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Pfeiffer Vacuum RVG 050 C Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum RVG 050 C Betriebsanleitung

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A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N
RVG 050 C
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum RVG 050 C

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum RVG 050 C

  • Seite 1 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N RVG 050 C Steuergerät Betriebsanleitung...

  • Seite 2: Produktidentifikation

    Sie finden die Artikelnummer (No)auf dem Typenschild. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten. Alle Maßangaben im mm. Das Steuergerät RVG 050 C dient zusammen mit dem Bestimmungsgemäßer Gasdosierventil UDV 146 zum Aufbau von Regelstre- Gebrauch cken. Je nach Art des Istwertgebers können Total- drücke, Partialdrücke oder auch Gasströme geregelt...

  • Seite 3: Funktion

    Die Steuerung des Gasflusses beim Gasdosierventil ge- Funktion schieht durch Längenänderung des Ventilbolzens. Diese wird durch Temperaturänderung mittels einer Heiz- wicklung erreicht. Das Steuergerät vergleicht Sollwert und Istwert und steuert über einen PI-Regler die Heiz- leistung derart, dass die Soll-/Istwert-Abweichung gegen Null geht.

  • Seite 4: Inhaltsverzeichnis

    Rackeinbau 3.1.2 Schalttafeleinbau 3.1.3 Tischgerät 3.2 Netzanschluss 3.3 Anschluss Ventil RVG 050 C  UDV 146 3.4 Anschluss Ventil RVG 050 C  Absperrventil 3.5 Anschluss Steuersignal-Istwertgeber  RVG 050 C 3.6 Anschluss externe Sollwertvorgabe  RVG 050 C 4 Bedienung 4.1 Frontplatte...
  • Seite 5 Anhang Umrechnungstabellen Literatur Stichwortverzeichnis EG-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf andere Dokumente das Symbol (→  [Z]). BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...

  • Seite 6: Sicherheit

    1 Sicherheit 1.1 Verwendete GEFAHR Symbole Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. <..> Beschriftung 1.2 Personal- qualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche...

  • Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke

    Beachten Sie zudem die in diesem merke Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und 1.4 Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung • dieses Dokument missachten •...

  • Seite 8: Technische Daten

    2 Technische Daten Nennspannung 115 / 230 V ∼ ± Netzanschluss (umschaltbar) Frequenz 50 … 60 Hz Leistungsaufnahme 20 VA Überspannungs- kategorie Schutzklasse Sicherung für 230 V 125 mATT für 115 V 250 mATT Anschluss Gerätestecker IEC 60320 C14 (Europa-Apparatestecker) Temperatur Umgebung Betrieb...
  • Seite 9 Regelcharakteristik proportional - integral (PI) Regelkreis Proportionalverstärkung V (bezogen auf 100 mV-Eingang) 2 … 1000 Nachstellzeit T 2 … 30 s Istwert-Eingangssignal 0 … +10 V= (Buchsen <input>) Impedanz ≈ 100 k Ω Interner Sollwert Sollwert, einstellbar 0 … +10 V= Skalenteile 0 …...
  • Seite 10 Gasdurchlass- Beispiel einer UDV-Gasdurchlasscharakteristik im Zu- Charakteristik sammenhang mit dem RVG 050 C bei maximaler Leistung. Streubreite Schliesszeit [s] Öffnungszeit [s] Öffnen und Schliessen des Ventiles manuell eingestellt Die Streubreite ist abhängig von den mechanischen Toleranzen des Ventils. BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...

  • Seite 11: Installation

    3 Installation Das Gerät ist sowohl in einen 19"-Rackschrank oder in 3.1 Einbau, Aufstellen eine Schalttafel eingebaut wie auch als Tischgerät ver- wendbar. GEFAHR GEFAHR: Beschädigtes Produkt Die Inbetriebnahme eines beschädigten Pro- dukts kann lebensgefährlich sein. Bei sichtbaren Beschädigungen das Produkt gegen unabsichtlichen Betrieb sichern.
  • Seite 12 Führungsschiene Zur Entlastung der Frontplatte des RVG 050 C empfeh- len wir, den Rackeinschubadapter mit einer Führungs- schiene zu versehen. Gleitschienen Zum sicheren und einfachen Einbau schwerer Rackein- schubadapter empfehlen wir, das Rackgestell zusätzlich mit Gleitschienen zu versehen. BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...
  • Seite 13  RVG 050 C in den Rackeinschubadapter ein- schieben. Höhe 3  Mit den im Lieferumfang des RVG 050 C enthal- tenen Halsschrauben und Kunststoffnippeln be- festigen. Die Temperatur innerhalb des Schaltschranks darf die maximal zulässige Umgebungstempe- ratur nicht übersteigen (→  8).

  • Seite 14: Schalttafeleinbau

    Für den Einbau in eine Schalttafel ist folgender Schalt- 3.1.2 Schalttafeleinbau tafelausschnitt erforderlich: 91.4 M3 oder ø 3.5  RVG 050 C in den Ausschnitt einführen.  Mit vier M3 oder gleichwertigen Schrauben befestigen. Die maximal zulässige Umgebungstemperatur darf nicht überschritten werden (→  8).

  • Seite 15: Tischgerät

    Das RVG 050 C kann auch als Tischgerät eingesetzt 3.1.3 Tischgerät werden. Dazu sind im Lieferumfang vier Gummifüße, vier Flachkopfschrauben M3×16 und vier passende Scheiben enthalten.  Eine der vier Flachkopfschrauben (M3×6) aus der Bodenplatte herausschrauben, Gummifuß posi- tionieren und mit einer Schraube M3×16 befesti- gen.

  • Seite 16: Netzanschluss

    3.2 Netzanschluss Nennspannung Das RVG 050 C kann mit 230 V oder mit 115 V Netz- einstellen spannung betrieben werden. Mit dem Spannungswahlschalter an der Rückseite des RVG 050 C die Nennspannung des Produkts auf die örtliche Netzspannung einstellen. BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...
  • Seite 17 Sicherung einsetzen Ein Sicherungshalter und die für die zulässigen Netz- spannungen passenden Sicherungen sind im Lieferum- fang enthalten. Die für die örtliche Netzspannung geeignete Sicherung einsetzen. Netzspannung Sicherung 230 V 125 mATT, 250 V, ø5×20 mm 115 V 250 mATT, 250 V, ø5×20 mm BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...
  • Seite 18 Netz anschließen GEFAHR GEFAHR: Netzspannung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Nur 3-polige Netzkabel mit fachgerechtem Anschluss der Schutzerdung verwenden. Den Netzstecker nur in eine Steckdose mit Schutzkontakt einstecken. Die Schutzwirkung darf nicht durch eine Verlängerungsleitung ohne Schutzleiter aufgehoben werden. GEFAHR GEFAHR: Netzspannung Das Einführen von Gegenständen in das...
  • Seite 19 Stecker montieren 230 V oder 230 V oder 115 V 115 V Steuergerät Netzkabel Steuergerät anschließen 230V 115V 230V125mA 115V250mA Wird das Gerät in einen Schaltschrank eingebaut, empfehlen wir, die Netzspannung über einen ge- schalteten Netzverteiler zuzuführen. BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...

  • Seite 20: Anschluss Ventil Rvg 050 C  Udv 146

    Im Temperaturbereich von >80 … 200 °C das wärmebeständige Verlängerungskabel PT 519 953-T zwischen UDV 146 und Stan- dardkabel einfügen (→  39). Das RVG 050 C muss stromlos sein, bevor eine Verbindung zum UDV 146 hergestellt oder unterbrochen wird. Absperrventil...

  • Seite 21: Anschluss Ventil Rvg 050 C  Absperrventil

    Wir empfehlen, ein steuerbares Absperrventil zu ver- 3.4 Anschluss Ventil wenden, das den Gasfluss bei Stromausfall oder ausge- RVG 050 C  schaltetem Gerät absperrt. Absperrventil Dazu ist im Lieferumfang ein 4-poliger Stecker nach IEC 130-9 enthalten. Stecker montieren Der Stecker ist wie folgt belegt:...
  • Seite 22 Das Absperrventil, der ventilseitige Stecker und das ent- schließen sprechende Verbindungskabel sind vom Betreiber be- reitzustellen. Das Absperrventil muss stromlos schließen. Das RVG 050 C muss stromlos sein, bevor eine Verbindung zum Absperrventil hergestellt oder unterbrochen wird. Absperrventil BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...

  • Seite 23: Anschluss Steuersignal-Istwertgeber

    Ein Ende der Abschirmung an der Erdbuchse des 3.5 Anschluss Steuer- RVG 050 C möglichst kurz anschließen. Mit dem an- signal-Istwertgeber deren Ende gemäß der Anleitung des angeschlossenen  RVG 050 C Totaldruckmessgerätes verfahren. Falls beide Enden der Abschirmung geerdet werden, ist das Auftreten von Erdströmen zu verhindern.

  • Seite 24: Anschluss Externe

    (→  29). external RVG 050 C Ein abgeschirmtes, verdrilltes, zweipoliges Ver- bindungskabel (EMV-Verträglichkeit) verwen- den. Das RVG 050 C muss stromlos sein, bevor eine Verbindung zur externen Sollwertvorgabe hergestellt oder unterbrochen wird. Laborstecker Polarität beachten BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...

  • Seite 25: Bedienung

    4 Bedienung 4.1 Frontplatte Nachstellzeit T Heizstromanzeige 0 .50 . 7 A Heizspannungsbegrenzung Umschalter Heizspannungs- begrenzung / Regelung Sollwertvorgabe Proportionalverstärkung V Netzschalter Netzkontrolllampe Sicherung Ein Totaldruckmessgerät misst den Ist-Druck in einem 4.2 Aufbau einer Vakuumsystem und gibt ein druckabhängiges, elektri- Regelstrecke sches Signal (Istwert) an das Steuergerät ab.
  • Seite 26 Ist der Umschalter für die Heizspannungsbegrenzung / Regelung auf <limit> gestellt, ist die Regelung außer Betrieb. Die Ausgangsspannung des Steuergerätes kann nun am Potenziometer <limit> eingestellt werden. In der Stellung <set point> ist die Regelung in Betrieb, d.h. das Steuergerät vergleicht Sollwert und Istwert und steuert über einen PI-Regler die Heizleistung derart, dass die Soll-/Istwert-Abweichung gegen Null geht.
  • Seite 27 Erweiterte Regel- Gasdosierventil - Absperrventil - Vakuumsystem - Total- strecke druckmessgerät werden für eine regeltechnische Be- trachtung zur sogenannten "erweiterten Regelstrecke" zusammengefasst. Das ergibt folgendes Blockschaltbild für den Regelkreis: Steuergerät Regelkreis Regelgrösse Stellgrösse Erweiterte Regelstrecke Einstellregeln für T (Nachstellzeit) und V (Proportional- verstärkung) →...

  • Seite 28: Rvg 050 C Ein- Und Ausschalten

    Ventiltellers (Saphir) im Gasdosierventil oder zu einem instabilen Regelkreis führen. Vor dem Einschalten des Produkts die einge- stellten Parameter überprüfen RVG 050 C RVG 050 C mit dem Netzschalter (oder zentral über den einschalten geschalteten Netzverteiler bei Rackmontage) einschal- ten. BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...

  • Seite 29: Sollwertvorgabe

    RVG 050 C RVG 050 C mit dem Netzschalter (oder zentral über den ausschalten geschalteten Netzverteiler bei Rackmontage) ausschal- ten. 4.4 Sollwertvorgabe Interne Sollwert- Schalter auf der Rückplatte auf <internal>. set point internal vorgabe external Die interne Sollwertvorgabe erfolgt durch ein 10-Gang- Präzisionspotenziometer mit 0 …...

  • Seite 30: Vorgabe Des Regelbereichs

    Analogausgangsspannung von 4.5 V am Totaldruck- messgerät entspricht. Hat das Totaldruckmessgerät einen Analogausgang von z.B. 0 … +1 Volt, ist am RVG 050 C der erforderliche Sollwert zwischen 0 … 100 Skalenteilen (entspricht 0 … 1 V) einzustellen. Sollwerte >100 Skalenteile erge- ben keinen Sinn.

  • Seite 31: Heizspannungsbegrenzung Einstellen

    Regelbereich und damit den Gasfluss bei Netzausfall, falls kein Absperrventil vorgeschaltet ist. Durch Vorgabe eines Sollwertes am RVG 050 C und dem Anlegen der entsprechenden Heizspannung, kann jeder gewünschte Gasfluss zwischen Q und Q manuell minimal eingestellt und konstant gehalten werden.
  • Seite 32 Volle Heizspannung nur bei Gasflüssen >10 mbar l/s anlegen. Dieser Fall kann eintreten, wenn dem RVG 050 C stän- dig ein höherer Ist- als Sollwert signalisiert wird, z.B. beim Auftreten eines Lecks oder verstärkter Abgasung eines Materials. Aus diesem Grunde im Bereich der Handeinstellung zwischen geschlossenem und halbge- öffnetem Zustand, also insbesondere bei kleinen Gas-...

  • Seite 33: Druck Einstellen

    29). vorgabe  Schalter auf der Rückplatte auf <internal>.  Sicherstellen, dass der Eingang <input> des RVG 050 C mit dem Analogausgang des Steuer- signal-Istwertgebers richtig verbunden ist →  23).  Totaldruckmessgerät mit wählbarer Betriebsart <LIN> und <LOG> auf <LIN> stellen.
  • Seite 34 →  vorgabe  Schalter auf der Rückplatte auf <external>.  Sicherstellen, dass der Eingang <external> des RVG 050 C mit dem externen Sollwertgeber (z.B. Computer oder SPS) richtig verbunden ist →  24).  Sicherstellen, dass der Eingang <input> des...

  • Seite 35: Einstellregeln Für Die Regelparameter

    Die Regelparamter T (Nachstellzeit) und V (Propor- 4.8 Einstellregeln für tionalverstärkung) müssen so eingestellt werden, dass die Regelparameter der Regelkreis stabil ist (kein Schwingen!). Die optima- len Einstellwerte sind von den Daten (T und V ) der er- weiterten Regelstrecke abhängig. Für die Regelparameter T (Nachstellzeit) und V (Pro-...

  • Seite 36: Rvg 050 C Ausschalten Und

    Bei Netzausfall öffnet das UDV 146 bis zur mechanischen Begrenzung. Mit Absperrventil Das elektromagnetisch betätigte Absperrventil muss stromlos geschlossen sein. Das bedeutet, dass beim Ausschalten des RVG 050 C sowie bei Netzausfall die Gaszufuhr zur Prozesskammer gestoppt wird. BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...

  • Seite 37: Zu Verwendende Totaldruckmessgeräte

    Als Signalgeber für eine Druckregelung mit dem 4.10 Zu verwendende RVG 050 C Totaldruckmessgeräte mit einem Totaldruckmess- Analogausgang von 0 …+10 V= verwenden (z.B. Pfeiffer geräte Vacuum-Totaldruckmessgerät TPG 300). Zusammenhang zwischen Analogausgang und Druck →  Totaldruckmessgerät. 5 Instandhaltung Das Produkt ist wartungsfrei.

  • Seite 38: Störungsbehebung

    6 Störungsbehebung Netzversorgung Art der Störung Mögliche Ursache und deren Behebung Netzkontrolllampe brennt Produkt nicht an die örtliche Netzspannung nicht (Gerät arbeitet nicht) angeschlossen.  Produkt ans Netz anschließen (→  16). Sicherung nicht eingesetzt.  Passende Sicherung einsetzen (→  17). Sicherung durchgebrannt.

  • Seite 39: Zubehör

    Heizwicklung des UDV 146 hat Masseschluss.  Heizwicklung überprüfen (→  [2]). Hilfe bei Störungen Benötigen Sie Hilfe bei der Störungsbehebung, nehmen Sie bitte mit Ihrer nächstgelegenen Pfeiffer Vacuum-Servicestelle Kontakt auf. 7 Zubehör Bestellnummer Gasdosierventil UDV 146 PF I52 034 Standardkabel 3 m, ≤80°C...

  • Seite 40: Produkt Lagern

    8 Produkt lagern Vorsicht Vorsicht: Elektronikkomponente Unsachgemäße Lagerung (statische Ladun- gen, Feuchtigkeit usw.) kann zu Defekten an den elektronischen Komponenten führen. Produkt in antistatischem Beutel oder Be- hälter aufbewahren. Zulässige technische Daten einhalten (→  8). 9 Produkt entsorgen WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.)

  • Seite 41: Anhang

    Anhang Umrechnungs- tabellen Masse slug sh cwt 2.205 68.522×10 35.274 19.684×10 22.046×10 0.454 31.081×10 8.929×10 10×10 14.594 32.174 514.785 0.287 0.322 slug 28.349×10 62.5×10 1.943×10 0.588×10 0.625×10 50.802 3.481 1.792×10 1.12 45.359 3.108 1.6·10 0.893 sh cwt Druck , Pa mbar Torr lbf/in...

  • Seite 42: B: Literatur

     [1] www.pfeiffer-vacuum.net Literatur Kurzanleitung Ganzmetall-Regelventil UDV 146 BP 5282 BDE deutsch BP 5282 BEN englisch Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar Deutschland  [2] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Ganzmetall-Regelventil UDV 146 BP 5281 BDE deutsch BP 5281 BEN englisch Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar...

  • Seite 43: C: Stichwortverzeichnis

    Stichwort- – < – – G – verzeichnis <control signal> Gasdosierventil 20; 27 <dosing valve> Gerät anschließen <external> 24; 29; 34 ausschalten <fuse> einschalten <internal> 29; 33 entsorgen <isolation valve> lagern <limit> Gewährleistung <on> Gummifüße <power> montieren <proportional gain> 27; 35 <reset time>...
  • Seite 44 – P – – T – PI-Regler 3; 9; 26 Technische Daten Potenziometer Tischgerät Heizspannungsbe- Totaldruckmess- grenzung 26; 31 gerät 23; 30; 37 Proportionalverstärkung Sollwertvorgabe – U – Proportionalverstärkung 27; 35 Umrechnungen – R – – V – Regelbereich Vakuum Regelkreis Messgerät Regelparameter...

  • Seite 45: Eg-Konformitätserklärung

    EG-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, Pfeiffer Vacuum, für das nach- folgende Produkt die Konformität zur Niederspannungs- richtlinie 2006/95/EG und zur EMV-Richtlinie 2004/108/EG. Produkt Steuergerät RVG 050 C Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-3-2:2006 (EMV, Oberschwingungsströme) • EN 61000-3-3:1995 + A1:2001 + A2:2005 (EMV, Begrenzung von Spannungsänderungen, Spannungs-...
  • Seite 46 Notizen BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...
  • Seite 47 Notizen BG 5282 BDE (2011-11) RVG050C.bet...
  • Seite 48 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Führend. Zuverlässig. Vakuumlösungen, für deutsche Ingenieurskunst, kompetente Kundennah.

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