NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER Diese Betriebsanleitung ist vor Installation und Betrieb zu lesen. In diesem Dokument sind wichtige Installations- und Betriebsanweisungen enthalten. DOKUMENTATION IN PAPIERFORM: Scannen Sie den QR-Code unten, um eine elektronische Version der Betriebsanleitung des Intellisys IQ+ Adaptiven Druckreglers (APC) herunterzuladen oder besuchen Sie www.n-c.com.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 1.0 - Einleitung Vielen Dank für Ihren Kauf des neuen adaptiven Druckreglers Intellisys™ IQ+ von Nor-Cal Products. Bevor Sie das Produkt installieren und verwenden, lesen Sie bitte diese Anleitung sorgfältig durch, da sie wichtige Hinweise zur Bedienung, Problembehebung und zu Schnittstellen enthält. Bei Problemen oder Fragen wenden Sie sich bitte an unseren Intellisys Kundendienst unter +1-800-824-4166, Durchwahl 186, oder besuchen Sie unsere Webseite unter www.n-c.com.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 3.0 - Auspacken und Installation Überprüfen Sie die Versandkiste vor dem Auspacken. Etwaige Schäden sollten Sie Nor-Cal Products oder dem Spediteur unverzüglich melden. Entnehmen Sie das Produkt vorsichtig der Kiste und überprüfen Sie es optisch auf Schäden. Sollte eine Rücksendung des Produkts an Nor-Cal Products erforderlich werden, wenden Sie sich bitte an den Kundendienst von Intellisys, um eine Rücksendenummer (RMA) zu erhalten.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 3.3 - Integrierter QP-Regler ABBILDUNG 3.3 – INTEGRIERTER QP-REGLER TABELLE 3.3.1 - INTEGRIERTER QP-REGLER ANSCHLUSSLISTE Ctrl Fault REGLERANSCHLUSS KABELANSCHLUSS AUSFÜH- ANSCHLUSS- AUSFÜH- ANSCHLUSS- O P E N RUNG RUNG IQ PLUS SERIES DeviceNet Stecker DeviceNet Buchse AD AP TIV E P R E S S U R E C O N TR O L L E R 5-polig Micro 5-polig...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 3.6 - Separater QPA-Regler ABBILDUNG 3.6 – SEPARATER QPA-REGLER TABELLE 3.6.1 - SEPARATER QPA-REGLER ANSCHLUSSLISTE Ctrl Fault REGLERANSCHLUSS KABELANSCHLUSS AUSFÜH- ANSCHLUSS- AUSFÜH- ANSCHLUSS- O P E N RUNG RUNG XLR 5-polig Stecker Neutrix Buchse NC5FX 5-polig XLR (oder gleichw.) C L O S E IQ + SERIES...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 4.0 - Funktionsprinzip Alle IQ+ Regler sind für die auslassseitige Druckregelung ausgelegt (siehe Abb. 4.1 und 4.2). Als solche gehören sie zu den wichtigsten Komponenten in einer Druckregelung. Weitere wesentliche Komponenten sind ein Host-System-Computer, ein Regelventil und ein oder zwei Vakuummeter, z. B. kapazitive Messröhre (CDG), sowie ein Pumpsystem.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 5.0 - Schnittstellen des IQ+ Reglermoduls IQ+ Regler besitzen mehrere Schnittstellen, die – je nach Gerätetyp – für die Kommunikation mit Peripheriegeräten zur Verfügung stehen. Diese werden unten anhand ihrer Funktionen beschrieben. Bitte entnehmen Sie außerdem die spezifischen Anschlüsse und ihre jeweilige Steckerbelegung aus den Abbildungen 3.1 bis 3.8 und deren zugehörigen Tabellen.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 6.0 - Serielle RS-232-Schnittstelle und Befehle Grundlagen der Schnittstelle Alle IQ+ Regler unterstützen die serielle RS-232-Kommunikation über den Auxiliary Port. Eine vollständige Beschreibung des Kommunikationsprotokolls und eine Auflistung aller aktiven seriellen Befehle folgt in diesem Abschnitt. Ein dreipoliger Anschluss muss für die Kommunikation vorhanden sein: RxD (Daten vom IQ+), TxD (Daten zum IQ+) sowie Signalmasse.
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NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 6.0 - Serielle RS-232-Schnittstelle und Befehle (Fortsetzung) Sollwert ändern Ventilposition auslesen Der IQ+ Regler besitzt gewöhnlich fünf programmierbare Sollwerte, die Die Ventilposition kann ebenfalls über den seriellen Anschluss abgefragt entweder für die Steuerung des Drucks oder der Ventilposition ausgewählt werden.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 6.0 - Serielle RS-232-Schnittstelle und Befehle (Fortsetzung) L1 und L2 werden gewöhnlich nur für Wartungszwecke verwendet. Stellen Duale Drucksensorkonfiguration aktivieren Sie den IQ+ nach Abschluss der Wartung mit dem seriellen Befehl LØ wieder Wenn zwei Vakuummeter an den IQ+ Regler angeschlossen sind, kann der auf den dualen Messbereichsmodus zurück.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 7.0 - Analog-/TTL-Schnittstelle In diesem Abschnitt wird die Analog-TTL-Schnittstelle detailliert beschrieben. Zur leichteren Identifizierung sind die einzelnen Funktionen in alphabeti- scher Reihenfolge aufgeführt. Der Pin muss jedoch während des gesamten Ventilhubs auf „niedrig“ belas- Analoger CDG1-Ausgang sen werden. Wenn der Pin in der Mitte des Ventilhubs auf „hoch“ schaltet, An diesem Pin kann das Signal vom CDG1-Eingang überwacht werden.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 7.0 - Analog-/TTL-Schnittstelle (Fortsetzung) \Ventil geöffnet - Ausgang\ Magnetspule (Entlüftung) 1 Rückl. „Ventil geöffnet - Ausgang“ ist ein ACTIVE-LOW-TTL-Ausgang, der einen Dieser Pin ist der elektrisch gesteuerte Rückleiter vom externen Magnetventil Bezug auf den Pin der Gemeinsamen Masse für TTL-Ausgänge haben sollte. zur Masse.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 8.0- Konfigurieren des IQ+ für Ihr System Parameter zum Konfigurieren des Systems ABBILDUNG 8.2.1 – VOLUMEN ZU HOCH Drei einstellbare Parameter beeinflussen, wie das Ventil auf Änderungen der Gasfluss- und Drucksollwerte reagiert. Die Parameter müssen nur einmal eingestellt werden und decken den gesam- ten Bereich der Sollwerte für den Prozessdruck ab.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 8.0 - Konfigurieren des IQ+ für Ihr System (Fortsetzung) ABBILDUNG 8.5 – GESCHWINDIGKEIT ZU NIEDRIG ABBILDUNG 8.4 – GESCHWINDIGKEIT ZU HOCH Befehle zum Konfigurieren des Systems DeviceNet-Befehle TABELLE 8.4 – DEVICENET-BEFEHLE Klassen-ID 33 ATTRIBUT-ID HEX ZUGRIFFSCODE NAME FORMAT WERT Instanz-ID 1 (Prozesssteuerung)
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.0 - DeviceNet-Schnittstelle 9.1. Übersicht und Einrichtung DeviceNet ist ein Netzwerk-Kommunikationsprotokoll, das eine kosten- Modulstatus Eine zweifarbige (rot/grün) Modulstatus-LED zeigt den Status des Kommunikationsmoduls gemäß Tabelle 9.1 an. günstige Lösung für die Low-Level-Vernetzung elektronischer Geräte darstellt. Prozessdaten und andere Informationen, wie beispielsweise TABELLE 9.1 - STATUS-LED DES DEVICENET-MODULS Konfigurationsparameter, können für bis zu 64 Knoten pro Netzwerk mit einer Datenrate von bis zu 500 kBaud kommuniziert werden.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.1. Übersicht und Einrichtung (Fortsetzung) Erforderliche Hardware Allgemeine Überlegungen zum Ventilbetrieb mit DeviceNet Ein DeviceNet-Netzwerk besteht aus einem Host-Controller, einem Bus DeviceNet ist ein objektorientiertes Kommunikationsprotokoll. Der Gerätetyp und einem oder mehreren externen Geräten wie z. B. IQ+. Der Master- des Prozesssteuerungsventils umfasst mehrere Objekte der Hierarchie Knoten oder Host-Controller besteht in der Regel aus einem PC, der mit für Elektronikgeräte (siehe Abbildung 9.3.1).
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.2 - DeviceNet-Kommunikation Der Abschnitt erläutert, wie Sie über den DeviceNet-Anschluss mit dem Regler kommunizieren und diesen ansteuern können. DeviceNet verwendet zwei grundlegende Nachrichtentypen: Explizite und I/O-Nachrichten Explizite Nachrichten Initialisieren des Ventils (nicht bei allen Ventiltypen erforderlich) Explizite Nachrichten werden verwendet, um eine einzelne Information im •...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.2 - DeviceNet-Kommunikation (Fortsetzung) Input/Output-Nachrichten Auslesen von Systemdruck und Ventilposition • Wählen Sie den Service-Code 0E (Attribut abrufen) I/O-Nachrichten werden zum periodischen Lesen und Schreiben von Daten auf dem Gerät verwendet. Sie werden für die Übertragung eines kontinu- •...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.3 - DeviceNet-Geräteprofil Abbildung 9.3.1 - Objektmodell für das Prozessregelventil-Gerät Hierarchy of Semiconductor Equipment Device Objects S-Analog Sensor Class S-Single Stage Controller Class Process 1 Process Process 2 Position Position Selection Class Control Setpoint Variable ( not a member of the Hierachy) S-Analog Actuator...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.13 - S-Analog-Actuator-Objekt TABELLE 9.13.1 – ATTRIBUTE VON S-ANALOG-ACUTATOR-OBJEKTEN Klassen-ID 32 ATTRIBUT-ID SERVICE-ID NAME FORMAT WERT HINWEIS: Verwenden Instanz-ID 1 Sie das Attribut C3h = INT (Voreinstellung) 0E (Abruf) 10 (Setzen) Datentyp USINT „Überschreiben“, um CAh = REAL das Wertattribut zu 1001h = Zählereignisse überschreiben, wenn...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.16 - Master/Slave-Objekt Klassen-ID 64 TABELLE 9.16.1 – ATTRIBUTE VON MASTER/SLAVE-OBJEKTEN Instanz-ID 1 (Master) ATTRIBUT-ID SERVICE-ID NAME FORMAT WERT • Wenn das Attribut 70 0E (Abruf) 10 Anzahl Slave-Regler USINT Bereich 0-10 (Anzahl Slave-Regler) auf (Setzen) eine Zahl größer als 0 Bereich 0 - nn = eingestellt wird, geht der Regler automatisch in den...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 9.16 - Master/Slave-Objekt (Fortsetzung) Betrieb mit Master/Slave-Reglern Wenn nicht bereits im Werk eingestellt, stellen Sie die Anzahl der Slave-Regler über das Attribut 70 hex ein. Nach dem Aktualisieren des Attributs benötigt das Gerät einen DeviceNet-Reset, damit alle Master/Slave-Funktionen ordnungsgemäß funktionieren. Wenn Sie das Attribut „Anzahl Slave-Regler“ auf eine Zahl ungleich Null setzen, wird der DeviceNet-Controller automatisch so konfiguriert, dass er als Masterregler fungiert.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 10.0 - Betrieb mit Master- und Slave-Reglern IQ+ Master/Slave-Regelventile von Nor-Cal Products können an kleinen bis großen Prozesskammern in einem Netzwerk installiert werden, um eine schnelle und genaue Druckregelung für eine Vielzahl von Prozessanwendungen wie Halbleiterätzung, PVD, CVD, OLEDs, Anzeigen, Solar und vieles mehr zu erzielen. Master/Slave-Netzwerk-Einstellungen Der Master kommuniziert mit den Slave-Reglern über ein privates Netzwerk, während die Kommunikation mit dem Host-Gerät über DeviceNet, RS-232, RS-485, Modbus oder die Analog/TTL-Schnittstelle erfolgt.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 10.0 - Betrieb mit Master/Slave-Reglern (Fortsetzung) Master/Slave-Kommunikation • Das Master-Ventil sendet eine Broadcast-Nachricht an alle Slave-Ventile, damit diese die Informationen gleichzeitig empfangen. • Aktualisierungen der Zielposition werden vom Master-Ventil in Intervallen von 25 ms bereitgestellt. • Das Master-Ventil beginnt mit dem Senden von Daten zur Ventilposition, nachdem das Ventil initialisiert wurde. •...
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NTELLISYS NTELLISYS DAPTIVE DAPTIVE RUCKREGLER RUCKREGLER 10.0 - Betrieb mit Master/Slave-Reglern (Fortsetzung) Master/Slave-Befehle über RS-232 / RS-485 • Master-Modus einstellen Befehl SMMx <Eingabe>. Dieser Befehl legt die Anzahl „x“ von Slave-Ventilen im Netzwerk fest. Gültige Werte für „x“ sind 0 bis 9. Bei „x“ > 0 lautet die Antwort auf diesen Befehl Master mode enabled;...
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 11.0 - Batterie-Notabschaltung Einige Typen adaptiver Druckregler, einschließlich des IQ+ Reglers, sind optional mit einer netzunabhängigen Batterie-Notabschaltung erhältlich. Wenn diese Funktion installiert ist, wird das Ventil im Falle einer Unterbrechung der Stromversorgung des Druckreglers geschlossen. Dies ist vor allem bei der Verwendung von Regel-Schiebern relevant, da diese Ventile typischerweise auch als Absperrventil für die Vakuumleitung dienen.
NTELLISYS DAPTIVE RUCKREGLER 12.0 - Produkt-Support WARNUNG: Bei der Arbeit oder Fehlersuche an adaptiven Druckreglern von Nor-Cal muss mit äußerster Vorsicht vorgegangen werden, um zu verhindern, dass Körperteile in die Nähe des Ventilmechanismus oder anderer beweglicher Teile gelangen. Diese können sich plötzlich und unerwartet bewegen, und oftmals werden sie mit ausreichender Kraft angetrieben, um erhebliche Schäden und möglicherweise sogar Verstümmelungen zu verursachen.
NTELLISYS NTELLISYS DAPTIVE DAPTIVE RUCKREGLER RUCKREGLER 12.0 - Produkt-Support (Fortsetzung) TABELLE 12.2 – GÜLTIGE STATUS-LED-KOMBINATIONEN OPEN/ LEGENDE FÜR CTRL FAULT CLOSE KOMMENTAR TABELLE 12.2 = LED aus Alle LEDs ausgeschaltet. IQ+ wird nicht mit Strom versorgt, oder die interne Software Aus / Aus ist beschädigt.
NTELLISYS NTELLISYS DAPTIVE DAPTIVE RUCKREGLER RUCKREGLER ANHANG I – Ersatzteile und Bestellinformationen Zur problemlosen Vervollständigung des Intellisys-Druckreglers bietet Nor-Cal Products eine umfassende Auswahl an Kabeln und Zubehör an. Dazu gehören Signal- und Kommu- nikationskabel, Netzkabel, Netzteile sowie Ersatzteile. Aufbau der Gerätetyp-Nummern für adaptive Druckregler IQ+ Verwenden Sie die Schablone rechts und die Tabelle unten, um eine gültige Gerätetyp-Nummer für einen adaptiven Druckregler Gauge Power...
NTELLISYS NTELLISYS DAPTIVE DAPTIVE RUCKREGLER RUCKREGLER Anhang II - Beschränkte Gewährleistung und Schutz von geistigem Eigentum Für Produkte, die von Nor-Cal Products, Inc. (im Folgenden als „Nor-Cal“ bezeichnet) gilt für Material- und Verarbeitungsfehler für einen Zeitraum von zwölf (12) Monaten ab dem Datum der Lieferung von Nor-Cal an den Käufer eine Gewährleistung. Jegliche Änderung am Produkt durch den Käufer oder dessen Beauftragte führt zum Erlöschen dieser Gewährleistung.