10 Technische Daten
Wiederholgenauigkeit θ
X,
θ
Y
Verkippung θ
, θ
X
Y
(Bewegung in Z)
Mechanische
Eigenschaften
Steifigkeit Z
Resonanzfrequenz Z,
unbelastet
Resonanzfrequenz θ
, θ
,
X
Y
unbelastet
Resonanzfrequenz Z, 200 g
Resonanzfrequenz θ
, θ
,
X
Y
200 g
Druck- / Zugbelastbarkeit
Antriebseigenschaften
Keramiktyp
Elektrische Kapazität
Anschlüsse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich
Material
Masse
Kabellänge
Sensoranschluss
Spannungsanschluss
Empfohlene Elektroniken
* Parallelkinematisches Design: Die maximalen Auslenkungen für die translatorische Bewegung und die Kippbewegungen können
nicht gleichzeitig erreicht werden.
Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-
Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten.
Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C).
P54xNanopositionierer
P541.ZCD
P541.TCD* P541.ZSL
–
0,01
–
±15
±15
±15
0,8
0,8
0,8
410
410
410
–
330
–
250
250
250
–
270
–
50 / 20
50 / 20
50 / 20
PICMA®
PICMA®
PICMA®
P-885
P-885
P-885
6,3
6,3
6,3
20 bis 80
20 bis 80
20 bis 80
Aluminium
Aluminium
Aluminium
750
750
730
1,5
1,5
1,5
D-SUB 7W2
D-SUB
LEMO
(m)
25W3 (m)
D-SUB 7W2
D-SUB
LEMO
(m)
25W3 (m)
E-503,
E-503,
E-503,
E-505,
E-505,
E-505,
E-610,
E-610,
E-610,
E-621,
E-621,
E-621,
E-625,
E-625,
E-625,
E-712,
E-712,
E-712,
E-727,
E-727,
E-727,
E-754
E-754
E-754
P541.TSL*
P541.Z0L
0,05
–
±15
±15
0,8
0,8
410
410
330
–
250
250
270
–
50 / 20
50 / 20
PICMA®
PICMA®
P-885
P-885
6,3
6,3
20 bis 80
20 bis 80
Aluminium
Aluminium
730
700
1,5
1,5
3 × LEMO
–
3 × LEMO
LEMO
E-503,
E-503,
E-505,
E-505,
E-610,
E-610,
E-621,
E-621,
E-625,
E-625,
E-712,
E-712,
E-727,
E-727,
E-754
E-754
PZ244D
P541.T0L*
Einheit Toleranz
–
µrad
±15
µrad
0,8
N/µm
410
Hz
330
Hz
250
Hz
270
Hz
50 / 20
N
PICMA®
P-885
6,3
µF
20 bis 80
°C
Aluminium
700
g
1,5
m
–
3 × LEMO
E-503,
E-505,
E-610,
E-621,
E-625,
E-712,
E-727,
E-754
Version: 1.2.0
typ.
typ.
±20 %
±20 %
±20 %
±20 %
±20 %
max.
±20 %
±5 %
±10 mm
37