Gassystem; Elektrische Anschlüsse; Abbildung 16 Gas System - Edwards Eds 200 Betriebsanleitung

7.6.1 Gassystem

Abbildung 16 Gas system

A. EDS 480 A. EDS 480
1. Spülgasdruckregler 1. Spülgasdruckregler
3. Spülgas EIN 3. Spülgas EIN
5. Gasballastdurchflussregelventil 5. Gasballastdurchflussregelventil
7.7 Elektrische Anschlüsse
GEFAHR: STROMSCHLAG
Stromschlag durch direkte oder indirekte Berührung spannungsführender Teile.
Stromschlag durch fehlerhaften elektrischen Anschluss und mögliche Restspannung
bis zu 5 Minuten nach Trennung vom Netz. Der elektrische Anschluss darf nur von
einer ausgebildeten Person ausgeführt werden. Beachten Sie die nationalen
Vorschriften im Anwenderland wie zum Beispiel für Europa EN 50110 - 1. Vor
Servicearbeiten die Vakuumpumpe spannungsfrei schalten.
Stromschlag durch Unterbrechung des Schutzleitersystems. Im Fehlerfall können
lebensgefährliche Spannungen auf elektrisch leitenden Bauteilen liegen. Vor
Inbetriebnahme den Widerstand der Erdungsleitung und die Eignung der
zugeordneten Überstromschutzvorrichtung prüfen.
A41802882_E
300767970_001_C5
A41802882_E - Installation
B. EDS 200/300 B. EDS 200/300
2. Spülgasdruckmessgerät 2. Spülgasdruckmessgerät
4. Durchflussregelventil für 4. Durchflussregelventil für
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Hochvakuumspülung Hochvakuumspülung
03/2022 - ©Edwards Limited