Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Wrg; Fehler-/Diagnoseüberwachung Bei Wrg-Messröhren - Edwards Tic Instrument Controller D397-01 Betriebsanleitung

Hinweis: Wenn das Pirani-Element ausgetauscht wird (siehe WRG-Anleitung D147-01-885), kann die WRG anfangs
möglicherweise keine Drücke unter 1 x 10
manuelle Vakuumkalibrierung erforderlich.
Pumpen Sie auf 1 x 10
der Beschreibung in der Anleitung durchführen.
WRG-Messröhren verfügen über eine eingebaute Fehlerüberwachungsfunktion. (Siehe
Tabelle 24 - Fehler-/Diagnoseüberwachung bei WRG-Messröhren
Diagnosemeldungen
Over Range
Not Struck
Striker Fail
Mag Fail
Filament Fail
Under Range
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Abbildung 22 - Der Bildschirm „Gauge Setup" für WRG
-3
-5 -6
mbar (7,5 x 10 Torr) oder darunter ab, bevor Sie die Kalibrierung („CAL") nach
Beschreibung
(Messröhren-Ausgang >10,600 V)
Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass sie ersetzt werden sollte.
(Messröhren-Ausgang = 1,300 V)
Zeigt an, dass der Penning-Teil der Messröhre nicht gestartet ist.
Die Messröhre sollte auf Spuren von Verunreinigungen oder Ablagerungen untersucht
werden. Wenn Anode und Kathode nicht glänzen, sollte die Messröhre nach der
Beschreibung in der WRG-Anleitung gereinigt werden.
(Messröhren-Ausgang = 1,200 V)
Zeigt an, dass der Starter-Heizfaden gebrochen ist.
Die Elektrodenbaugruppe (D147-01-802) sollte ausgetauscht werden, wie in der
WRG-Anleitung beschrieben.
(Messröhren-Ausgang = 1,100 V)
Zeigt an, dass im Penning-Teil der WRG-Messröhre ein Kurzschluss aufgetreten ist. Die
Ursache hierfür könnte Verunreinigung oder ein Fremdkörper sein. Die WRG-Messröhre
sollte nach der Beschreibung in der Anleitung gereinigt werden.
Wenn der Fehler dadurch nicht behoben werden kann, sollte die WRG gewartet und
die Elektrodenbaugruppe (D147-01-802) nach der Beschreibung in der Anleitung
ausgetauscht werden.
(Messröhren-Ausgang = 1,000 V)
Zeigt an, dass das Pirani-Element der Messröhre ausgefallen ist. Der wahrscheinlichste
Fehler ist ein gebrochener Heizfaden. Die WRG-Messröhre sollte nach der
Beschreibung in der Anleitung gewartet werden.
(Messröhren-Ausgang <0,950 V)
Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass das Elektronikmodul
ersetzt werden sollte.
-4
mbar (7,5 x 10 Torr) anzeigen. In diesem Fall ist eine
D397-01-882 Issue E
Tabelle 24).
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