Optionales Zubehör; Technische Ausstattung; Picma® Piezoaktoren; Festkörpergelenksführungen - PI P-611 Benutzerhandbuch

3 Produktbeschreibung
3.6 Optionales Zubehör
Adapterkabel für Modelle mit LEMO-Anschlusssteckern
Produktnummer Beschreibung
P-895.1LDC
P-895.3LDC
E-709.03
 Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst (S. 33).
3.7

Technische Ausstattung

3.7.1 PICMA® Piezoaktoren
P-611-Positionierer werden von PICMA® Piezoaktoren angetrieben. PICMA® Aktoren sind
vollkeramisch isoliert und daher konventionellen Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit
überlegen. Der monolithische Piezokeramikblock ist durch die keramische Isolierschicht vor
Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt. Auch unter extremen
Umgebungsbedingungen wird so eine besonders hohe Zuverlässigkeit erreicht. Im Gegensatz zu
motorischen Antrieben gibt es keine rotierenden oder reibenden Teile. Die Piezoaktoren sind
dadurch spiel-, wartungs- und verschleißfrei.
3.7.2 Festkörpergelenksführungen
P-611-Positionierer verfügen über Festkörpergelenksführungen (Flexures) für reibungsfreie
Bewegung und hohe Führungsgenauigkeiten.
Ein Flexure ist ein haft- und gleitreibungsfreies Element, das auf der elastischen Deformation
(Biegung) eines Festkörpers (z. B. Stahl) basiert und völlig ohne rollende oder gleitende Teile
auskommt. Flexureelemente zeigen eine hohe Steifigkeit und Belastbarkeit.
Festkörpergelenksführungen sind wartungs- und verschleißfrei. Sie sind 100 %
vakuumkompatibel, arbeiten in einem weiten Temperaturbereich und benötigen keinerlei
Schmierstoffe.
3.7.3

Dehnmessstreifen-Sensoren (DMS-Sensoren)

Dehnmessstreifen-Sensoren leiten die Positionsinformation aus ihrer Ausdehnung ab. Sie
werden an einer geeigneten Stelle im Antriebsstrang angebracht und messen dort die
Auslenkung des bewegten Teils des Positionierers gegen den Grundkörper. Diese Art der
Positionsmessung erfolgt mit Kontakt und indirekt, da die Position der Bewegungsplattform aus
einer Messung an Hebel, Führung oder Piezostapel abgeleitet wird.
Die Sensoren arbeiten in einer thermisch driftfreien Vollbrückenschaltung und sorgen damit für
optimale Positionsstabilität im Nanometerbereich.
P-611 Positionierer
Adapterkabel LEMO auf D-Sub 7W2 (m) für piezoaktorische
Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren, 1 Kanal, Länge: 0,3 m.
Adapterkabel LEMO auf D-Sub 25W3 (m) für piezoaktorische
Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren, 3 Kanäle, Länge: 0,3 m.
Adapterkabel LEMO auf D-Sub 9-pol. (m) für piezoaktorische
Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor, 1 Kanal, 0,15 m. Passt an
Controller mit D-Sub 9-Buchse.
PZ253D Version: 1.2.1 13