Seite 1 TV 902 Navigator Pump model: 8698933R001 Controller model: SQ 337 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Seite 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2016 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Seite 3 TV 902 Navigator TV 902 Navigator TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B) 3/276...
Seite 4 TV 902 Navigator 4/276 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B)
Seite 5 Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Fissaggio della pompa Uso 22 Manutenzione 25 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 32 Installation 33 Befestigung der Pumpe 34 Gebrauch...
Seite 6 Contents Entsorgung 40 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation 47 Fixation de la pompe 48 Utilisation 50 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 55 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones generales 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60...
Seite 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais 71 Armazenagem 73 Preparação para a instalação 74 Instalação 75 Fixação da bomba Utilização Manutenção Eliminação 82 Bedrijfshandleiding 83 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie Opslag Voorbereiding voor installatie Installatie Bevestiging van de pomp...
Seite 8 Contents Generel information 99 Opbevaring 101 Forberedelse før installation 102 Installation 103 Fastgørelse af pumpe Anvendelse 106 Vedligeholdelse 109 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän information 113 Förvaring Förberedelser för installationen 116 Installation 117 Fastsättning av pump Användning 120 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 125...
Seite 9 Contents Klargjøre til installasjon 130 Installasjon 131 Festing av pumpen 132 Bruk Vedlikehold 137 Eliminering 138 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 143 Valmistelut asennusta varten144 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 153 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154 Általános információ...
Seite 10 Contents A szivattyú rögzítése 160 Használat Karbantartás Megsemmisítés 166 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 168 Ogólne informacje Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja Mocowanie pompy 174 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 180 13 Návod k Použití Bezpečnostní...
Seite 11 Contents Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 195 Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 Splošne informacije 211 Shranjevanje Priprava za montažo 214 Montaža Pritrjevanje črpalke 216 Uporaba...
Seite 12 Contents 16 Instructions for Use 223 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General information 225 Storage Preparation for Installation 228 Installation 229 Pump Fixing 230 Use 232 Maintenance Disposal 17 Technical Information 237 Description of the TV 902 Navigator 238 Technical Specification 242 TV 902 Navigator Outline 244 Interconnections...
Seite 13 TV 902 Navigator User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Fissaggio della pompa 20 Uso 22 Accensione ed Uso del TV 902 Navigator 23 Arresto del TV 902 Navigator Arresto di Emergenza 24 Manutenzione Smaltimento...
Seite 14 Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Seite 15 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Seite 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura. AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
Seite 17 Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Seite 18 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TV 902 Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 902 Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Seite 19 Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Seite 20 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema AVVERTENZA! potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa.
Seite 21 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Il TV 902 Navigator non può essere fissato tramite la sua base. NOTA Il TV 902 Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Seite 22 Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.
Seite 23 Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 902 Navigator Per accendere il TV 902 Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa. Il modo “Soft Start”...
Seite 24 Istruzioni per l’uso Arresto del TV 902 Navigator Per arrestare il TV 902 Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Seite 25 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 902 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Seite 26 Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Seite 27 TV 902 Navigator User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch des TV 902 Navigator 37 Stoppen des TV 902 Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/276...
Seite 28 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Seite 29 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Missachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Seite 30 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen WARNUNG! Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
Seite 31 Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Seite 32 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Der TV 902 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Der TV 902 Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Seite 33 Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Das Gerät darf nur in geschlossenen Umgebungen installiert und nicht in Umgebungen benutzt werden, wo es Witterungsbedingungen (Regen, Frost und Schnee), Staub oder ätzenden Gasen ausgesetzt ist oder die explosionsfähig oder mit einer erhöhten Brandgefahr sind.
Seite 34 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe WARNUNG! und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der Motor vom Pumpengehäuse löst.
Seite 35 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Der TV 902 Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der TV 902 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von VORSICHT! den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muss daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Seite 36 Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist.
Seite 37 Gebrauchsanleitung Gebrauch Einschaltung und Gebrauch des TV 902 Navigator Zur Einschaltung des TV 902 Navigator ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfasst automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe. Der Modus “Soft Start” ist zum Einschalten der Pumpe nach einem längeren Stillstand vorgesehen.
Seite 38 Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen des TV 902 Navigator Zum Stoppen des TV 902 Navigator ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist.
Seite 39 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Der TV 902 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Seite 40 Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Seite 41 TV 902 Navigator User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 43 Stockage Preparation pour l’installation 46 Installation Fixation de la pompe 48 Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 902 Navigator 51 Arrêt du TV 902 Navigator 52 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut...
Seite 42 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Seite 43 Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Seite 44 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le ATTENTION! non respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions.
Seite 45 Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température : de –20 °C à...
Seite 46 Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le TV 902 Navigator est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Seite 47 Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment ATTENTION! de brancher la turbopompe au système. Installer cet appareil uniquement dans un local fermé et ne jamais l'utiliser dans un milieu exposé aux conditions atmosphériques (pluie, gel, neige), à...
Seite 48 Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système pourrait être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du système ou le moteur de l'enveloppe de la pompe.
Seite 49 Mode d’emploi Fixation de la pompe Le TV 902 Navigator ne peut être fixé par sa base. NOTE Le TV 902 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à...
Seite 50 Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
Seite 51 Mode d’emploi Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 902 Navigator Pour allumer le TV 902 Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Seite 52 Mode d’emploi Utilisation Arrêt du TV 902 Navigator Pour arrêter le TV 902 Navigator, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Seite 53 Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 902 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Seite 54 Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Seite 55 TV 902 Navigator User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones generales 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación Fijación de la bomba Uso 64 Encendido y Uso del TV 902 Navigator Parada del TV 902 Navigator 66 Parada de Emergencia 66 Mantenimiento Eliminación...
Seite 56 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Seite 57 Manual de istrucciones Indicaciones generales Indicaciones generales Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Seite 58 Manual de istrucciones Indicaciones generales Este manual utiliza las convenciones siguientes: Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de ¡ATENCIÓN! no cumplirse, podrían provocar daños al aparato. ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
Seite 59 Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Seite 60 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TV 902 Navigator se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Seite 61 Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la ¡ATENCIÓN! bomba al sistema. Este equipo debe ser instalado sólo en ambientes cerrados y en ninguna circunstancia podrá utilizarse en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos ni en ambientes explosivos o sujetos a elevado riesgo de incendio.
Seite 62 Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba.
Seite 63 Manual de istrucciones Fijación de la bomba El TV 902 Navigator no puede fijarse utilizando su base. NOTA El TV 902 Navigator pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Seite 64 Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 ºC. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...
Seite 65 Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 902 Navigator Para encender el TV 902 Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba. El modo “Soft Start”...
Seite 66 Manual de istrucciones Parada del TV 902 Navigator Para parar el TV 902 Navigator con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado ¡ADVERTENCIA! con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Seite 67 Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 902 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Seite 68 Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Seite 69 TV 902 Navigator User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 76 Utilização Acendimento e Utilização do TV 902 Navigator 79 Paragem do TV 902 Navigator Paragem de Emergência Manutenção Eliminação...
Seite 70 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Seite 71 Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Seite 72 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se CUIDADO! não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.
Seite 73 Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Seite 74 Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 902 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Seite 75 Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Instale este equipamento somente em locais fechados e, para todos os efeitos, não utilize o equipamento em ambientes expostos aos efeitos deletérios do tempo (chuva, gelo, neve), em ambientes sujeitos a pó, gases agressivos, ambientes explosivos ou com alto risco de incêndio.
Seite 76 Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba.
Seite 77 Manual de Istruções Fixação da bomba O TV 902 Navigator não pode ser fixado através da sua base. NOTA O TV 902 Navigator pertence à segunda categoria de instalação (ou CUIDADO! sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria.
Seite 78 Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 80 °C.
Seite 79 Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 902 Navigator Para ligar o TV 902 Navigator é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O modo “Soft Star”...
Seite 80 Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 902 Navigator Para parar o TV 902 Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional).
Seite 81 Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 902 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
Seite 82 Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Seite 83 TV 902 Navigator User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Voorbereiding voor installatie Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 902 Navigator 93 Afzetten van de TV 902 Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 96...
Seite 84 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Seite 85 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Seite 86 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: Bij dit symbool staat tekst bij procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. ADVARSEL! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
Seite 87 Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Seite 88 Bedrijfshandleiding Voorbereiding voor installatie Voorbereiding voor installatie De TV 902 Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 902 Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Seite 89 Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt VOORZICHTIG! aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Installeer dit apparaat uitsluitend in gesloten ruimten, en gebruik het in elk geval niet in ruimten die aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof of agressieve gassen zijn blootgesteld, of in ruimten met explosiegevaar of groot risico op brand.
Seite 90 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken.
Seite 91 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De TV 902 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden OPMERKING bevestigd.. De TV 902 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet.
Seite 92 Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Seite 93 Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 902 Navigator Om de TV 902 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp. De wijze “Soft Start”...
Seite 94 Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de TV 902 Navigator Om de TV 902 Navigator af te zetten behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring).
Seite 95 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 902 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Seite 96 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Seite 97 TV 902 Navigator User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelse før installation 102 Installation Fastgørelse af pumpe 104 Anvendelse Start og anvendelse af TV 902 Navigator 107 Stop af TV 902 Navigator Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/276...
Seite 98 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Seite 99 Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ikke autoriserede indgreb på...
Seite 100 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader.
Seite 101 Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C ...
Seite 102 Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation TV 902 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 902 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød eller vibrationer ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud.
Seite 103 Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Dette apparat må kun installeres i lukkede omgivelser og må under ingen omstændigheder benyttes på steder med skiftende vejrforhold (regn, is, sne), støv, aggressive luftarter eller i omgivelser med eksplosionsfare eller øget risiko for brand.
Seite 104 Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Fastgørelse af pumpe ADVARSEL! Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller systemet, hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller dødsfald og/eller materiel beskadigelse af apparaterne i nærheden.
Seite 105 Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe TV 902 Navigator kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK TV 902 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller FORSIGTIG! overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 902 Navigator er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation.
Seite 106 Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Seite 107 Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 902 Navigator For at starte TV 902 Navigator er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede controller genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. "Soft Start" metoden bruges, når man starter pumpen, efter at den har stået stille over en længere periode.
Seite 108 Istruktionsbog Anvendelse Stop af TV 902 Navigator For at afbryde TV 902 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede controller afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Seite 109 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 902 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Seite 110 Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Seite 111 TV 902 Navigator User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän information Förvaring Förberedelser för installationen 116 Installation Fastsättning av pump 118 Användning Start och användning av TV 902 Navigator Avstängning av TV 902 Navigator 122 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 111/276...
Seite 112 Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Seite 113 Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Seite 114 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att undvika skador på maskinen. VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.
Seite 115 Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Seite 116 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen TV 902 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 902 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna.
Seite 117 Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Denna apparat får endast installeras inomhus. Den får inte användas i miljöer som utsätts för atmosfärförändringar (regn, is, snö), damm, frätande gaser eller i områden med hög explosions- eller brandrisk. Följande krav på...
Seite 118 Bruksanvisning Fastsättning av pump Fastsättning av pump VARNING! I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från pumpens hölje. I detta fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen eller systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller skador på...
Seite 119 Bruksanvisning Fastsättning av pump TV 902 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA TV 902 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller OBSERVER! överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 902 Navigator är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så...
Seite 120 Bruksanvisning Användning Användning I denna paragraf beskrivs de huvudsakliga driftsförloppen. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Seite 121 Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 902 Navigator För att starta TV 902 Navigator behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. “Soft Start” är till för att starta pumpen efter att den har stått stilla en längre tid.
Seite 122 Bruksanvisning Användning Avstängning av TV 902 Navigator Om du vill stänga av TV 902 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på...
Seite 123 Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 902 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Seite 124 Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Seite 125 TV 902 Navigator User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 126 Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk 134 Starte og bruke TV 902 Navigator 135 Stoppe TV 902 Navigator Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 125/276...
Seite 126 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Seite 127 Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Seite 128 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, FORSIKTIG! kan føre til at utstyret skades. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.
Seite 129 Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Seite 130 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TV 902 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 902 Navigator pakkes ut, må...
Seite 131 Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Dette apparatet må bare installeres i lukkede lokaler. Det må iallfall ikke installeres i lokaler som er utsatt for vær og vind (regn, frost, snø), støv, aggressive gasser, i eksplosive eller brannfarlige miljøer.
Seite 132 Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom tilkoplingen ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan pumpen løsne fra systemet eller motoren kan løsne fra pumpens hylster. I dette tilfellet kan metallsplinter kastes ut fra pumpen eller fra systemet.
Seite 133 Instruksjon Manual Festing av pumpen TV 902 Navigator må ikke festes gjennom fundamentet. MERK TV 902 Navigator hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) FORSIKTIG! nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en ledning for strømtilførsel som tilfredsstiller kravene for denne klassen. TV 902 Navigator er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og seriekommunikasjonen som må...
Seite 134 Instruksjon Manual Bruk Bruk De viktigsteinstruksjonene for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Før systemet tas i bruk må en utføre alle elektriske og pneumatiske koblinger. Ved en eventuell oppvarmingen av vakuumkammeret, må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 °C. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Seite 135 Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 902 Navigator TV 902 Navigator startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Modusen “Myk Start” er beregnet for oppstarting av pumpen etter at denne har vært uaktiv i en lengre periode.
Seite 136 Instruksjon Manual Bruk Stoppe TV 902 Navigator TV 902 Navigator stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Seite 137 Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 902 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Seite 138 Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Seite 139 TV 902 Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 146 Käyttö 148 TV 902 Navigatorin käynnistys ja käyttö 149 TV 902 Navigatorin pysäyttäminen Hätäpysäytys 150 Huolto 151 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 139/276...
Seite 140 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 140/276 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B)
Seite 141 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Seite 142 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. VAROITUS! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 142/276 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B)
Seite 143 Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). ...
Seite 144 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TV 902 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 902 Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Seite 145 Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään.. Asenna laite ainoastaan suljettuun tilaan. Älä käytä sitä ilmastotekijöille (sade, pakkanen, lumi), pölylle tai syövyttäville kaasuille altistuvissa, räjähdysvaarallisissa tai erittäin palovaarallisissa tiloissa. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen ...
Seite 146 Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä olevien laitteiden vaurioita.
Seite 147 Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys TV 902 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM TV 902 Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen HUOMIO! asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 902 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä...
Seite 148 Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana.
Seite 149 Ohjekäsikirja Käyttö TV 902 Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 902 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. “Soft Start” –tapaa käytetään pumpun käynnistykseen pitkien seisokkiaikojen jälkeen. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa “Soft Start”...
Seite 150 Ohjekäsikirja Käyttö TV 902 Navigatorin pysäyttäminen TV 902 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
Seite 151 Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 902 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Seite 152 Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Seite 153 TV 902 Navigator User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ 155 Tárolás Előkészítés telepítésre 158 Telepítés A szivattyú rögzítése 160 Használat A TV 902 Navigator bekapcsolása és működtetése 163 A TV 902 Navigator kikapcsolása 164 Vészleállítás 164 Karbantartás Megsemmisítés 166 Az eredeti utasítás fordítása...
Seite 154 Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Seite 155 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Általános információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent elhárít magától minden felelősséget minden olyan esemény esetében, amely ezen utasítások részben vagy teljes egészében való...
Seite 156 Felhasználói Kézikönyv Általános információ Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. VESZÉLY! A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi sérülésekhez vezethet.
Seite 157 Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Seite 158 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TV 902 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi képviselethez. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le a TV 902 Navigatort, és kerülje annak bármilyhez való hozzáütését vagy rázkódását.
Seite 159 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú FIGYELEM! rendszerre csatlakoztatása előtt. Csak beltéri környezetbe telepítse az eszközt, és semmilyen esetben se használja káros időjárási jelenségeknek (eső, hó, jég), pornak, agresszív gázoknak kitett, illetve robbanás- vagy tűzveszélyes környezetben.
Seite 160 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyú és a rendszer közötti csatlakozás jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a csatlakozás nem képes ezt a nyomatékot elviselésni, a szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motor leválhat a szivattyúházról.
Seite 161 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A TV 902 Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A TV 902 Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához FIGYELEM! tartozik az EN 61010-1 szabvány szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózatra. A TV 902 Navigatornak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső...
Seite 162 Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. A rendszert, az üzemeltetés megkezdése előtt, minden elektromos és pneumatikus csatlakozásra kösse rá. A vákuumkamra esetleges felmelegedésekor a bemeneti karimánál mért hőmérséklet nem haladhatja meg a 80 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne...
Seite 163 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 902 Navigator bekapcsolása és működtetése A TV 902 Navigator bekapcsolásához elegendő azt rákapcsolni a tápfeszültségre. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. A lágy indítás (Soft Start) üzemmódot arra tervezték, hogy a szivattyút hosszabb működtetésmentes időszak után így indítsák be.
Seite 164 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 902 Navigator kikapcsolása A TV 902 Navigator kikapcsolásához egyszerűen le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Seite 165 Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 902 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely karbantartási munkát arra jogosultsággal rendelkező személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! Mielőtt bármely munkát elvégezne a rendszeren, válassza le azt a tápfeszültségről, levegőztesse át a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Seite 166 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Seite 167 TV 902 Navigator User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 902 Navigator Zatrzymanie TV 902 Navigator Zatrzymanie Alarmowe Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 167/276...
Seite 168 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Seite 169 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego nieprzestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania...
Seite 170 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. ZAGROZENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować...
Seite 171 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy przestrzegać następujących zaleceń: podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie  należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: temperatura: od –20 °C do 70 °C  względna wilgoć...
Seite 172 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Urządzenie TV 902 Navigator jest dostarczane w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku urządzenia TV 902 Navigator ani nie poddawać...
Seite 173 Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Przyrząd ten należy umieszczać w miejscach zamkniętych, i nie stosować go w miejscach wystawionych na działanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyłów, niszczących gazów, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim ryzykiem pożarowym.
Seite 174 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! W przypadku uszkodzenia wirnika, złącze między pompą i systemem może być narażone na bardzo wysoki moment. Jeżeli złącze jest niewystarczające by wytrzymać wspomiany moment, pompa może się odczepić od systemu lub silnik może odczepić się od obudowy pompy. W takim przypadku fragmenty metalu mogą...
Seite 175 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy TV 902 Navigator nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS TV 902 Navigator należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełnia te wymogi. TV 902 Navigator posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i do przekazu szezregowego które muszą...
Seite 176 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operatywne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. ZAGROZENIE! Nie należy nigdy uruchomiać pompy kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty kołnierzem zamykającym.
Seite 177 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 902 Navigator Aby włączyć TV 902 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Sposób “Soft Start” został przewidziany do włączenia pompy po długim okresie jej nie eksploatowania. By uruchomić pompę uaktywnionym sposobem “Soft Start”...
Seite 178 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie TV 902 Navigator Aby zatrzymać TV 902 Navigator wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).
Seite 179 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Urządzenie TV 902 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie poniżej 50 °C.
Seite 180 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Seite 181 TV 902 Navigator User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182 Všeobecné informace 183 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy 188 Použití 190 Zapnutí a používání vývěvy TV 902 Navigator 191 Vypnutí vývěvy TV 902 Navigator 192 Nouzové...
Seite 182 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Seite 183 Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Seite 184 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují...
Seite 185 Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C ...
Seite 186 Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TV 902 Navigator se dodává ve speciálním ochranném balení. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TV 902 Navigator nespadla a chraňte ji před, otřesy nebo vibracemi.
Seite 187 Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Toto zařízení instalujte pouze v místnosti a v žádném případě vývěvu nepoužívejte v prostředí, kde by byla vystavena atmosférickým vlivům (déšť, mráz, sníh), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí...
Seite 188 Návod k Použití Upevnění vývěvy Upevnění vývěvy NEBEZPEČÍ! Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy. V tomto případě...
Seite 189 Návod k Použití Upevnění vývěvy Vývěvu TV 902 Navigator nelze připevňovat využitím její základny. POZNÁMKA Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 902 Navigator do druhé POZOR! elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 902 Navigator je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které...
Seite 190 Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 80 °C. NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená...
Seite 191 Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 902 Navigator Pro uvedení vývěvy TV 902 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje přítomnost signálů blokování a spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. Pozvolný rozběh (Soft Start) se používá pro zapínání vývěvy po delší přestávce.
Seite 192 Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 902 Navigator Vývěva TV 902 Navigator se vypne odpojením síťového napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být regulátor čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Seite 193 Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 902 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Seite 194 Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Seite 195 TV 902 Navigator User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 197 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 200 Inštalácia Upevnenie vývevy 202 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 902 Navigator Vypnutie zariadenia TV 902 Navigator Núdzové zastavenie Údržba 207 Likvidácia Preklad originálneho návodu...
Seite 196 Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Seite 197 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Seite 198 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť POZOR! poškodenie zariadenia. NEBEZPEČÍ! Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú...
Seite 199 Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) ...
Seite 200 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 902 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas dopravy), obráťte sa na miestneho predajcu. Počas vybaľovania dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu či vibráciám.
Seite 201 Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte POZOR! turbovývevu k systému. Zariadenie vždy nainštalujte v miestnosti a v žiadnom prípade ho nepoužívajte v prostredí, v ktorom by bolo vystavené vplyvu počasia (dážď, sneh, mráz), prachu, agresívnym plynom, výbušným alebo veľmi horľavým látkam.
Seite 202 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt motora od plášťa vývevy.
Seite 203 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Zariadenie TV 902 Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne. POZNÁMKA Zariadenie TV 902 Navigator patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie POZOR! podľa normy EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie TV 902 Navigator má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré...
Seite 204 Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 80 °C. NEBEZPEČÍ! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná.
Seite 205 Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 902 Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 902 Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná signály spojenia a spustenia a zapne vývevu. Štartovací režim „Soft Start“ (jemný štart) sa používa pri uvedení vývevy do chodu po dlhom období...
Seite 206 Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 902 Navigator Ak chcete vypnúť zariadenie TV 902 Navigator, musíte odpojiť napájanie. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou).
Seite 207 Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 902 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať kvalifikovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Seite 208 Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Seite 209 TV 902 Navigator User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vključitev in uporaba naprave TV 902 Navigator Izključevanje naprave TV 902 Navigator Not-Aus Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 209/276...
Seite 210 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Seite 211 Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Seite 212 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe POZOR! opreme. SVARILO! Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
Seite 213 Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Seite 214 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 902 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili.
Seite 215 Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Seite 216 Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Pritrjevanje črpalke SVARILO! Če pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo črpalke s sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne more izdržati takšnega navora se lahko črpalka izključi iz sistema ali se ohišje motorja iztrga iz nostilca črpalke.
Seite 217 Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Naprave TV 902 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA Po direktivi EN 61010-1 spada TV 902 Navigator v skupino za drugo POZOR! nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Seite 218 Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 80 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Seite 219 Priročnik za Navodila Uporaba Vključitev in uporaba naprave TV 902 Navigator Za vključitev TV 902 Navigator morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. Način »mehkega zaganjanja« (»Soft Start«) je predviden za zagon črpalke po daljšem obdobju neobratovanja.
Seite 220 Priročnik za Navodila Uporaba Izključevanje naprave TV 902 Navigator Za izključitev TV 902 Navigator morate izključiti napetost. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Seite 221 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 902 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Seite 222 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Seite 223 TV 902 Navigator User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General information Storage Preparation for Installation 228 Installation Pump Fixing Use 232 Switching on and Use of TV 902 Navigator TV 902 Navigator Switching off 234 Emergency Stop Maintenance Disposal...
Seite 224 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Seite 225 Instructions for Use General information General information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Seite 226 Instructions for Use General information This manual uses the following standard protocol: The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.
Seite 227 Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Seite 228 Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 902 Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Seite 229 Instructions for Use Installation Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. Install this device only in indoor ambient and in any case don't use in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
Seite 230 Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be WARNING! subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor housing could detach from the pump envelope.
Seite 231 Instructions for Use Pump Fixing The TV 902 Navigator cannot be fixed by means of its base. NOTE The TV 902 Navigator belongs to the second installation (or overvoltage) CAUTION! category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category.
Seite 232 Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.
Seite 233 Instructions for Use Switching on and Use of TV 902 Navigator To switch on the TV 902 Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. “Soft Start”...
Seite 234 Instructions for Use TV 902 Navigator Switching off To switch off the TV 902 Navigator it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Seite 235 Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 902 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Seite 236 Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Seite 237 TV 902 Navigator User Manual Technical Information Description of the TV 902 Navigator 238 Pump Description 239 Controller Description 241 Technical Specification 242 TV 902 Navigator Outline Interconnections 246 P3 - Vent P4 – External fan 247 J1 – IN-OUT 247 P2 –...
Seite 238 Description of the TV 902 Navigator Description of the TV 902 Navigator The TV 902 Navigator is composed by a pump (8698933R001) with an envelope with fins and a shroud with two fans and a dedicated navigator controller (SQ 337).
Seite 239 Technical Information Description of the TV 902 Navigator Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 7 bladed stages and 2 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Seite 240 Technical Information Description of the TV 902 Navigator A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. If the thermistor reading exceeds 60 °C the pump fails and stops with Error Code = 1 (WIN 206). If the thermistor reading is below 0 °C, the pump fails and stops with Error Code = 0 (WIN 206).
Seite 241 Technical Information Description of the TV 902 Navigator Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section.
Seite 242 Technical Information Technical Specification Technical Specification Pumping speed (with inlet screen) 680 l/s 810 l/s 850 l/s Compression ratio >1 x 10 1 x 10 1 x 10 < 1 x 10 mbar Base pressure with recommended forepump (< 1 x 10 Torr) (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test...
Seite 243 Technical Information Technical Specification Max input power: 600 VA Stand-by power: 30 to 35 W Max operating power: 320 W with forced air Protection fuse 1 x 8 A Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1)
Seite 244 Technical Information TV 902 Navigator Outline TV 902 Navigator Outline The following figure shows the TV 902 Navigator outlines (dimensions are in mm [inches]). 244/276 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B)
Seite 245 Technical Information TV 902 Navigator Outline TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 245/276...
Seite 246 Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 902 interconnections. P3 - Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. 246/276 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B)
Seite 247 Technical Information Interconnections P4 – External fan This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. A shielded cable with ferrite is shipped with the controller (see picture). The faston contact has to be connected on the front panel in order to reduce noise and accomplish the EMC rules.
Seite 248 Technical Information Interconnections This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 902 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
Seite 249 Technical Information Interconnections RELAY CONTACT: This relay output signal is en-abled when the reference quantity chosen (fre-quency, current, time) is higher than the set threshold. The signal can be “normally open” (it will close the circuit when activated) or “normally close”. The factory default setting are: Frequency: 582 Hz (90 % of the max rotational frequency) ...
Seite 250 Technical Information Interconnections PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). Figure 11 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected.
Seite 251 Technical Information Interconnections Figure 12 The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...
Seite 252 Technical Information Interconnections When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND and 24 Vdc OUT (see the following figure). 252/276 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B)
Seite 253 Technical Information Interconnections How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of SQ 337 to an external sys-tem. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open col-lector pin are available.
Seite 254 Technical Information Interconnections Figure 15 Case 2 with relay utilisation 254/276 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (B)
Seite 255 Technical Information Interconnections Figure 16 Case 2 with transistor utilisation TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 255/276...
Seite 256 Technical Information Interconnections How to connect the outputs of the controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9.
Seite 257 Technical Information Interconnections P2 – Serial This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 902 Navigator. PIN N. SIGNAL NAME +5V OUT TX (RS232) RX (RS232) A + (RS422 optional) A + (RS485) B –...
Seite 258 Technical Information Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an External Cable Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an External Cable In the following picture, it has showed the right procedure to connect a cable to the I/O or to the serial port. A shelded cable of 3 m maximum length has to be utilized for both serial and I/O port connection.
Seite 259 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
Seite 260 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02  <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) ...
Seite 261 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description The addressed SLAVE will respond with an AN-SWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned...
Seite 262 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller...
Seite 263 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Window Meanings Read/ Data Description Admitted Write Type Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode the window is a read only) Stop = 0 Remote Remote = 1...
Seite 264 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Data Description Admitted Write Type Values (default = 0) Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Intercooling 0 = NO 1 = YES Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES Baud rate...
Seite 265 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Data Description Admitted Write Type Values Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) Driving frequency in Hz Pump temperature in °C 0 to 60 Pump status...
Seite 266 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Data Description Admitted Write Type Values Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) Automatic means that when the controller stops, the vent valve is NOTE opened with a delay defined by window n.
Seite 267 Technical Information Air Cooling Kit Air Cooling Kit TV 902 with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 5214 NM) is available to improve the TV 902 cooling during heavy operational conditions. Single fan specifications: air flow: 187 m3/h  input voltage: 24 Vdc ...
Seite 268 Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 40 NW is available to connect the TV 902 Navigator pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Seite 269 Technical Information Connection to the Pump Connection to the Pump Also the pump cable is shielded and is equipped with ferrite (see the following picture). Pump cable length must not exceed 1.5 m. The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector.
Seite 270 Technical Information Pump used in Presence of Magnetic Fields If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. Pump used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation.
Seite 276 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Diese Anleitung auch für:

Tv 902 navigator

Agilent Technologies 8698933R001 Bedienungsanleitung

Verfügbare Sprachen

Quicklinks

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies 8698933R001

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies 8698933R001

Diese Anleitung auch für: