PI P-611 Benutzerhandbuch Seite 43

10 Technische Daten
Spannungsanschluss
Sensoranschluss
Empfohlene Elektroniken
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik
begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Adapterkabel mit LEMO-Steckern für Sensoren und Betriebsspannung erhältlich.
Aktive Achsen
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor
Stellweg bei -20 bis +120V,
ungeregelt
Stellweg, geregelt
Auflösung, ungeregelt
Auflösung, geregelt
Linearitätsabweichung
Wiederholgenauigkeit
Verkippung θ
Verkippung θ
Verkippung θ
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit
Resonanzfrequenz unbelastet
Resonanzfrequenz belastet, 30 g 375
Resonanzfrequenz belastet, 100
g
Druck- / Zugbelastbarkeit
Antriebseigenschaften
Keramiktyp
Elektrische Kapazität
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich
Material
Abmessungen
P-611 Positionierer
P-611.3S
P-611.3SF
D-Sub 25 (m)
D-Sub 25 (m)
E-503, E-505,
E-663, E-664, E-727
P-611.ZS
Z
DMS
120
100
0,2
2
0,1
<10
(Bewegung in Z) ±5
Z
(Bewegung in Z) ±20
X
(Bewegung in Z) ±5
Y
0,45
460
265
15 / 10
PICMA® P-885
1,5
-20 bis 80
Aluminium, Stahl
44 mm × 44 mm ×
27 mm
P-611.3O
P-611.3OF
D-Sub 25 (m)
–
E-503, E-505,
E-663, E-664, E-727
P-611.Z0
Z
-
120
-
0,2
-
-
-
±5
±20
±5
0,45
460
375
265
15 / 10
PICMA® P-885
1,5
-20 bis 80
Aluminium, Stahl
44 mm × 44 mm ×
27 mm
PZ253D
Einheit Toleranz
Einheit Toleranz
µm
µm
nm
nm
%
nm
µrad
µrad
µrad
N/µm
Hz
Hz
Hz
N
µF
°C
Version: 1.2.1
+20 % /
-0 %
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
±20 %
±20 %
±20 %
±20 %
max.
±20 %
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