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I
NTELLISYS
4.0 - Funktionsprinzip
Alle IQ+ Regler sind für die auslassseitige Druckregelung ausgelegt (siehe Abb. 4.1 und 4.2). Als solche gehören sie zu den wichtigsten Komponenten in
einer Druckregelung. Weitere wesentliche Komponenten sind ein Host-System-Computer, ein Regelventil und ein oder zwei Vakuummeter, z. B. kapazitive
Messröhre (CDG), sowie ein Pumpsystem. Zur Bereitstellung des Vakuummesssignals können die Vakuummeter der meisten Hersteller verwendet werden,
sofern sie über einen druckproportionalen Spannungsausgang verfügen. Der IQ+ Regler benötigt einen Vakuummeter-Signalausgang, der 0-10 V linear und
proportional zum Druck ist.
Vacuum
DC power supply
gauge(s)
IQ+ Controller
Host system with
RS232/485 or DeviceNet
communications
ABBILDUNG 4.1 – TYPISCHE INSTALLATION EINER DRUCKREGELUNG
MIT SEPARATEM IQ+ REGLER
Initialisierungssequenz
Beim ersten Einschalten durchläuft der IQ+ Regler der Butterfly-Ventile
eine Initialisierungssequenz von ca. 30 Sekunden. Der Hauptzweck dieses
Vorgangs besteht darin, dass der Regler die vollständig geöffneten und
geschlossenen Punkte bestimmt und den Motor und die Positionen kalibriert.
Während der Initialisierungssequenz leuchten beide der OPEN/CLOSE-LEDs.
Bei Abschluss der Initialisierungssequenz bewegt sich das Ventil in die voll-
ständig geöffnete Position und die grüne OPEN-LED leuchtet.
HINWEIS: Die Regler für TPV-Pendelschieber und TSS-
Schieberventile besitzen eine Sicherheitssperrfunktion für die
Ventilinitialisierung. Diese Funktion sperrt die Ventilinitialisierung,
bis ein Freigabebefehl erteilt wurde. Dazu wird der serielle
RS-232-Befehl J4 verwendet.
VORSICHT: Versuchen Sie niemals, ein Regelventil mit an der
Klappe anliegendem Differenzdruck zu initialisieren. Stellen Sie
sicher, dass der Druck auf beiden Seiten auf ±20 Torr ausgeglichen
wurde. Andernfalls können Pumpen und andere Geräte beschä-
digt werden.
+1-800-824-4166 oder +1-530-842-4457 • ncsales @ n-c.com • www.n-c.com
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A
D
DAPTIVE
RUCKREGLER
Vacuum Chamber
Nor-Cal
throttle
valve
Pump
Vacuum
gauge(s)
DC power supply
Host system with
RS232/485 or DeviceNet
communications
ABBILDUNG 4.2 – TYPISCHE INSTALLATION EINES VENTILS MIT
INTEGRIERTEM IQ+ DRUCKREGLER
Normalbetrieb
Nach Abschluss der Initialisierungssequenz kann das Ventil im
Normalbetrieb verwendet werden. Es gibt zwei Haupt-Betriebsarten: a) den
Positionssteuerungsmodus und b) den Drucksteuerungsmodus.
Im Positionssteuerungsmodus bewegt sich das Ventil an die Position seines
Stellbereichs, die einem vom Host übermittelten Positions-Sollwert entspricht.
Das Ventil bleibt in dieser Position, bis eine andere Anweisung erfolgt. Der
Positionssteuerungsmodus kann in bestimmten Fällen nützlich sein, wenn ein
vorbestimmter Drosselungsbetrag erforderlich ist.
Der Drucksteuerungsmodus wird immer dann eingesetzt, wenn eine
Regelung auf einen bestimmten Prozessdruck gewünscht ist. Der Host
übermittelt den Sollwert an den Regler, der das Ventil so verstellt, dass dieser
Sollwert so schnell wie möglich erreicht wird. Im Drucksteuerungsmodus
werden externe Störeinflüsse, wie z. B. Durchflussänderungen und
Plasmaereignisse automatisch durch den Regler ausgeglichen, so dass der
Druck-Sollwert beibehalten wird. Dieser Wert kann jederzeit durch den Host
verändert werden.
Abstimmung
Der IQ+ Regler verwendet einen adaptiven Druckregelungsalgorithmus, der so
konzipiert ist, dass er mit einer Vielzahl von Kombinationen von Durchfluss und
Druck arbeiten kann. Drei Systemparameter müssen unter Umständen ange-
passt werden: Systemvolumen, Systemverzögerung und Geschwindigkeit.
Siehe Abschnitt 6.1: So konfigurieren Sie IQ+ für Ihr System.
Vacuum Chamber
Nor-Cal
IQ+ Valve
Pump
77-00041 © Nor-Cal Products, Inc. REV A-B
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