PI P-611 Benutzerhandbuch Seite 42

10 Technische Daten
Aktive Achsen
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor
Stellweg bei -20 bis 120 V,
ungeregelt
Stellweg, geregelt
Auflösung, ungeregelt
Auflösung, geregelt
Linearitätsabweichung
Wiederholgenauigkeit
Neigen in X, Y
Verkippung θ
Gieren in X
Gieren in Y
Verkippung θ
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit
Resonanzfrequenz unbelastet
X / Y / Z
Resonanzfrequenz belastet
X / Y / Z, 30 g
Resonanzfrequenz belastet
X / Y / Z, 100 g
Druck- / Zugbelastbarkeit in
Stellrichtung
Belastbarkeit
Antriebseigenschaften
Keramiktyp
Elektrische Kapazität
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich
Material
Abmessungen
Masse
Kabellänge
38 Version: 1.2.1
P-611.3S
P-611.3SF
X, Y, Z
DMS
120 / Achse
100 / Achse
0,2
1
0,1
<10
±5
(Bewegung in Z) ±10
X
±20
±10
(Bewegung in Z) ±10
Y
0,3
350 / 220 / 250
270 / 185 / 230
180 / 135 / 200
15 / 10
15
PICMA® P-885
1,5
-20 bis 80
Aluminium, Stahl
P-611.3S:
44 mm × 44 mm ×
43,2 mm
P-611.3SF:
48 mm × 50 mm ×
44,2 mm
0,32
1,5
P-611.3O
P-611.3OF
X, Y, Z
120 / Achse
–
0,2
–
–
–
±5
±10
±20
±10
±10
0,3
350 / 220 / 250
270 / 185 / 230
180 / 135 / 200
15 / 10
15
PICMA® P-885
1,5
-20 bis 80
Aluminium, Stahl
P-611.3O:
44 mm × 44 mm ×
43,2 mm
P-611.3OF:
44 mm × 50 mm ×
44,2 mm
0,32
1,5
PZ253D
Einheit Toleranz
µm +20 % /
-0 %
µm
nm typ.
nm typ.
% typ.
nm typ.
µrad typ.
µrad typ.
µrad typ.
µrad typ.
µrad typ.
N/µm ±20 %
Hz ±20 %
Hz ±20 %
Hz ±20 %
N max.
N max.
µF ±20 %
°C
kg ±5 %
m ±10 mm
P-611 Positionierer