Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
Seite 6
Tab. 24: Zubehör für HiScroll Tab. 25: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 26: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 27: Technische Daten für HiScroll 6 Tab. 28: Technische Daten für HiScroll 12 Tab. 29: Technische Daten für HiScroll 18 Tab. 30: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt...
Seite 7
Abb. 18: Spiralgehäuse der Scrollpumpe abnehmen Abb. 19: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen Abb. 20: Tip Seal Nut im Spiralgehäuse Abb. 21: Gehäuseteile zusammenbauen Abb. 22: HiScroll 6 | Version mit Drucksensor Abb. 23: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version mit Drucksensor 7/70...
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
Zu dieser Anleitung 1.3.2 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet. Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit. ►...
Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Hinweis: Betriebsanleitung lesen 2 Typenschild 3 Warnzeichen heiße Oberfläche 4 Verschlusssiegel 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Erklärung Atmosphärendruck Betriebsanleitung Display Control Unit Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Fluorkautschuk Gasballast Handheld Programming Unit...
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
Seite 12
Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Unzureichende oder fehlerhafte Erdung des Geräts führt zu berührungsempfindlichen Spannungen auf dem Gehäuse. Erhöhte Ableitströme verursachen bei Berührung einen lebensgefährlichen elektri- schen Schlag. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
Seite 13
Sicherheit VORSICHT Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent- weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen. ►...
Seite 14
Sicherheit VORSICHT Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent- weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen. ►...
Sicherheit Risiken bei Störungen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.
● Trennen, Austauschen oder Wiederverwenden der Elektronikeinheit (Antriebselektronik). 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Pfeiffer Vacuum Scrollpumpe ist eine im Schöpfraum trocken arbeitende Vakuumpumpe zur Erzeu- gung eines Grob- bzw. Feinvakuums nach dem physikalischen Pumpprinzip einer Spiralvakuumpumpe. Die Pumpe verfügt über eine integrierte Antriebs- und Steuereinheit. Ein dreistufiges Gasballastsystem unterstützt die Vermeidung von Kondensation in der Vakuumpumpe.
Entspricht dem Parameter [P:010]. Tab. 3: Schnittstellen der Antriebselektronik 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Vakuumpumpe transportieren WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände Beim Transport besteht die Möglichkeit von Quetschungen und Stoßen an pendelnden, kippenden oder herabfallenden Gegenständen. Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
Transport und Lagerung Hinweise für den Transport der Vakuumpumpe ohne Verpackung 1 Ringschraube ist im Lieferumfang enthalten und ab Werk fest mit der Vakuumpumpe verschraubt. 1. Befestigen Sie ein geeignetes Hebewerkzeug an der Ringschraube. 2. Achten Sie auf die vorschriftsmäßige Verwendung und Befestigung der Anschlagsmittel. 3.
Installation 5 Installation 5.1 Vakuumpumpe aufstellen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wasserschaden Das Gerät besitzt die Schutzart IP 20 gemäß DIN EN 60529: 2014 und ist nicht gegen Wassereintritt geschützt. Auf dem Fußboden betriebene Vakuumpumpen führen zu Kriechströmen in eindringen- dem und umgebendem Wasser. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Kontakt mit spannungsführendem Wasser.
Installation Kondensatabscheider Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Einbau eines Kondensatabscheiders, falls beim Evakuieren Dämpfe durch Flüssigkeiten entstehen. Abb. 6: Beispiel für den Vakuumanschluss 1 Vakuumanschluss der Scrollpumpe Spannring 2 Schutzdeckel Zentrierring 3 Vakuumkomponenten DN 25 ISO-KF Vorgehen 1. Nehmen Sie den Schutzdeckel vom Vakuumanschluss der Scrollpumpe 2.
► Betreiben Sie die Vakuumpumpe nach Prozessende noch ca. 30 Min. mit Gasballast, um mögli- che Restfeuchte abzuführen. Das Gasballastsystem der Scrollpumpe ist für den Anschluss einer externen Gasversorgung geeignet. Dazu stehen Kupplungen für den Anschluss G 1/8″ aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör zur Verfügung. Benötigte Werkzeuge ● Schraubenschlüssel, SW 13 ●...
Installation Abb. 8: Externe Gasballastversorgung anschließen 1 Sinterfilter Gasballast Anschlussöffnung 2 Gasballastventil externe Gaszuleitung 3 Anschlusskupplung, exemplarisch externe Gasversorgung Gasversorgung anschließen 1. Drehen Sie das Gasballastventil in Stellung "0". 2. Schrauben Sie den Sinterfilter aus dem Ventilgehäuse heraus. 3. Schrauben Sie eine Anschlusskupplung mit Dichtring in die Filterbohrung G 1/8″ hinein. –...
Die Antriebselektronik startet zusammen mit der Verbindung der Spannungsversorgung. Netzversorgung herstellen 1. Bestellen Sie ein passendes Netzanschlusskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. 2. Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). 3. Stecken Sie das Netzkabel in den Anschlussstecker der Antriebselektronik.
Der 15-polige D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "remote" bietet die Möglichkeit der Fernbedienung der Antriebselektronik. Die folgenden Angaben stellen die Werkseinstellungen der Antriebselektronik dar. Sie können diese mittels des Pfeiffer Vacuum Parametersatzes konfigurieren. ► Verwenden Sie abgeschirmte Stecker und Kabel. n.c.
Betrieb mit Nenndrehzahl bzw. gewählter Drehzahl im Drehzahlstellbetrieb 6.2.2 Ausgänge Die digitalen Ausgänge am Anschluss "remote" haben eine Belastungsgrenze von maximal 24 V/50 mA pro Ausgang. Sie können alle aufgeführten Ausgänge mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz über die Schnittstelle RS-485 konfigurieren (Beschreibung bezogen auf die Werkseinstellungen). DO1/Pin 8...
Active high nein 6.2.3 RS-485 Pin 13 und Pin 14 Über Pin 13 und Pin 14 am D-Sub Anschluss der Antriebselektronik können Sie ein Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät (DCU oder HPU) oder einen externen PC anbinden. 6.3 Anschlussmöglichkeiten Abb. 12: Anschluss eines Anzeige- und Bediengerätes über "remote"...
3. Schließen Sie alle Geräte mit RS-485 D+ und RS-485 D- am Bus an. 6.5 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 6.5.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein Master (z.
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werkseitig in der An- triebselektronik programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Die Verwendung der Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
In der Antriebselektronik ist werkseitig der Grundparametersatz eingestellt. Für die Steue- rung von angeschlossenen externen Komponenten (z. B. Vakuummessgeräte) sind in den entsprechenden Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten zusätzliche Parameter (er- weiterter Parametersatz) verankert. ● Bitte beachten Sie entsprechende Betriebsanleitung der jeweiligen Komponente.
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
► Schließen Sie die Fernbedienung über die 15-polige D-Sub-Buchse "remote" an. Die Steuerung erfolgt mittels "SPS-Pegel". Mit Peripheriegeräten DCU oder HPU oder PC betreiben 1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö- rende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im Download Center.
3. Kontrollieren Sie die Solldrehzahlen (Parameter [P:308] oder [P:397]). 8.5.2 Standby-Betrieb Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Standby-Betrieb während Prozess- oder Betriebspausen. Bei aktiviertem Standby-Betrieb reduziert die Antriebselektronik die Drehzahl der Vakuumpumpe. Die Werkseinstellung beträgt 50 % der Nenndrehzahl. Der Standby-Betrieb hat Vorrang vor dem Drehzahlstellbetrieb.
Betrieb Alternative: Standby über Pfeiffer Vacuum Parameter ► Stellen Sie Parameter [P:002] auf den Wert "1". Alternative: Standby über Schnittstelle "remote" ► Stellen Sie für DI Standby die Brücke zwischen den Pins 7 und 6 her. Standby-Drehzahl einstellen Die Vakuumpumpe hat einen variablen Arbeitsbereich von 40 bis 100 % der Nenndrehzahl.
Betrieb ● Parameter [P:002] = 1: Sie drücken die Taste für 5 s und schalten den Auto-Standby aus. [P:006] = 0. Die Vorwahl Standby bleibt eingeschaltet. ● Parameter [P:002] = 0: Sie drücken die Taste für 5 s und schalten den Auto-Standby aus. [P:006] = 1.
Betrieb Gas- und Dampfgemische Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol- Massenspektrometer. Gasart Kalibrierfaktor (C) Luft, Sauerstoff (O ), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N Wasserstoff (H Kohlenstoffdioxid (CO Wasserdampf Helium (He)
Tab. 16: Schalterstellungen Gasballastventil HiScroll 8.9 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol LED Status...
1. Schalten Sie die laufende Vakuumpumpe durch einmaliges Drücken der Taste aus. 2. Schalten Sie die Spannungsversorgung aus. Alternative: Ausschalten über Pfeiffer Vacuum Parameter ► Stellen Sie Parameter [P:010] auf den Wert "0". Alternative: Ausschalten über Schnittstelle "remote" ► Entfernen Sie die Brücke zwischen den Pins 7 und 5.
9.2 Checkliste für Inspektion und Wartung Hinweise zu den Wartungsintervallen Je nach Prozess können die erforderlichen Wartungsintervalle die in der Tabelle spezifi- zierten Richtwerte unterschreiten. ● Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder bei spezifi- schen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 46/70...
Für die Durchführung von Wartungsarbeiten des Levels 3 empfehlen wir den Pfeiffer Vacu- um Service (PV). Bei unsachgemäß ausgeführten Wartungsarbeiten entfallen jegliche Ge- währleistungs- und Haftungsansprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile verwenden. Sie können Wartungsarbeiten Level 1 eigenständig durchführen.
Wartung Lüfterhaube abnehmen 1. Ziehen Sie die Lüfterhaube unten etwas nach vorne. 2. Lösen Sie den Stecker des Lüfterkabels von der Antriebselektronik. – Achten Sie auf den Sicherungsclip. 3. Heben Sie die Lüfterhaube über das Gasballastventil und den Auspuffanschluss. 4. Verschließen Sie ggf. den Auspuffanschluss mit dem original Schutzdeckel Abb.
Wartung Abb. 19: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen 1 Tip Seal Tip Seal 2 Orbiter O-Ring 3 Pumpengehäuse Spiralgehäuse Tip Seal entnehmen 1. Stellen Sie das Pumpengehäuse aufrecht. 2. Verwenden Sie den O-Ring-Picker und entnehmen den O-Ring aus dem Spiralgehäuse. 3.
Wartung 3. Benetzen Sie die Nut des Spiralgehäuses mit wenig Isopropanol als Montagehilfe für den O-Ring. 4. Setzen Sie den O-Ring vorsichtig in das Spiralgehäuse ein. 9.4.3 Pumpengehäuse zusammenbauen Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 5 ● Kalibrierter Drehmomentschlüssel Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Laborhandschuhe ●...
Wartung 4. Schrauben Sie das Lüftergehäuse mit den beiden Innensechskantschrauben und Unterlegschei- ben fest. – Anziehdrehmoment: 3,5 Nm 5. Optional: Befestigen Sie einen vorhandenen Gegenstecker auf dem Anschluss "remote" der An- triebselektronik. – Anziehdrehmoment: 0,4 Nm 9.5 Abschlussprüfung Voraussetzung ● Wartungsarbeiten mit Öffnen des Gehäuses durchgeführt Abschlussprüfung durchführen ►...
Vorgehensweise für die Wiederinbetriebnahme der Vakuumpumpe 1. Reinigen Sie die Vakuumpumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 2. Lassen Sie die Vakuumpumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 3. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Vakuumpumpe und nehmen Sie ggf. Serviceleistungen von Pfeiffer Vacuum in Anspruch.
Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
● Betriebsspannung in- ● Legen Sie die korrekte Betriebsspannung an. ronik leuchtet korrekt ● Antriebselektronik de- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. fekt Vakuumpumpe erreicht ● Leckage an der Vaku- 1. Führen Sie eine Lecksuche durch. nicht die Nenndrehzahl in- umpumpe 2.
Warnungen (* Warning F––– *) erscheinen nur und führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.
Störungen Fehler- Problem mögliche Ursa- Behebung code chen Err094 Temperaturauswertung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service Elektronik fehlerhaft Err098 Interner Kommunikati- – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service onsfehler Err114 Temperaturauswertung – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service...
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
Seite 60
6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Zubehör 14 Zubehör 14.1 Zubehörinformationen Anzeigegeräte Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. Kabel und Adapter Netzkabel, Schnittstellen-, Verbindungs- und Verlängerungskabel bieten einen sicheren und geigneten Anschluss. Unterschiedliche Längen auf Anfrage Integrierte Druckmessung Auswertung und Ansteuerung durch die integrierte Antriebselektronik unabhängig von einer zusätzli- chen Stromversorgung Kondensatabscheider Schützen die Vakuumpumpe vor Flüssigkeiten aus der Ansaugleitung und von Kondensatrückfluss aus...
Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Spiralvakuumpumpen: ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● DIN ISO 21360-1 2016: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Vakuumpumpen - Teil 1: Grundlegende Beschreibung"...
5 · 10 Pa m³/s 5 · 10 Pa m³/s Gewicht 19 kg 19 kg Tab. 27: Technische Daten für HiScroll 6 Auswahlfeld HiScroll 12, Scrollpumpe, HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor mit Drucksensor, ohne GB Bestellnummer PD S20 010 A...
Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiScroll 12, Scrollpumpe, HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor mit Drucksensor, ohne GB Emissions-Schalldruckpegel (EN ISO 47 dB(A) 47 dB(A) 2151) Betriebshöhe, max. 2500 m 2500 m Schutzart IP20 IP20 Umgebungstemperatur 5 – 40 °C 5 – 40 °C Temperatur: Lagerung -10 –...
DIN ISO 21360-1 : 2016 DIN EN IEC 63000: 2019 ISO 21360-2 : 2012 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Dr. Adri- an Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...