PI P-611 Benutzerhandbuch Seite 40

10 Technische Daten
Druck- / Zugbelastbarkeit in
Stellrichtung
Belastbarkeit
Antriebseigenschaften
Keramiktyp
Elektrische Kapazität
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich
Material
Abmessungen
Masse
Kabellänge
Spannungsanschluss
Sensoranschluss
Empfohlene Elektroniken
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik
begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Aktive Achsen
Bewegung und
Positionieren
Integrierter Sensor
Stellweg bei -20 bis
120 V, ungeregelt
Stellweg, geregelt
Auflösung, ungeregelt
Auflösung, geregelt
Linearitätsabweichung
Wiederholgenauigkeit
Neigen in X, Y
Verkippung θ
(Bewegung in Z)
Gieren in X
Gieren in Y
Verkippung θ
(Bewegung in Z)
36 Version: 1.2.1
P-611.1S
15 / 10
15
PICMA® P-885
1,5
-20 bis 80
Aluminium, Stahl
44 mm × 44 mm ×
17 mm
0,135
1,5
LEMO
LEMO
E-503, E-505,
E-610, E-621,
E-625, E-665,
E-836
P-611.2S
X, Y
DMS
120
100
0,2
2
0,1
<10
±5
–
X
±20
±10
–
Y
P-611.10
15 / 10
15
PICMA® P-885
1,5
-20 bis 80
Aluminium, Stahl
44 mm × 44 mm ×
17 mm
0,135
1,5
LEMO
-
E-503, E-505,
E-610, E-621,
E-625, E-665,
E-836
P-611.20 P-611.XZS P-611.XZ0 Einheit Toleranz
X, Y X, Z
– DMS
120 120
– 100
0,2 0,2
– 2
– 0,1
– <10
±5 ±5
– ±10
±20 ±20
±10 –
– ±10
PZ253D
Einheit Toleranz
N max.
N max.
µF ±20 %
°C
kg ±5 %
m ±10 mm
X, Z
–
120 µm +20 % /
-0 %
– µm
0,2 nm typ.
– nm typ.
– % typ.
– nm typ.
±5 µrad typ.
±10 µrad typ.
±20 µrad typ.
– µrad typ.
±10 µrad typ.
P-611 Positionierer