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Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 Betriebsanleitung

Scrollpumpe mit integriertem drucksensor
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Inhaltsverzeichnis

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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HISCROLL 6 | 12 | 18
Scrollpumpe mit integriertem Drucksensor

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Fehlerbehebung

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HISCROLL 6 | 12 | 18 Scrollpumpe mit integriertem Drucksensor...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Antrieb 3.1.2 Kühlung 3.1.3 Wellenlager 3.1.4 Gasballast 3.1.5 Drucksensor Anschlüsse Produkt identifizieren...
  • Seite 4 Allgemeines Stellbefehle Statusabfragen Sollwertvorgaben Zusätzliche Parameter für das DCU Betrieb Vakuumpumpe in Betrieb nehmen Vakuumpumpe einschalten Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 8.3.1 Digitalausgänge konfigurieren 8.3.2 Digitaleingänge konfigurieren 8.3.3 Schnittstellen auswählen Betriebsarten Geschwindigkeitsmodi 8.5.1 Normalbetrieb 8.5.2 Standby-Betrieb 8.5.3 Drehzahlstellbetrieb 8.5.4 Auto-Boost...
  • Seite 5 Inhaltsverzeichnis 15.1 Allgemeines 15.2 Technische Daten 15.3 Medienberührende Werkstoffe 15.4 Abmessungen Konformitätserklärung 5/70...
  • Seite 6 Tab. 24: Zubehör für HiScroll Tab. 25: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 26: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 27: Technische Daten für HiScroll 6 Tab. 28: Technische Daten für HiScroll 12 Tab. 29: Technische Daten für HiScroll 18 Tab. 30: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt...
  • Seite 7 Abb. 18: Spiralgehäuse der Scrollpumpe abnehmen Abb. 19: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen Abb. 20: Tip Seal Nut im Spiralgehäuse Abb. 21: Gehäuseteile zusammenbauen Abb. 22: HiScroll 6 | Version mit Drucksensor Abb. 23: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version mit Drucksensor 7/70...
  • Seite 8: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
  • Seite 9: Anweisungen Im Text

    Zu dieser Anleitung 1.3.2 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet. Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit. ►...
  • Seite 10: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Hinweis: Betriebsanleitung lesen 2 Typenschild 3 Warnzeichen heiße Oberfläche 4 Verschlusssiegel 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Erklärung Atmosphärendruck Betriebsanleitung Display Control Unit Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Fluorkautschuk Gasballast Handheld Programming Unit...
  • Seite 11: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 12 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Unzureichende oder fehlerhafte Erdung des Geräts führt zu berührungsempfindlichen Spannungen auf dem Gehäuse. Erhöhte Ableitströme verursachen bei Berührung einen lebensgefährlichen elektri- schen Schlag. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
  • Seite 13 Sicherheit VORSICHT Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent- weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen. ►...
  • Seite 14 Sicherheit VORSICHT Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent- weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen. ►...
  • Seite 15: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit Risiken bei Störungen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.
  • Seite 16: Bestimmungsgemäße Verwendung

    ● Trennen, Austauschen oder Wiederverwenden der Elektronikeinheit (Antriebselektronik). 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 17: Personenqualifikation Sicherstellen

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 18: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Pfeiffer Vacuum Scrollpumpe ist eine im Schöpfraum trocken arbeitende Vakuumpumpe zur Erzeu- gung eines Grob- bzw. Feinvakuums nach dem physikalischen Pumpprinzip einer Spiralvakuumpumpe. Die Pumpe verfügt über eine integrierte Antriebs- und Steuereinheit. Ein dreistufiges Gasballastsystem unterstützt die Vermeidung von Kondensation in der Vakuumpumpe.
  • Seite 19: Antrieb

    Produktbeschreibung Abb. 3: Aufbau HiScroll, Ausführung mit Drucksensor 1 Schutzdeckel für Vakuumanschluss DN 25 Anschlussstecker Drucksensor 2 Ringschraube Antriebselektronik 3 Blinddeckel bei Ausführung ohne GB Befestigungsbohrung 4 Lüfterhaube Standfuß 5 Vakuumanschluss Lüfter 6 Gasballastventil bei Ausführung mit GB Schutzdeckel für Auspuff DN 25 7 Auspuffanschluss Netzanschlussstecker 3.1.1 Antrieb...
  • Seite 20: Anschlüsse

    Entspricht dem Parameter [P:010]. Tab. 3: Schnittstellen der Antriebselektronik 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
  • Seite 21: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Vakuumpumpe transportieren WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände Beim Transport besteht die Möglichkeit von Quetschungen und Stoßen an pendelnden, kippenden oder herabfallenden Gegenständen. Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
  • Seite 22: Vakuumpumpe Lagern

    Transport und Lagerung Hinweise für den Transport der Vakuumpumpe ohne Verpackung 1 Ringschraube ist im Lieferumfang enthalten und ab Werk fest mit der Vakuumpumpe verschraubt. 1. Befestigen Sie ein geeignetes Hebewerkzeug an der Ringschraube. 2. Achten Sie auf die vorschriftsmäßige Verwendung und Befestigung der Anschlagsmittel. 3.
  • Seite 23: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 Vakuumpumpe aufstellen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wasserschaden Das Gerät besitzt die Schutzart IP 20 gemäß DIN EN 60529: 2014 und ist nicht gegen Wassereintritt geschützt. Auf dem Fußboden betriebene Vakuumpumpen führen zu Kriechströmen in eindringen- dem und umgebendem Wasser. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Kontakt mit spannungsführendem Wasser.
  • Seite 24: Auspuffseite Anschließen

    Installation Kondensatabscheider Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Einbau eines Kondensatabscheiders, falls beim Evakuieren Dämpfe durch Flüssigkeiten entstehen. Abb. 6: Beispiel für den Vakuumanschluss 1 Vakuumanschluss der Scrollpumpe Spannring 2 Schutzdeckel Zentrierring 3 Vakuumkomponenten DN 25 ISO-KF Vorgehen 1. Nehmen Sie den Schutzdeckel vom Vakuumanschluss der Scrollpumpe 2.
  • Seite 25: Externe Gasballastversorgung Anschließen

    ► Betreiben Sie die Vakuumpumpe nach Prozessende noch ca. 30 Min. mit Gasballast, um mögli- che Restfeuchte abzuführen. Das Gasballastsystem der Scrollpumpe ist für den Anschluss einer externen Gasversorgung geeignet. Dazu stehen Kupplungen für den Anschluss G 1/8″ aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör zur Verfügung. Benötigte Werkzeuge ● Schraubenschlüssel, SW 13 ●...
  • Seite 26: Netzanschluss Herstellen

    Installation Abb. 8: Externe Gasballastversorgung anschließen 1 Sinterfilter Gasballast Anschlussöffnung 2 Gasballastventil externe Gaszuleitung 3 Anschlusskupplung, exemplarisch externe Gasversorgung Gasversorgung anschließen 1. Drehen Sie das Gasballastventil in Stellung "0". 2. Schrauben Sie den Sinterfilter aus dem Ventilgehäuse heraus. 3. Schrauben Sie eine Anschlusskupplung mit Dichtring in die Filterbohrung G 1/8″ hinein. –...
  • Seite 27: Abb. 9: Netzanschluss Herstellen

    Die Antriebselektronik startet zusammen mit der Verbindung der Spannungsversorgung. Netzversorgung herstellen 1. Bestellen Sie ein passendes Netzanschlusskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. 2. Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). 3. Stecken Sie das Netzkabel in den Anschlussstecker der Antriebselektronik.
  • Seite 28: Schnittstellen

    Der 15-polige D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "remote" bietet die Möglichkeit der Fernbedienung der Antriebselektronik. Die folgenden Angaben stellen die Werkseinstellungen der Antriebselektronik dar. Sie können diese mittels des Pfeiffer Vacuum Parametersatzes konfigurieren. ► Verwenden Sie abgeschirmte Stecker und Kabel. n.c.
  • Seite 29: Eingänge

    Betrieb mit Nenndrehzahl bzw. gewählter Drehzahl im Drehzahlstellbetrieb 6.2.2 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "remote" haben eine Belastungsgrenze von maximal 24 V/50 mA pro Ausgang. Sie können alle aufgeführten Ausgänge mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurieren (Beschreibung bezogen auf die Werkseinstellungen). DO1/Pin 8...
  • Seite 30: Rs-485

    Active high nein 6.2.3 RS-485 Pin 13 und Pin 14 Über Pin 13 und Pin 14 am D-Sub Anschluss der Antriebselektronik können Sie ein Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät (DCU oder HPU) oder einen externen PC anbinden. 6.3 Anschlussmöglichkeiten Abb. 12: Anschluss eines Anzeige- und Bediengerätes über "remote"...
  • Seite 31: Pfeiffer Vacuum Protokoll Für Rs-485-Schnittstelle

    3. Schließen Sie alle Geräte mit RS-485 D+ und RS-485 D- am Bus an. 6.5 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 6.5.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein Master (z.
  • Seite 32: Telegrammbeschreibung

    Schnittstellen 6.5.2 Telegrammbeschreibung Datenabfrage --> Stellbefehl --> Datenantwort / Stellbefehl verstanden --> Fehlermeldung --> NO_DEF Parameternummer n2–n0 existiert nicht _RANGE Daten dn–d0 außerhalb des erlaubten Bereiches _LOGIC logischer Zugriffsfehler 6.5.3 Telegramm Beispiel 1 Datenabfrage Aktuelle Drehzahl (Parameter [P:309], Geräteadresse Slave: "123") --> ASCII Datenantwort: 633 Hz Aktuelle Drehzahl (Parameter [P:309], Geräteadresse Slave: "123")
  • Seite 33: Datentypen

    Schnittstellen 6.5.5 Datentypen Datentyp Beschreibung Länge Beispiel l1 – l0 boolean_old Logischer Wert (falsch / wahr) 000000 entspricht falsch 111111 entspricht wahr u_integer Positive ganze Zahl 000000 bis 999999 u_real Positive Festkommazahl 001571 entspricht 15,71 u_expo Positive Exponentialzahl 1.2E-2 entspricht 1,2 · 10 005E8 entspricht 5 ·...
  • Seite 34: Parametersatz

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werkseitig in der An- triebselektronik programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Die Verwendung der Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 35: Statusabfragen

    Parametersatz Anzeige Bezeichnun- Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault Cfg DO1 Konfiguration 0 = Schaltpunkt erreicht Ausgang DO1 1 = kein Fehler 2 = Fehler 5 = Solldrehzahl erreicht 6 = Pumpe ein 9 = immer "0" 10 = immer "1" 11 = Remote Vorrang aktiv 21 = Gasballast SpdSetMo-...
  • Seite 36: Sollwertvorgaben

    In der Antriebselektronik ist werkseitig der Grundparametersatz eingestellt. Für die Steue- rung von angeschlossenen externen Komponenten (z. B. Vakuummessgeräte) sind in den entsprechenden Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten zusätzliche Parameter (er- weiterter Parametersatz) verankert. ● Bitte beachten Sie entsprechende Betriebsanleitung der jeweiligen Komponente.
  • Seite 37: Tab. 11: Parameter Für Dcu-Funktionen

    Parametersatz Anzeige Beschreibung Funktionen Ein- min. max. tentyp griffsart heit fault Pressure Druckistwert (ActiveLi- 1·10 1·10 Ctr Name Typ Anzeige- und Be- diengerät Ctr Software Softwareversion An- zeige- und Bedienge- rät Gaugetype Typ Druckmessröhre Param set Parametersatz 0 = Grundpara- metersatz 1 = erweiterter Parametersatz...
  • Seite 38: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 39: Digitaleingänge Konfigurieren

    ► Schließen Sie die Fernbedienung über die 15-polige D-Sub-Buchse "remote" an. Die Steuerung erfolgt mittels "SPS-Pegel". Mit Peripheriegeräten DCU oder HPU oder PC betreiben 1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö- rende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im Download Center.
  • Seite 40: Geschwindigkeitsmodi

    3. Kontrollieren Sie die Solldrehzahlen (Parameter [P:308] oder [P:397]). 8.5.2 Standby-Betrieb Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb während Prozess- oder Betriebspausen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Vakuumpumpe. Die Werkseinstellung beträgt 50 % der Nenndrehzahl. Der Standby-Betrieb hat Vorrang vor dem Drehzahlstellbetrieb.
  • Seite 41: Drehzahlstellbetrieb

    Betrieb Alternative: Standby über Pfeiffer Vacuum Parameter ► Stellen Sie Parameter [P:002] auf den Wert "1". Alternative: Standby über Schnittstelle "remote" ► Stellen Sie für DI Standby die Brücke zwischen den Pins 7 und 6 her. Standby-Drehzahl einstellen Die Vakuumpumpe hat einen variablen Arbeitsbereich von 40 bis 100 % der Nenndrehzahl.
  • Seite 42: Druckregelbetrieb

    Betrieb ● Parameter [P:002] = 1: Sie drücken die Taste für 5 s und schalten den Auto-Standby aus. [P:006] = 0. Die Vorwahl Standby bleibt eingeschaltet. ● Parameter [P:002] = 0: Sie drücken die Taste für 5 s und schalten den Auto-Standby aus. [P:006] = 1.
  • Seite 43: Gasballast Verwenden

    Betrieb Gas- und Dampfgemische Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol- Massenspektrometer. Gasart Kalibrierfaktor (C) Luft, Sauerstoff (O ), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N Wasserstoff (H Kohlenstoffdioxid (CO Wasserdampf Helium (He)
  • Seite 44: Betriebsanzeige Über Led

    Tab. 16: Schalterstellungen Gasballastventil HiScroll 8.9 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol LED Status...
  • Seite 45: Vakuumpumpe Ausschalten

    1. Schalten Sie die laufende Vakuumpumpe durch einmaliges Drücken der Taste aus. 2. Schalten Sie die Spannungsversorgung aus. Alternative: Ausschalten über Pfeiffer Vacuum Parameter ► Stellen Sie Parameter [P:010] auf den Wert "0". Alternative: Ausschalten über Schnittstelle "remote" ► Entfernen Sie die Brücke zwischen den Pins 7 und 5.
  • Seite 46: Wartung

    9.2 Checkliste für Inspektion und Wartung Hinweise zu den Wartungsintervallen Je nach Prozess können die erforderlichen Wartungsintervalle die in der Tabelle spezifi- zierten Richtwerte unterschreiten. ● Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder bei spezifi- schen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 46/70...
  • Seite 47: Drucksensor Abgleichen

    Für die Durchführung von Wartungsarbeiten des Levels 3 empfehlen wir den Pfeiffer Vacu- um Service (PV). Bei unsachgemäß ausgeführten Wartungsarbeiten entfallen jegliche Ge- währleistungs- und Haftungsansprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile verwenden. Sie können Wartungsarbeiten Level 1 eigenständig durchführen.
  • Seite 48: Tip Seal Wechseln

    Wartung 9.4 Tip Seal wechseln Voraussetzungen ● Vakuumpumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ● Elektrische Versorgung unterbrochen ● Netzkabel entfernt ● Vakuumeinlass mit dem original Schutzdeckel verschlossen 9.4.1 Spiralgehäuse demontieren Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 5 Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Laborhandschuhe Abb. 16: Lüfterhaube der Scrollpumpe lösen 1 Gasballastventil Innensechskantschraube...
  • Seite 49: Tip Seal Austauschen

    Wartung Lüfterhaube abnehmen 1. Ziehen Sie die Lüfterhaube unten etwas nach vorne. 2. Lösen Sie den Stecker des Lüfterkabels von der Antriebselektronik. – Achten Sie auf den Sicherungsclip. 3. Heben Sie die Lüfterhaube über das Gasballastventil und den Auspuffanschluss. 4. Verschließen Sie ggf. den Auspuffanschluss mit dem original Schutzdeckel Abb.
  • Seite 50: Abb. 19: Tip Seal Der Scrollpumpe Austauschen

    Wartung Abb. 19: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen 1 Tip Seal Tip Seal 2 Orbiter O-Ring 3 Pumpengehäuse Spiralgehäuse Tip Seal entnehmen 1. Stellen Sie das Pumpengehäuse aufrecht. 2. Verwenden Sie den O-Ring-Picker und entnehmen den O-Ring aus dem Spiralgehäuse. 3.
  • Seite 51: Pumpengehäuse Zusammenbauen

    Wartung 3. Benetzen Sie die Nut des Spiralgehäuses mit wenig Isopropanol als Montagehilfe für den O-Ring. 4. Setzen Sie den O-Ring vorsichtig in das Spiralgehäuse ein. 9.4.3 Pumpengehäuse zusammenbauen Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 5 ● Kalibrierter Drehmomentschlüssel Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Laborhandschuhe ●...
  • Seite 52: Abschlussprüfung

    Wartung 4. Schrauben Sie das Lüftergehäuse mit den beiden Innensechskantschrauben und Unterlegschei- ben fest. – Anziehdrehmoment: 3,5 Nm 5. Optional: Befestigen Sie einen vorhandenen Gegenstecker auf dem Anschluss "remote" der An- triebselektronik. – Anziehdrehmoment: 0,4 Nm 9.5 Abschlussprüfung Voraussetzung ● Wartungsarbeiten mit Öffnen des Gehäuses durchgeführt Abschlussprüfung durchführen ►...
  • Seite 53: Außerbetriebnahme

    Vorgehensweise für die Wiederinbetriebnahme der Vakuumpumpe 1. Reinigen Sie die Vakuumpumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 2. Lassen Sie die Vakuumpumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 3. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Vakuumpumpe und nehmen Sie ggf. Serviceleistungen von Pfeiffer Vacuum in Anspruch.
  • Seite 54: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 55: Störungen

    ● Betriebsspannung in- ● Legen Sie die korrekte Betriebsspannung an. ronik leuchtet korrekt ● Antriebselektronik de- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. fekt Vakuumpumpe erreicht ● Leckage an der Vaku- 1. Führen Sie eine Lecksuche durch. nicht die Nenndrehzahl in- umpumpe 2.
  • Seite 56: Fehlercodes

    Warnungen (* Warning F––– *) erscheinen nur und führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.
  • Seite 57: Warn- Und Fehlermeldungen Bei Betrieb Mit Dcu

    Störungen Fehler- Problem mögliche Ursa- Behebung code chen Err094 Temperaturauswertung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service Elektronik fehlerhaft Err098 Interner Kommunikati- – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service onsfehler Err114 Temperaturauswertung – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service...
  • Seite 58: Tab. 23: Warn- Und Fehlermeldungen Bei Verwendung Eines Dcu

    ● Tauschen Sie das Druckmessgerät kom- plett aus ** Error E040 ** Hardwarefehler ● externes RAM defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice ** Error E042 ** Hardwarefehler ● EPROM Prüfsumme falsch ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser-...
  • Seite 59: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 60 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 61: Zubehör

    Zubehör 14 Zubehör 14.1 Zubehörinformationen Anzeigegeräte Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. Kabel und Adapter Netzkabel, Schnittstellen-, Verbindungs- und Verlängerungskabel bieten einen sicheren und geigneten Anschluss. Unterschiedliche Längen auf Anfrage Integrierte Druckmessung Auswertung und Ansteuerung durch die integrierte Antriebselektronik unabhängig von einer zusätzli- chen Stromversorgung Kondensatabscheider Schützen die Vakuumpumpe vor Flüssigkeiten aus der Ansaugleitung und von Kondensatrückfluss aus...
  • Seite 62: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Spiralvakuumpumpen: ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● DIN ISO 21360-1 2016: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Vakuumpumpen - Teil 1: Grundlegende Beschreibung"...
  • Seite 63: Tab. 27: Technische Daten Für Hiscroll

    5 · 10 Pa m³/s 5 · 10 Pa m³/s Gewicht 19 kg 19 kg Tab. 27: Technische Daten für HiScroll 6 Auswahlfeld HiScroll 12, Scrollpumpe, HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor mit Drucksensor, ohne GB Bestellnummer PD S20 010 A...
  • Seite 64: Tab. 28: Technische Daten Für Hiscroll

    Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiScroll 12, Scrollpumpe, HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor mit Drucksensor, ohne GB Emissions-Schalldruckpegel (EN ISO 47 dB(A) 47 dB(A) 2151) Betriebshöhe, max. 2500 m 2500 m Schutzart IP20 IP20 Umgebungstemperatur 5 – 40 °C 5 – 40 °C Temperatur: Lagerung -10 –...
  • Seite 65: Medienberührende Werkstoffe

    Technische Daten und Abmessungen 15.3 Medienberührende Werkstoffe Pumpeneinzelteile Medienberührende Werkstoffe Standard inkl. Drucksen- Gehäuse Aluminium Einlassflansch Edelstahl Auslassflansch Edelstahl Wellbalg Edelstahl Pumpsystem Aluminium anodisiert, PTFE-Compound Rückschlagventil Edelstahl, FKM Gasballastventil Aluminium vernickelt, Edelstahl, FKM, PTFE Einschraubfilter Gasballastventil Bronze/Messing Drucksensor RPT Keramik, Nickel, Edelstahl, Wolfram, Siliziumdioxid, Araldit, Lot Schrauben Edelstahl...
  • Seite 66: Abmessungen

    2 0 .5 2 6 0 4× Gummifüße/ rubber feet 1 1 4 DN 25 ISO-KF 2 9 8 2 0 7 .5 3 8 0 2 0 0 Abb. 22: HiScroll 6 | Version mit Drucksensor Maße in mm 66/70...
  • Seite 67: Abb. 23: Hiscroll 12 | Hiscroll 18 | Version Mit Drucksensor

    Technische Daten und Abmessungen 30.5 (4x) Gummifüße rubber feet DN 25 ISO-KF Abb. 23: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version mit Drucksensor Maße in mm 67/70...
  • Seite 68: Konformitätserklärung

    DIN ISO 21360-1 : 2016 DIN EN IEC 63000: 2019 ISO 21360-2 : 2012 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Dr. Adri- an Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 69 69/70...
  • Seite 70 Notizen / Notes:...

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