Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
Mini-TASK AG81
Model 969-9180
Model 969-9181
Model 969-9182
87-901-003-01(A)
APRIL 2008
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies Mini-TASK AG81 969-9180
Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies Mini-TASK AG81 969-9180
- Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Mini-TASK AG81 (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING...
- Seite 2 Mini-TASK AG81...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................5 MODE D’EMPLOI ...............................9 INSTRUCCIONES DE USO ..........................13 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................21 BRUGSANVISNING ............................25 BRUKSANVISNING............................29 BRUKERVEILEDNING .............................33 KÄYTTÖOHJEET .............................37 PDHGIES CRHSEWS ............................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................45 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE MINI-TASK AG81.................69... -
Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Seite 7: Informazioni Generali
ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Mini-TASK AG81 e a non Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. sottoporlo ad urti o vibrazioni. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di disperdere l'imballo nell'ambiente. - Seite 8 ISTRUZIONI PER L'USO Il Mini-TASK AG81 può essere installato in qualsiasi posizione. Accensione ed Uso del Mini-TASK AG81 Fissare il Mini-TASK AG81 in posizione stabile collegando la Per accendere il Mini-TASK AG81 è sufficiente fornire la tensione flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio (luce...
-
Seite 9: Smaltimento
ISTRUZIONI PER L'USO SMALTIMENTO Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. -
Seite 10: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Seite 11: Allgemeine Informationen
GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINE INFORMATIONEN Modell Mini-TASK AG81 ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. ist. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß... -
Seite 12: Wartung
GEBRAUCHSANLEITUNG Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini-TASK doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam- AG81 mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An- zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel- Zur Einschaltung des Mini-TASK AG81 ist der Netzstecker anzu- lenarten angegeben. -
Seite 13: Entsorgung
GEBRAUCHSANLEITUNG ENTSORGUNG Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. -
Seite 14: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Seite 15: Indications Générales
MODE D’EMPLOI INDICATIONS GÉNÉRALES Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation en matière de protection de l'environnement. professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé... - Seite 16 MODE D’EMPLOI La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la Mise en marche et utilisation du Mini-TASK chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le AG81 tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.
- Seite 17 MODE D’EMPLOI MISE AU REBUT Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
-
Seite 18: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Seite 19: Información General
INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se INFORMACIÓN GENERAL caiga el Mini-TASK AG81 y de no someterlo a golpes o Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer vibraciones. atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier No abandonar el embalaje en el medio ambiente. - Seite 20 INSTRUCCIONES DE USO La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara Encendido y Uso del Mini-TASK AG81 de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La Para encender el Mini-TASK AG81 basta conectar la tensión de tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON (luz roja mordazas necesarias y con qué...
- Seite 21 INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
-
Seite 22: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Seite 23: Informações Gerais
INSTRUÇÕES PARA O USO Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é INFORMAÇÕES GERAIS completamente reciclável e em conformidade com a norma Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a "... - Seite 24 INSTRUÇÕES PARA O USO tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o Acendimento e Utilização do Mini-TASK AG81 número de grampos e o torque de aperto necessários. Para ligar o Mini-TASK AG81 é suficiente conectá-lo à rede de alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON FLANGE TIPO DE GRAMPO...
- Seite 25 INSTRUÇÕES PARA O USO ELIMINAÇÃO Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
-
Seite 26: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Seite 27: Algemene Informatie
GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini-TASK AG81 niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De Laat verpakking niet ergens buiten achter. gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het EEG milieurichtlijn 85/399. - Seite 28 GEBRUIKSAANWIJZINGEN klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype, Inschakeling en gebruik van de Mini-TASK AG81 het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee Om de Mini-TASK AG81 in te schakelen is het voldoende om ze vastgezet moeten worden. voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de stand ON te zetten (rood lichtje brandt).
-
Seite 29: Afvalverwerking
GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. -
Seite 30: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Seite 31 BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION FORBEREDELSE FØR INSTALLATION Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning anden yderligere Mini-TASK AG81 leveres i en speciel beskyttende emballage. information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af skader, der kan være opstået under transporten.
- Seite 32 BRUGSANVISNING Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske Start og anvendelse af Mini-TASK AG81 felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for Tænding af Mini-TASK AG81 sker ved blot at tilslutte strømmen yderligere oplysninger. Mini-TASK AG81 kan installeres i en og indstille den udvendige afbryder i position ON (rød hvilken som helst position.
-
Seite 33: Bortskaffelse
BRUGSANVISNING BORTSKAFFELSE Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på... -
Seite 34: Säkerhetsanvisningar
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Seite 35: Allmän Information
BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. VIKTIGT! Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på... - Seite 36 BRUKSANVISNING Turbopumpen ISO-intagsfläns fästas Start och användning av Mini-TASK AG81 vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Starta Mini-TASK AG81 genom att slå till strömmen och Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar, placera externa brytaren läge (den röda nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
- Seite 37 BRUKSANVISNING BORTSKAFFNING Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
-
Seite 38: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Seite 39: Generell Informasjon
BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. FORSIKTIG! Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. - Seite 40 BRUKERVEILEDNING Turbopumpene innløpsflens skal festes Starte og bruke Mini-TASK AG81 vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. For å slå på Mini-TASK AG81 er det nok å kople til strømmen Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det og dreie den utvendige bryteren til ON (rødt lys tennes). Den relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer.
- Seite 41 BRUKERVEILEDNING ELIMINERING Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC- direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
-
Seite 42: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37/84 87-901-003-01(A) -
Seite 43: Yleisiä Tietoja
KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY- Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta. laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota "... - Seite 44 KÄYTTÖOHJEET Turbopumppu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää Mini-TASK AG81:n käynnistys ja käyttö tyhjiökammioon kaksois- yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Käynnistä Mini-TASK AG81 kytkemällä sähkö päälle ja Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon (punainen valo syttyy). vaadittava määrä ja kiristysmomentti. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää...
- Seite 45 KÄYTTÖOHJEET HÄVITTÄMINEN Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää...
-
Seite 46: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Seite 47 ODHGIES CRHSHS Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikè GENIKES PLHROFORIES anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apè...
- Seite 48 ODHGIES CRHSHS H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ /Enaush kai Crÿsh tou Mini-TASK AG81 ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akèlouqh Για το άναµµα του Mini-TASK AG81 αρκεί να παρέχετε την τάση tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto τροφοδότησης...
- Seite 49 ODHGIES CRHSHS Χώνευση Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω σύµβολο εφαρµόζεται σύµφωνα µε την ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονοµάζεται "WEEE". Αυτό το σύµβολο (που ισχύει µόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρµοσµένο, ∆ΕΝ...
-
Seite 50: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Seite 51 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt.
- Seite 52 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy A Mini-TASK AG81 bekapcsolása és peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő használata táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő A Mini-TASK AG81 bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a nyomatékot.
- Seite 53 HASZNÁLATI UTASÍTÁS MEGSEMMISÍTÉS A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. szimbólum (mely csak Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
-
Seite 54: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Seite 55 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu Mini-TASK AG81 Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje każdą...
- Seite 56 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być zamocowana Włączenie i obsługa systemu Mini-TASK AG81 do komory próżniowej poprzez podwójne lub pojedyncze zaciski. Aby włączyć Mini-TASK AG81 wystarczy dostarczyć napięcie W niniejszej tabeli przedstawione zostały, dla każdego typu zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On (czerwona zacisku, ilość...
-
Seite 57: Przetworstwo Odpadow
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol (prawomocny tylko krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany miejscu przeznaczonym... -
Seite 58: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... -
Seite 59: Všeobecné Informace
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE VAROVÁNÍ Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za holé... - Seite 60 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí Zapnutí a používání vývěvy Mini-TASK AG81 připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a Vývěvu Mini-TASK AG81 stačí zapojit do sítě a pak zapnout příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a venkovní...
- Seite 61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ LIKVIDACE Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
-
Seite 62: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Seite 63 NÁVOD K POUŽITIU Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. 85/399. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť...
- Seite 64 NÁVOD K POUŽITIU Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená Zapnutie a použitie zariadenia Mini-TASK AG81 k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca Pre zapnutie Mini-TASK AG81u stačí pripojenie k sieti a tabuľka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný počet prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy ON (svieti červená...
- Seite 65 NÁVOD K POUŽITIU LIKVIDÁCIA Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť...
-
Seite 66: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Seite 67 NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo POZOR mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
- Seite 68 NAVODILA ZA UPORABO Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na Vklop in uporaba Mini-TASK AG81-a vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Za vklop Mini-TASK AG81-a je dovolj, da priključite napetost in Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval premaknete zunanje stikalo v položaj ON (rdeča lučka sveti).
-
Seite 69: Odlaganje Opadkov
NAVODILA ZA UPORABO ODLAGANJE OPADKOV Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč... -
Seite 70: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Seite 71: General Information
INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION CAUTION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands information supplied by Varian before operating the equipment. to handle components which will be exposed to vacuum. - Seite 72 INSTRUCTIONS FOR USE The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the Switching on and Use of Mini-TASK AG81 vacuum chamber by means of clamps or claws. The following To switch on the Mini-TASK AG81 it is sufficient to supply the table shows, for each fixing device, the necessary number of mains and then move the external switch to ON position (red clamps or claws and the relevant fixing torque.
- Seite 73 INSTRUCTIONS FOR USE DISPOSAL Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
-
Seite 74: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE MINI-TASK AG81 The Mini-TASK AG81 pumping system consists of a pump with an integrated controller and a fore- pump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: −... -
Seite 75: Controller Description
TECHNICAL INFORMATION Controller Description CONTROL NAME DESCRIPTION The integrated controller is a solid-state frequency ON-OFF red It is located on the other side of the sys- converter which is driven by a single chip micro- switch with inte- tem (with respect to the illustrated control computer and is composed of a PCB which in- grated light panel). -
Seite 76: Mini-Task Ag81 Outline
TECHNICAL INFORMATION MINI-TASK AG81 OUTLINE NOTE The following figure shows the Mini-TASK AG81 When the Mini-TASK AG81 has been stored at a tem- outline. perature less than 5°C, wait until the Mini-TASK AG81 has reached the above mentioned temperature. 71/84 87-901-003-01(A) - Seite 77 TECHNICAL INFORMATION Graph of pumping speed vs inlet pressure Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 72/84 87-901-003-01(A)
-
Seite 78: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di- INLET SCREEN INSTALLATION mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange (on the left side) and pump with 4.5” CFF flange (on the right side). The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by dust greater than 0.7 mm diameter. -
Seite 79: High Vacuum Flange Connection Configurations
TECHNICAL INFORMATION To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- pro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Note that the 2.75” CF flange has six blind holes. Attach the units and tighten each one in turn. Re- peat the sequential tightening until the flange faces meet. -
Seite 80: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS P1 – Vent Input power connector The following figure show the input power connec- tor. Vent Connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller auto- matically or by serial line. -
Seite 81: J5 - Gauge Connector
TECHNICAL INFORMATION J5 – Gauge Connector Mini-TASK AG81 is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Varian “EyeSys Mini-IMG” gauge. The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement instrument based on the inverted magnetron ion gauge design (see orderable parts table). The gauge pressure operation range goes from 6.6x10 mbar [5x10... -
Seite 82: Signal Description
TECHNICAL INFORMATION INPUT/ 1400 PIN N. SIGNAL NAME OUTPUT 1350 START/STOP (+) 1300 START/STOP (-) 1250 INTERLOCK (+) 1200 1150 INTERLOCK (-) 1100 SPEED SETTING (+) 1050 SPEED SETTING (-) SOFT START (+) Duty Cycle [%] SOFT START (-) PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this out- +24 Vdc = 30 mA put signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) propor-... - Seite 83 TECHNICAL INFORMATION NOTE Output: Pressure setting The Navigator Software (optional) allows the op- 1,0E-01 erator to set all the programmable feature. 1,0E-02 1,0E-03 1,0E-04 1,0E-05 How to connect the open collector input of the 1,0E-06 controller 1,0E-07 Here below there are the typical connections of the 1,0E-08 open collector input of Mini-TASK AG81 to an ex- 1,0E-09...
-
Seite 84: J2 - Serial
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The fig- ure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. -
Seite 85: Rs 232/Rs 485 Communication Description
TECHNICAL INFORMATION The communication port mating connector is sup- RS 232/RS 485 COMMUNICATION plied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or DESCRIPTION equivalent 15-pin “D” type male connector). Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J2. For example, the Transmit data signal from con- The communication protocol is the same (see the troller (pin 2) must be connected to the host com-... - Seite 86 TECHNICAL INFORMATION where: FIELD VALID NOTE DATA TYPE LENGTH CHARACTERS When a data is indicated between two quotes (‘...’) Logic (L) ‘0’ = OFF it means that the indicated data is the correspond- ‘1’ = ON ing ASCII character. Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’...
-
Seite 87: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Command: SOFT-START (ON) Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller Remote Remote = 1 or Serial con- Serial = 0 figuration STX ADDR WINDOW (default = 1) Soft Start YES = 1 Source: Controller (write only NO = 0 Destination: PC... - Seite 88 TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Rotational 1100 to 1350 Pump power frequency (default = 1350) in W (pump setting (Hz) current x pump voltage Set vent 0 = Closed valve on/off 1 = Open Driving fre-...
-
Seite 89: Orderable Parts
TECHNICAL INFORMATION ORDERABLE PARTS Read/ Data Description Admitted Write Type Values DESCRIPTION PART NUMBER Program List- "XXXXXXXXXX" European plug power cable, 2 m long 949-9396 ing Code USA plug power cable, 2 m long 949-9397 Parameter "XXXXXXXXXX" Listing Code UK plug power cable, 2 m long 949-9398 Reserved to Varian service Serial cable and Navigator Software... - Seite 90 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
- Seite 91 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 92 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)