Inhaltsverzeichnis
Werbung
Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
I dette avsnittet gjengis hovedfremgangsmåtene for drift. Før
systemet tas i bruk, utføre alle elektriske koblinger og trykkluft.
Under den eventuelle oppvarmingen av vakuumkammeret, må
temperaturen på inngangsflensen ikke være høyere enn 80 °C.
Brukeren må forsikre seg om at kjølemetoden er korrekt (WIN 106): 1
for nedkjøling med vann, 0 for nedkjøling med tvungen luft (default
modus), ved å stille inn serialkommandoen WIN 106. For ytterligere
detaljer se vedlegget "Technical Information".
Brukeren må forsikre seg om at driftsmetoden på grunnlag av typen
gass som skal pumpes, er korrekt (WIN 157): 1 for N
gasser, 0 for Argon (default modus), ved å stille inn
serialkommandoen WIN 157. For ytterligere detaljer se vedlegget
"Technical Information".
ADVARSEL!
Sett aldri pumpen i drift hvis inngangsflensen ikke er tilkoblet
vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke ta på
turbopumpen og dens eventuelle tilbehør under oppvarmingsinngrepene. Den
høye temperaturen kan medføre skader på mennesker.
Unngå støt, svingninger eller bråe forflytningen av pumpen mens den er i drift.
FORSIKTIG!
Kulelagrene kan gå i stykker. For luftmating til pumpen bruk luft eller uvirksom
gass uten støv eller partikler. Inngangstrykket gjennom den egnede døren må
være mindre enn 2 bar (forbi det atmosfæriske trykket). Ved pumping av gasser
som inneholder partikler eller aggressive stoffer som er forurensende for
kulelagrene, er disse pumpene utstyrt med en spesiell dør (eller en spesifikk
ekstra innretning for integrert purge/vent), som det er nødvendig å bruke for å
mate pumpen med en strøm av uvirksom gass (nitrogen, helium eller argon) for å
beskytte pumpens lagre (se vedlegget "Technical Information").
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
(A)
Instruksjon Manual
og lettere
²
171/406
9
Werbung
Kapitel
Inhaltsverzeichnis
