Technische Ausstattung; Picma® Piezoaktoren; Festkörpergelenksführungen; Positionssensoren - PI PZ244D Benutzerhandbuch

3 Produktbeschreibung
Adapterkabel D­Sub (Mechanik) auf D­Sub (Elektronik)
Produktnummer Beschreibung
P-895.2D1DDC*
P-895.2DDC
P-895.3DDC
* 2 Kanäle an D-Sub 25W3 (f) und 1 Kanal an D-Sub 7W2 (f) verfügbar.
 Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst (S. 33).
3.7

Technische Ausstattung

3.7.1 PICMA® Piezoaktoren
P-54x-Positionierer werden von PICMA® Piezoaktoren angetrieben. PICMA® Aktoren sind
vollkeramisch isoliert und daher konventionellen Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit
überlegen. Der monolithische Piezokeramikblock ist durch die keramische Isolierschicht vor
Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt. Auch unter extremen
Umgebungsbedingungen wird so eine besonders hohe Zuverlässigkeit erreicht. Im Gegensatz zu
motorischen Antrieben gibt es keine rotierenden oder reibenden Teile. Die Piezoaktoren sind
dadurch spiel-, wartungs- und verschleißfrei.
3.7.2 Festkörpergelenksführungen
P-54x-Positionierer verfügen über Festkörpergelenksführungen (Flexures) für reibungsfreie
Bewegung und hohe Führungsgenauigkeiten.
Ein Flexure ist ein haft- und gleitreibungsfreies Element, das auf der elastischen Deformation
(Biegung) eines Festkörpers (z. B. Stahl) basiert und völlig ohne rollende oder gleitende Teile
auskommt. Flexureelemente zeigen eine hohe Steifigkeit und Belastbarkeit.
Festkörpergelenksführungen sind wartungs- und verschleißfrei. Sie sind 100 %
vakuumkompatibel, arbeiten in einem weiten Temperaturbereich und benötigen keinerlei
Schmierstoffe.
3.7.3

Positionssensoren

Für den positionsgeregelten Betrieb ist der P-54x je nach Modell (S. 9) mit kapazitiven Sensoren
oder Dehnmessstreifen-Sensoren ausgestattet.
Kapazitive Sensoren
Kapazitive Sensoren messen die Position unmittelbar an der Bewegungsplattform
(Direktmetrologie) und arbeiten berührungslos. Weder Reibung noch Hysterese beeinträchtigen
die Bewegung, wodurch in Kombination mit der hohen Positionsauflösung ausgezeichnete
Linearitätswerte erreicht werden. Kapazitive Sensoren erreichen in Verbindung mit geeigneter
Elektronik die beste Auflösung, Stabilität und Bandbreite.
P­54x­Nanopositionierer
Adapterkabel D-Sub 25W3 (f) und D-Sub 7W2 (f) auf D-Sub 25W3 (m) für
piezoaktorische Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren, 3
Kanäle, Länge: 0,3 m.
Adapterkabel 2× D-Sub 7W2 (f) auf D-Sub 25W3 (m) für piezoaktorische
Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren, 2 Kanäle, Länge: 0,3 m.
Adapterkabel 3× D-Sub 7W2 (f) auf D-Sub 25W3 (m) für piezoaktorische
Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren, 3 Kanäle, Länge: 0,3 m.
PZ244D Version: 1.2.0 13