Technische Daten; Spezifikationen; Datentabelle - PI PZ244D Benutzerhandbuch

10 Technische Daten

10 Technische Daten
In diesem Kapitel

Spezifikationen ............................................................................................................................. 35

Abmessungen .............................................................................................................................. 40
Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............................................................................ 42
Pinbelegung ................................................................................................................................. 42
10.1 Spezifikationen
10.1.1

Datentabelle

Aktive Achsen
Bewegung und
Positionieren
Integrierter Sensor
Stellweg bei -20 bis +120 V,
ungeregelt
Stellweg, geregelt
Auflösung, ungeregelt /
geregelt
Linearitätsabweichung
Wiederholgenauigkeit
Neigen
Gieren
Mechanische
Eigenschaften
Steifigkeit in
Bewegungsrichtung
Resonanzfrequenz,
unbelastet
Resonanzfrequenz,
belastet, 100 g
Resonanzfrequenz,
belastet, 200 g
Resonanzfrequenz,
belastet, 300 g
Druck- / Zugbelastbarkeit in
Stellrichtung
Belastbarkeit
P­54x­Nanopositionierer
P­541.2CD / P­542.2CD / P­541.2DD
P­541.2CL P­542.2CL
X, Y X, Y X, Y
Kapazitiv Kapazitiv Kapazitiv
150 µm × 250 µm × 60 µm ×
150 µm 250 µm 60 µm
100 µm × 200 µm × 45 µm ×
100 µm 200 µm 45 µm
0,2 / 0,3 0,4 / 0,7 0,1 / 0,3
0,03 0,03 0,03*
<5 <5 <5
<5 <5 <3
<10 <10 <3
0,47 0,4 10
255 230 1550
200 190 –
180 – 1230
150 145 –
100 / 30 100 / 30 100 / 30
20 20 20
P­541.2SL P­542.2SL
X, Y X, Y
DMS DMS
150 µm × 250 µm ×
150 µm 250 µm
100 µm × 200 µm ×
100 µm 200 µm
0,2 / 2,5 0,4 / 4
0,2 0,2
<10 <10
<5 <5
<10 <10
0,47 0,4
255 230
200 190
180 –
150 145
100 / 30 100 / 30
20 20
PZ244D
P­541.20L / Einheit Toleranz
P­542.20L
X, Y
–
Siehe
P-541.2CD /
P-542.2CD
–
ungeregelt nm
0,2 / 0,4
– %
– nm
<5 µrad
<10 µrad
0,47 / 0,4 N/µm
255 / 230 Hz
200 / 190 Hz
180 / – Hz
150 / 145 Hz
100 / 30 N
20 N
Version: 1.2.0
+20 % /
-0 %
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
±20 %
±20 %
±20 %
±20 %
±20 %
max.
max.
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