Núdzové zastavenie Údržba 206 Likvidácia Preklad originálneho návodu 195/294...
Seite 196: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Seite 197: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Seite 198 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú...
Seite 199: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia poč as prevozu, prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) zákazník musí...
Seite 200: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 401/301/21 NSF sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Seite 201: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Ochranný kryt odstráňte tesne pred pripojením turbovývevy k system. POZOR! Turbovývevy nespúšťajte, kým nie je pripojená na vákuový systém. Postava 2 Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké...
Seite 202 Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie TV 401/301/21 NSF môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite TV 401/301/21 NSF do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 2000 Nm okolo svojej osi. Nasledujúca tabuľka uvádza počet skrutiek potrebný...
Seite 203: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C. NEBEZPEČÍ! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná.
Seite 204: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 401/301/21 Nsf
Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301/21 NSF Ak chcete zapnúť zariadenie TV 401/301/21 NSF, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný štart)“. Po dokončení...
Seite 205: Vypnutie Zariadenia Tv 401/301/21 Nsf
Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 401/301/21 NSF Ak chcete vypnúť zariadenie TV 401/301/21 NSF, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou).Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemne-nou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené...
Seite 206: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 401/301/21 NSF nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Seite 207: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Seite 208 Návod na Obsluhu Likvidácia 208/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 209: Priročnik Za Navodila
TV 401/301/21 NSF User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301/21 NSF 218 Izklop naprave TV 401/301/21 NSF 219 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 209/294...
Seite 210: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Seite 211: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Seite 212 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
Seite 213: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko.
Seite 214: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Naprava TV 401/301/21 NSF je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Seite 215: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. Ne POZOR! dovajajte ničesar turbočrpalki dokler ta ni primerno priključena na vakuumski sistem. Slika 2 Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Seite 216 Priročnik za Navodila Montaža TV 401/301/21 NSF lahko montirate v številne pozicije. TV 401/301/21 NSF namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 2000 Nm okoli svoje osi. Naslednja tabela prikazuje potrebno število vijakov za pritrjevanje turbočrpalke in njihov navor.
Seite 217: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Seite 218: Vklop In Uporaba Naprave Tv 401/301/21 Nsf
Priročnik za Navodila Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301/21 NSF Za vključitev TV 401/301/21 NSF morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. Prvi zagon črpalke je v načinu »mehkega zaganjanja« (»Soft Start«). Ko se začetni cikel zaključi, se način »Soft Start«...
Seite 219: Izklop Naprave Tv 401/301/21 Nsf
Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 401/301/21 NSF Za izklop naprave TV 401/301/21 NSF morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Seite 220: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 401/301/21 NSF ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Seite 221: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Seite 222 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 222/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 223: Instructions For Use
TV 401/301/21 NSF User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information Storage Preparation for installation 228 Installation Switching on and Use of TV 401/301/21 NSF 232 TV 401/301 Switching off Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 223/294...
Seite 224: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Seite 225: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Seite 226 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.
Seite 227: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C relative humidity range: 0 to 95 % (non condensing) the turbomolecular pumps must be always soft-started when...
Seite 228: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 401/301/21 NSF is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Seite 229: Installation
Instructions for Use Installation Installation Do not remove the protective cap before connecting the turbopump to the CAUTION! system. Do not supply the Turbopump until it is adequately connected to the vacuum system. Figure 2 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
Seite 230 Instructions for Use Installation The TV 401/301/21 NSF can be installed in any position. Fix the TV 401/301/21 NSF in a stable position connecting the turbopump fixing flange to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 2000 Nm around its axis. The following table shows the screws to be used to fix the turbopump, the necessary number and the relevant fixing torque.
Seite 231: Use
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.
Seite 232: Switching On And Use Of Tv 401/301/21 Nsf
Instructions for Use Switching on and Use of TV 401/301/21 NSF To switch on the TV 401/301/21 NSF it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. The first pump start up is in “Soft Start”...
Seite 233: Tv 401/301 Switching Off
Instructions for Use TV 401/301/21 NSF Switching off To switch off the TV 401/301/21 NSF it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Seite 234: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 401/301/21 NSF does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Seite 235: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Seite 236 Instructions for Use Disposal 236/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 237: Technical Information
TV 401/301/21 NSF User Manual Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF 239 Pump Description Controller Description Technical Specification TV 401/301/21 NSF Outline 244 Interconnections Input Power Connector 248 P3 - Spare P5 – External Fan Signal Description How to Connect the Open-Collector Inputs of the cController How to Connect the Outputs of the Controller 258 J6 –...
Seite 238 Technical Information Material Needed Insertion Procedure Extraction Procedure Connection of the Electrical Connector 284 Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 238/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 239: Description Of The Tv 401/301/21 Nsf
Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF Description of the TV 401/301/21 NSF The TV 401/301/21 NSF pumping system consists of a pump with a dedicated controller. The TV 401/301/21 NSF pump model is 869-8928 (see the following figure). Figure 3 The controller model is the 120/220 Vac controller 969-8979M005.
Seite 240: Pump Description
Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine with three pumping ports and 3 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Seite 241: Controller Description
Technical Information Description of the TV 401/301/21 NSF PUMP CONNECTOR CABLE CONTROLLER Figure 4 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section.
Seite 242: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Pumping speed (Intrinsic) Main port: Side port: Third port: 310 l/s 400 l/s 18 l/s 300 l/s 380 l/s 18 l/s 210 l/s 300 l/s 18 l/s Total compression ratio versus Main port: Side port: Third port: foreline: N...
Seite 243 Technical Information Technical Specification Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Serial communication RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a (Navigator kit)
Seite 244: Tv 401/301/21 Nsf Outline
Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline TV 401/301/21 NSF Outline The following figure shows the TV 401/301/21 NSF outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 5 TV 401/301/21 NSF outline, with standard controller mounted The following figure shows the 869-8979M005 controller outline (dimensions are in inches [mm]).
Seite 245 Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline Figure 6 TV 401/301 NSF controller outline Figure 7 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Main port) TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 245/294...
Seite 246 Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Side port) Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Main Port) 246/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 247 Technical Information TV 401/301/21 NSF Outline Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Side Port) Figure 11 Graph of nitrogen gas load, mid. port TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 247/294...
Seite 248: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 401/301/21 NSF interconnections. Figure 12 Input Power Connector The following figure shows the input power connector. Figure 13 248/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 249: P3 - Spare
Technical Information Interconnections P3 - Spare Figure 14 This is a dedicated 24 Vdc spare connector; note that it can be also controlled by means of the serial connection. P5 – External Fan Figure 15 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan.
Seite 250 Technical Information Interconnections J5 – In-Out Figure 16 This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 401/301/21 NSF. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
Seite 251: Signal Description
Technical Information Interconnections Signal Description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug &...
Seite 252 Technical Information Interconnections If a continuous signal is applied (pin 5 fixed at +24 V and pin 6 fixed to ground) the pump speed is set to "Low Speed". The Low Speed frequency is settable by window "117" (see para. "RS 232/RS 485 Communication Description").
Seite 253 Technical Information Interconnections Figure 18 It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency threshold: 980 Hz hysteresis: 2 % activation type: low level delay time: 0 second RELAY CONTACT this output signal is the repetition of the "PROGRAMMABLE SET POINT"...
Seite 254 Technical Information Interconnections Figure 19 254/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 255: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Ccontroller
Technical Information Interconnections How to Connect the Open-Collector Inputs of the cController Here below there are examples of typical connections of the input of TV 401/301/21 NSF to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Seite 256 Technical Information Interconnections Figure 21 Case 2 with relay utilisation 256/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 257 Technical Information Interconnections Figure 22 Case 2 with transistor utilization TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 257/294...
Seite 258: How To Connect The Outputs Of The Controller
Technical Information Interconnections How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pin 11.
Seite 259: J6 - Serial
Technical Information Interconnections J6 – Serial Figure 25 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 401/301/21. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) A+ (RS422 Optional) A + (RS485)
Seite 260: Rs 232/Rs 485 Communication Description
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
Seite 261 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02 <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR>...
Seite 262 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> The controller can answers with the following response types: Tab.
Seite 263 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 263/294...
Seite 264 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 264/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 265 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR...
Seite 266: Window-Meanings
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Window-Meanings Tab. 7 Read/Write Datatype Description Admitted Values Start/Stop (in remote mode Start = 1 the window is a read only) Stop = 0 Low Speed Activation NO = 0 YES = 1 (default = 0) Remote (default) or Remote = 1...
Seite 267 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle To reset write ‘1’ number reset Interlock type (default = 1) Impulse = 0...
Seite 268 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle)
Seite 269 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values CRC EPROM (QE) QE8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Parameter structure "XXXX" Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 1) Serial type select 0 = RS 232...
Seite 270: Water Cooling Kit Installation
Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metal-lic model), and 969-9347 (plastic model).
Seite 271 Technical Information Water Cooling Kit Installation The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure. Figure 29 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure.
Seite 272 Technical Information Water Cooling Kit Installation Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Seite 273: Purge Valve Installation
Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump(see “Accessories and Spare Parts” table). To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure.
Seite 274: Serial Cable Installation
Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 401/301/21 NSF or the optional vent valve has to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Seite 275: Tv 401/301/21 Nsf Controller Installation
Technical Information TV 401/301/21 NSF Controller Installation TV 401/301/21 NSF Controller Installation The 969-8979M005 controller can not be mounted on bottom of the pump, like the standard controller, because it is not supplied with the plastic pads for snap mounting. It can be mounted on any flat surface by means of the three threaded holes on the controller casing (see controller outline drawing).
Seite 276: Turbo-V 401/301/21 Insertion And Extraction
Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Material Needed Turbo V401/301/21 pump, PN 869-8928 (in the following: the pump, supplied), with O-rings already mounted in the factory. Quantity 6 screws, M6 × 20.8 mm, black, with spherical tip, resistance class 10.9 or greater (in the following: sphere-screws, supplied).
Seite 277 Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Figure 35 Turbo V 401/301/21 flange insertion/extraction flange. Insertion smooth holes (6, RED CIRCLES @ 60 °), extraction M6 threaded holes (3, BLUE RHOMBS @ 120°). TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 277/294...
Seite 278: Insertion Procedure
Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Insertion Procedure Insert the pump into the chamber carefully and without tilting it. Align the 6 insertion smooth holes of the pump flange with the 6 threaded holes in the chamber flange (Fig. 36), in order to obtain the de-sired foreline orientation.
Seite 279 Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Figure 37 Screw engagement Use the torque wrench, set @ 10 Nm. WARNING! Do not screw in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel. Screw in the 6 sphere-screws clockwise into the notched smooth holes present on the flange, starting anywhere, and proceeding 1/2 turn/lap, until the pump flange is in contact with the...
Seite 280 Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn ½ turn Figure 38 Get the pump flange in contact with the chamber flange and close the sphere-screws @ 10 Nm. 280/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 281: Extraction Procedure
Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Extraction Procedure Use a torque wrench, locked at a torque value > 10 Nm. Unscrew the 6 sphere-screws starting anywhere, proceeding clockwise. WARNING! Do not unscrew in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel.
Seite 282 Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Screw in the 3 M6 screws clockwise, starting anywhere, half turn/lap (Fig. 40). ½ turn ½ turn ½ turn Figure 40 When the pump is free, pull it out of the chamber carefully (Fig. 41).
Seite 283 Technical Information Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction Figure 41 Remove the 3 M6 screws form the pump flange. TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 283/294...
Seite 284: Connection Of The Electrical Connector
Technical Information Connection of the Electrical Connector Connection of the Electrical Connector Figure 42 The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground.
Seite 285: Pump Used With Corrosive Gases
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Seite 286 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Figure 43 Purge layout Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump TV 401/301/21 NSF pump 286/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 287: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Seite 288 Technical Information Accessories and Spare Parts 288/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Seite 294 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Diese Anleitung auch für:

Tv 301 nsf Tv 21 nsf 869-8928 969-8979m005

Agilent Technologies TV 401 NSF Bedienungshandbuch

Inhaltsverzeichnis

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

16 Instructions for Use

17 Technical Information

Quicklinks

Kapitel

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies TV 401 NSF

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies TV 401 NSF