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Verwandte Anleitungen für Edwards D39701000
Inhaltszusammenfassung für Edwards D39701000
- Seite 1 D39701882 Issue F Betriebsanleitung TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren Beschreibung Bestellnummer TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren D39701000 TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren, Kapazitätsmanometer D39702000 Übersetzung der ursprünglichen Betriebsanleitung...
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Seite 2: Ce-Konformitätserklärung
CE-Konformitätserklärung Edwards Ltd Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW Großbritannien Das folgende Produkt TIC Instrument Controller D39700000 TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren D39701000 TIC Turbo Controller mit 6 Röhren, Kapazitätsmanometer D39702000 TIC Turbo Controller 100 W D39711000... -
Seite 3: Zusätzliche Angaben Zu Rechtsvorschriften Und Konformität
Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität EU-Richtlinie (EMV): Klasse B Industriegeräte Vorsicht: Diese Betriebsmittel sind nicht für die Verwendung in Wohnumgebungen vorgesehen und bieten in solchen Umgebungen möglicherweise keinen ausreichenden Schutz für Funkempfang. EU RoHS-Richtlinie: Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmen gemäß Anhang III oder IV Anhang III: •... - Seite 4 Werkstoffinhaltserklärung China Gefährliche Stoffe Teilebezeichnung Hexavalentes Polybromierte Polybromierter Blei Quecksilber Cadmium Chrom Biphenyle Diphenylether (Pb) (Hg) (Cd) (Cr VI) (PBB) (PBDE) Kabel/Draht/Anschluss Leiterplattenbaugruppe (PCA) Mechanische Komponenten O: Zeigt an, dass der gefährliche Stoff, der in allen für dieses Teil verwendeten homogenen Werkstoffen enthalten ist, unter dem in GB/T 26572 vorgeschriebenen Grenzwert liegt.
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Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Alarme ........................34 4.10 Das Hauptmenü ......................34 4.11 Verknüpfen von Messgeräten ..................35 4.12 Parameters/Units (Parameter/Einheiten) ................36 4.13 Screen options (Anzeigeoptionen) ................... 36 4.13.1 Organisieren der Messröhren auf der Displayanzeige .............36 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite i... - Seite 6 Der Bildschirm „Gauge Setup“ für WRG ................30 Setup-Bildschirm des IGC ....................32 Setup-Bildschirm des Kapazitätsmanometers ..............34 „CONTROLLED ITEM“ – das gesteuerte Element ..............35 „CONTROL SETUP“ – Einstellen der Steuerung ..............35 Einrichtung der Messgerätereihenfolge ................37 Seite ii © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten.
- Seite 7 Setup-Optionen des Kapazitätsmanometers ................ 33 Fehlersuche ......................39 Werkseitige Standardeinstellungen .................. 40 Zubehör ........................44 Warenzeichen Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii...
- Seite 8 D39701882 Issue F Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite iv © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 9: Einführung
Diese Anleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung des TIC Instrument Controllers mit 6 Messröhren von Edwards. Der Controller darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden. Lesen Sie sich dieses Handbuch durch, bevor Sie den Controller installieren oder in Betrieb nehmen. -
Seite 10: Geräte, Die Mit Dem Tic Instrument Controller Mit 6 Messröhren Kompatibel Sind
TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren, Maximal 6 Aktiv-Messröhren, darunter: APG, APGX, ATC, Kapazitätsmanometer ASG, AIM, WRG, AIGX, IGC und die Kapazitätsmanometer 600, 622, 655, 658, 7025m, 7025, 7045 und 7100 Seite 2 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 11: Technische Daten
<0,8 V Gleichstrom (2 mA max.) inaktiv geöffnet (intern angehoben auf 24 V) Steuereingang µ niedrig <2,0 V Gleichstrom (I <160 hoch >3,5 V Gleichstrom (intern angehoben auf 24 V) © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3... -
Seite 12: Logik-Schnittstelle
3,5 V bis 24 V Gleichstrom (intern angehoben auf 24 V) Analogausgang 0 bis 10 V (5 mA max.) 50 mV Auflösung Abbildung 2 - Pinbelegung für eine 25-polige Sub-D-Buchse Seite 4 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 13: Pinbelegung Am Anschluss Der Logik-Schnittstelle
Gauge 2 enable input (Eingang Messgerät 2 aktivieren) Gauge 3 enable input (Eingang Messgerät 3 aktivieren) Do not connect (Nicht anschließen) Do not connect (Nicht anschließen) Do not connect (Nicht anschließen) System interlock input (SYSI) (Eingang Systemverriegelung) © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5... -
Seite 14: Serielle Datenübertragung
Tabelle 4 - Pinbelegung am Anschluss für die serielle Datenübertragung Zuordnung RS232 transmit (RS232-Übertragung) RS232 receive (RS232 Empfang) RS232 common (RS232 gemeinsam) RS485 data A (RS485 Daten A) RS485 data B (RS485 Daten B) Seite 6 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 15: Analogausgänge
Gauge 2 signal (Messröhre 2 Signal) Gauge 5 signal (Messröhre 5 Signal) Gauge 3 signal (Messröhre 3 Signal) Gauge 6 signal (Messröhre 6 Signal) Common (0 V) (Gemeinsam) Common (0 V) (Gemeinsam) © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7... - Seite 16 D39701882 Issue F Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 8 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 17: Installation
Entfernen Sie sämtliches Verpackungsmaterial und überprüfen Sie den Controller. Wenn der Controller beschädigt ist, gehen Sie nach dem am Schluss dieser Anleitung beschriebenen Verfahren zur Rücksendung von Geräten an Edwards vor. Nehmen Sie den Controller nicht in Gebrauch, wenn er beschädigt ist. Prüfen Sie, ob in der Verpackung sämtliche in Tabelle 6 aufgeführten Artikel enthalten sind. -
Seite 18: Controller Als Tischgerät - Abmessungen (Mm)
Dieses Gerät entspricht der Schutzart IP20. Sorgen Sie dafür, dass es nicht an Orten aufgestellt wird, wo Flüssigkeiten in den Controller eindringen können. VORSICHT Die Einheit muss an der Rückseite gehalten werden. Seite 10 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 19: Abbauen Der Frontplatte
Befestigen Sie den Controller in der korrekten Position mit den vier zuvor entfernten Schrauben (Abbildung 7, Ziffer 1). Abbildung 7 - Rack-Montage eines Controllers 1. Befestigungsschraube mit Scheibe 2. Führungsschienen für 19"-Rack © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11... -
Seite 20: Elektrische Anschlüsse Des Controllers
Messröhrenkanäle 4-6 unterstützt. Abbildung 9 - Anschlüsse auf der Geräterückseite 1. Messröhren-Eingänge (1-3) 2. Logik-Schnittstelle 3. Serielle Kommunikations- schnittstelle 4. Erdungsschraube 5. Netzeingang 6. Netz ein/aus 7. Messröhren-Eingänge (4-6) 8. Analogausgänge Seite 12 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 21: Anschließen Der Stromversorgung
über die Messröhrenanschlüsse 4-6 unterstützt. Mit den Messgerät-Anschlüssen können bis zu sechs kompatible Aktiv-Messröhren verbunden werden. Schließen Sie die Messröhren mit Hilfe der Kabel für Aktiv-Messröhren von Edwards jeweils an eine der sechs Buchsen auf der Rückseite des Controllers an. -
Seite 22: Anschluss Der Logik-Schnittstelle, Zubehör Von Edwards
VORSICHT Zum Anschluss eines Kapazitätsmanometers an ein TIC ist ein besonderes Kabel mit einem Identifikationswiderstand erforderlich. Dies sind die Edwards-Teilenummern D40003030 für Modell 622 und D40003050 für alle anderen Modelle. Wenn das Kabel nicht verwendet werden, wird die Messröhre beschädigt. -
Seite 23: Verwenden Der Statusausgänge
Verwenden Sie abgeschirmte Kabel für die Verbindungen, um Interferenzprobleme zu reduzieren, und begrenzen Sie die Länge der RS232-Kabel auf weniger als 10 Meter. Bei längeren Verbindungsleitungen installieren Sie entweder Leitungstreiber, oder verwenden Sie RS485. Abbildung 10 - IBM-PC, RS232-Schnittstelle - 9-polig © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15... -
Seite 24: Anschließen Der Rs485-Schnittstelle
Länge der RS485-Kabel auf weniger als 1000 Meter. Bei langen Verbindungen sind eventuell zusätzliche 120 -Abschlusswiderstände an jedem Ende der Verbindung erforderlich, um die Zuverlässigkeit der Datenübertragung zu verbessern. Abbildung 12 - RS485 TIC-Netzwerk Seite 16 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 25: Betrieb
Umschalten zwischen der Standard-Displayanzeige und dem Hauptmenü. Verlassen des aktuellen Untermenüs oder des Setup- Bildschirms. Abbrechen der Bearbeitung eines ausgewählten Listenelements. Bewegen zur vorhergehenden Dezimalstelle eines numerischen Wertes. CYCLE (Schalten) Ein- oder Ausschalten eines markierten Messgerätes. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17... -
Seite 26: Menüstruktur
Schnellzugriffsmöglichkeiten auf die Displayanzeige und die Menüstruktur des TIC. Sie enthalten auch Hinweise dazu, welche Schaltfelder Sie innerhalb der Menüs wohin führen. Abbildung 14 - Schnellzugriff auf die Displayanzeige Seite 18 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 27: Menü-Navigation
Menü-Navigation und für Konfigurationsaufgaben. Ein fünftes Schaltfeld dient zum Ein- und Ausschalten (ON/ OFF) der Messgeräte. Für die meisten Konfigurationsaufgaben gibt es nicht mehr als drei Menüebenen. Die Funktionen der Tasten des Bedienfeldes auf der Frontplatte werden in Tabelle 10 beschrieben. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19... -
Seite 28: Die Displayanzeige
Wenn „System Interlock“ (SYSI) aktiv ist, werden Niederdruck-Messgeräte nicht eingeschaltet, wenn Sie „Cycle“ ( ) drücken. Wenn SYSI dagegen während des Vakuumzyklus geöffnet wird, werden alle angeschlossenen steuerbaren Komponenten ausgeschaltet („OFF“). Seite 20 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 29: Ändern Von Listenelementen
Die Eingabe ist nun abgeschlossen. Drücken Sie die Taste ( ), um zum nächsten Punkt in der Liste zu gelangen oder die Taste „Menu“ ( ), um zu den anderen Menüs zurückzukehren. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21... -
Seite 30: Einstellen Der Messgeräte
Alle Messgeräte haben die folgenden Standard-Elemente auf ihren jeweiligen Setup-Bildschirmen. (Im Beispiel unten ist als Messgerät eine APGM-Messröhre angeschlossen). Abbildung 18 - Setup-Bildschirm des Messgeräts Hinweis: Aktiv-Dehnungsmessröhren (ASG für „Active Strain Gauges“) sind gasunabhängig. Unabhängig vom gewählten Gastyp erhält man denselben Druckwert. Seite 22 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 31: Statusmeldungen Der Messgeräte
Zeigt an, dass entweder ein Kalibrierungsfehler vorliegt oder die Messröhre defekt ist. Eichen Sie die Messröhre, wie in ihrer Anleitung beschrieben. Wenn der Fehler weiter besteht, tauschen Sie die Messröhre aus. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23... -
Seite 32: Lineare Aktiv-Pirani-Messröhre (Apgx)
Ausführung der Anweisung zu bestätigen. Drücken Sie die Taste „Menu“( ), um zum Anzeigebildschirm zurückzukehren. Abbildung 19 - Der Bildschirm „Gauge Setup“ für APGX-M APGX-Messröhren verfügen über eine eingebaute Fehlerüberwachungsfunktion. (Siehe Tabelle 15). Seite 24 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 33: Steuerung Einer Aktiv-Thermocouple-Messröhre (Atc-E)
Messröhren der Baureihe ATC-M zeigen keine Drücke über 4,2 mbar an. Es gibt keine zusätzlichen Setup-Optionen für ATC-E. (Siehe „Optionen des Standard-Setups (alle Messgeräte)“ Abschnitt 4.8.1). Fehler- und Diagnoseinformationen für das Elektronikmodul ATC-E sind Tabelle 17 zu entnehmen. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25... -
Seite 34: Steuerung Einer Aktiv-Dehnungsmessröhre (Asg)
Zur Auswahl stehen: Float (Mantisse und Exponent). Fixed (Zahl auf 1 Dezimalstelle genau). Abbildung 20 - Der Bildschirm „Gauge Setup“ für ASG Fehler- und Diagnoseinformationen für ASG-Messröhren sind Tabelle 19 zu entnehmen. Seite 26 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 35: Steuerung Einer Aktiv-Penning-Messröhre (Aim)
Messröhre. Die Messröhre sollte auf Spuren von Verunreinigungen oder Ablagerungen untersucht werden. Wenn die Anode und die Kathode nicht glänzen, sollte die Messröhre gereinigt oder die Elektroden sollten ausgetauscht werden (D14545802 oder D14661802), wie in der AIM-Betriebsanleitung beschrieben. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27... -
Seite 36: Steuerung Einer Aktiv-Ionisationsmessröhre (Aigx-S)
Entgasen für den verbliebenen Teil des Zyklus wieder aufgenommen wird. Hinweis: Es gibt keine Vorrichtung, die ein manuelles Abschalten des Entgasens in der Mitte des Zyklus ermöglichen würde. Abbildung 21 - Der Bildschirm „Gauge Setup“ für AIGX Seite 28 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 37: Wide-Range-Messröhre (Wrg)
„Command Sent“ erscheint 1 Sekunde lang, um die Ausführung der Anweisung zu bestätigen. Die WRG führt jedes Mal, wenn sie unter 1 x 10 mbar (7,5 x 10 Torr) gepumpt wird, automatisch die Vakuumeinstellung für die Pirani-Messröhre durch. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29... -
Seite 38: Der Bildschirm „Gauge Setup" Für Wrg
Fehler ist ein gebrochener Heizfaden. Die WRG-Messröhre sollte nach der Beschreibung in der Betriebsanleitung gewartet werden. Under Range (Messröhren-Ausgang <0,950 V) Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass das Elektronikmodul ersetzt werden sollte. Seite 30 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 39: Ion Gauge Controller (Igc) - Messröhrentyp Wird Als „Ioneb" Angezeigt
Gehen Sie mit „Scroll“ zu „Emission“ und drücken Sie anschließend „Select“. Um eine Option zu ändern, blättern Sie zur gewünschten Option und drücken Sie anschließend „Select“, um die ausgewählte Option zu ändern. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31... -
Seite 40: Setup-Bildschirm Des Igc
22 Sekunden dauern. Die Meldung "Initialising" bedeutet, dass dieser Startup-Timer läuft. Wenn die Emission nicht vor Ablauf der 22 Sekunden aufgebaut ist, wird eine Fehlermeldung ausgegeben. N.B. Siehe auch den Abschnitt "Restrike". Seite 32 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 41: Kapazitätsmanometer (Nur D39702000)
Kapazitätsmanometermessröhren sind gasunabhängig und in einer Vielzahl von Versionen verfügbar. Die Messröhren der Serie 6** sind einzigartig unter den Edwards-Vakuum-Messröhren, da sie nur eine ±15-V- statt einer +24-V- Stromversorgung benötigen. Die 7000er-Serie an Kapazitätsmanometern läuft bei ±15 V oder +24 V. Die Stromversorgung erfolgt über D39702000 TIC-Einheiten. -
Seite 42: Alarme
4.10 Das Hauptmenü Das Hauptmenü kann durch Drücken der Taste „Menu“ ( ) auf der Displayanzeige aufgerufen werden (siehe Abbildung 13). Von hier aus kann auf die folgenden Untermenüs zugegriffen werden. Seite 34 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 43: Verknüpfen Von Messgeräten
) zurückgehen, um das Vorzeichen zu ändern. Siehe Abschnitt 4.7.1. 4. Aktivieren Sie den Schaltpunkt. Nach dem Konfigurieren sollte der Schaltpunkt aktiviert werden, indem die untere „Setpoint“-Zeile von „OFF“ auf „ENABLED“ geändert wird. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35... -
Seite 44: Parameters/Units (Parameter/Einheiten)
Position 5 auf dem Bildschirm angezeigt wird. Es wurde „No Gauge“ („Kein Messgerät“) gewählt. Position 6: Eine Messröhre ist nicht im „Gauge 6“-Anschluss eingesteckt, der Anwender möchte nicht, dass Position 6 auf dem Bildschirm angezeigt wird. Es wurde „No Gauge“ („Kein Messgerät“) gewählt. Seite 36 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 45: Ausgänge Für Schaltpunkte Der Relais
Messgeräten und Pumpen, Relais-Schaltpunkte, Einheiten, Gastypen für Messröhren usw.). 4.16 Fehler in der Stromversorgung Wenn die Stromversorgung zum Controller ausfällt, unterbrechen alle angeschlossenen Messgeräte und die Logik- Schnittstelle ihren Betrieb so lange, bis die Stromversorgung wieder hergestellt ist. © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37... - Seite 46 D39701882 Issue F Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 38 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 47: Wartung
Der Controller besitzt keine Teile, die Sie selbst warten können. Öffnen Sie das Gerät nicht. Schicken Sie es für alle erforderlichen Reparaturen an das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum. Formulare für die Rücksendung von Geräten an Edwards finden Sie am Schluss dieser Anleitung. Fehlersuche... -
Seite 48: Reinigen Des Controllers
Wenn nötig, reinigen Sie die Außenflächen des Controllers mit einem weichen, trockenen Tuch. Verwenden Sie zum Reinigen keine harten Schleifmittel oder Flüssigkeiten. Wenn das Innere des Controllers gereinigt werden muss, empfiehlt Edwards, den Controller dazu an den Lieferanten oder das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum zu schicken. -
Seite 49: Lagerung Und Entsorgung
Altgeräte. Edwards bietet seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für den Controller und die Kabel am Ende seiner/ihrer Lebensdauer an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, was Sie bei der Rücksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten Controller und Kabel beachten müssen. - Seite 50 D39701882 Issue F Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 42 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 51: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Vertriebsnetz erhältlich. Die meisten dieser Firmen beschäftigen Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen absolviert haben. Edwards empfiehlt, für die Wartung dieses Produkts die Wartungs- und Service-Kits von Edwards zu verwenden. Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei der nächstgelegenen Edwards-Vertretung oder -Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an:... -
Seite 52: Zubehör
2 m Kabel für RS232-Schnittstelle D39700834 Netzkabel (geeignet für TIC Controller) 2 m mit Stecker (britische Norm) D40013025 2 m mit Stecker (US-Norm) D40013120 2 m mit Stecker (nordeuropäische Norm) D40013120 Seite 44 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. - Seite 53 D39701882 Issue F Tabelle 30 - Zubehör (Fortsetzung) Produktbeschreibung Bestellinformationen Sonstiges Zubehör und Unterstützungsprodukte TIC-Aktualisierungen, Software und Bedienungsanleitungen www.upgrades.edwardsvacuum.com © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45...
- Seite 54 D39701882 Issue F Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 46 © Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 55: Rücksendung Von Ausrüstung Oder Komponenten An Den Kundendienst
Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der... - Seite 56 edwardsvacuum.com...