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NTELLISYS
10.0 - Betrieb mit Master- und Slave-Reglern
IQ+ Master/Slave-Regelventile von Nor-Cal Products können an kleinen bis großen Prozesskammern in einem Netzwerk installiert werden, um eine schnelle und
genaue Druckregelung für eine Vielzahl von Prozessanwendungen wie Halbleiterätzung, PVD, CVD, OLEDs, Anzeigen, Solar und vieles mehr zu erzielen.
Master/Slave-Netzwerk-Einstellungen
Der Master kommuniziert mit den Slave-Reglern über ein privates Netzwerk, während die Kommunikation mit dem Host-Gerät über DeviceNet, RS-232,
RS-485, Modbus oder die Analog/TTL-Schnittstelle erfolgt. Abbildung 10.1 zeigt ein typisches Master/Slave-Netzwerk
Master/Slave-Netzwerk-Hub
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Nur der Netzwerk-Hub wird mit 24 VDC versorgt. Netzwerkkabel verbinden die Master- und Slave-Regler mit dem Hub zur Bereitstellung von
Kommunikationsverbindung und Stromversorgung für jeden der Regler.
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Die Stromaufnahme der einzelnen Regler beträgt max. 3-4 A und ist abhängig von der Art der im Netzwerk verwendeten Ventile. Die Stromaufnahme
beträgt üblicherweise weniger als 1 A je Regler abzüglich der Stromaufnahme der Vakuummeter.
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Der Hub verwendet einen 3-poligen XLR-Anschluss für die +24-VDC-Spannungsversorgung, der mit dem Hub mitgeliefert wird.
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Die Netzwerkkabel verwenden 5-polige XLR-Anschlüsse für die Verbindung zwischen dem Hub und dem jeweiligen Regler.
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Die Länge der Netzwerkkabel ist auf 10 Meter begrenzt.
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Anzeigeleuchten am Hub zeigen die Stromversorgung und die Kommunikationsaktivität unter den Geräten an.
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Zur Verbindung der Master- und Slave-Regler werden 4-Punkt- oder 6-Punkt-Hubs verwendet.
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Wenn mehr als 5 Slave-Regler benötigt werden, sind mehrere Hubs erforderlich, die über ein Crossover-Kabel miteinander verbunden werden. Die maxi-
male Länge für Crossover-Kabel beträgt 4 m. Für jeden Hub sind separate Spannungsversorgungen erforderlich.
Master/Slave-Netzwerk
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Das Master/Slave-Netzwerk kann bis zu 9 Slave-Ventile plus das Master-Ventil besitzen.
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JJedes Slave-Ventil hat eine eindeutige Adresse und wird mit einem 10-Punkt-Drehschalter ausgewählt.
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Gültige Slave-Adresseinstellungen sind 1 bis 9. Die Adresse 0 ist eine ungültige Adresse. Die Slave-Adressen müssen fortlaufend sein.
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Die NETZWERK-LED eines Slave-Reglers leuchtet grün, wenn die Kommunikation mit einem Master hergestellt ist.
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Eine ROT blinkende NETZWERK-LED zeigt an, dass die Kommunikation zwischen dem Slave-Ventil und dem Master-Ventil unterbrochen ist.
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Eine blinkende GELBE FEHLER-LED am Master-Ventil zeigt einen Fehler oder einen Kommunikationsfehler mit einem Slave-Ventil an.
+1-800-824-4166 oder +1-530-842-4457 • ncsales @ n-c.com • www.n-c.com
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A
DAPTIVE
CDG 1
Master
Tool
24VDC
– NETZWERK MIT MASTER- UND SLAVE-REGLERN
ABBILDUNG 10.1
D
RUCKREGLER
CDG2
Slave 1
Hub
Slave 3
Slave 2
77-00041 © Nor-Cal Products, Inc. REV A-B
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