10 Technische Daten
10
Technische Daten
In diesem Kapitel
Spezifikationen ............................................................................................................................. 35
Abmessungen .............................................................................................................................. 40
Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............................................................................ 42
Pinbelegung ................................................................................................................................. 42
10.1
Spezifikationen
10.1.1
Datentabelle
Aktive Achsen
Bewegung und
Positionieren
Integrierter Sensor
Stellweg bei -20 bis +120 V,
ungeregelt
Stellweg, geregelt
Auflösung, ungeregelt /
geregelt
Linearitätsabweichung
Wiederholgenauigkeit
Neigen
Gieren
Mechanische
Eigenschaften
Steifigkeit in
Bewegungsrichtung
Resonanzfrequenz,
unbelastet
Resonanzfrequenz,
belastet, 100 g
Resonanzfrequenz,
belastet, 200 g
Resonanzfrequenz,
belastet, 300 g
Druck- / Zugbelastbarkeit in
Stellrichtung
Belastbarkeit
P54xNanopositionierer
P541.2CD /
P542.2CD /
P541.2DD
P541.2CL
P542.2CL
X, Y
X, Y
X, Y
Kapazitiv
Kapazitiv
Kapazitiv
150 µm ×
250 µm ×
60 µm ×
150 µm
250 µm
60 µm
100 µm ×
200 µm ×
45 µm ×
100 µm
200 µm
45 µm
0,2 / 0,3
0,4 / 0,7
0,1 / 0,3
0,03
0,03
0,03*
<5
<5
<5
<5
<5
<3
<10
<10
<3
0,47
0,4
10
255
230
1550
200
190
–
180
–
1230
150
145
–
100 / 30
100 / 30
100 / 30
20
20
20
P541.2SL
P542.2SL
X, Y
X, Y
DMS
DMS
150 µm ×
250 µm ×
150 µm
250 µm
100 µm ×
200 µm ×
100 µm
200 µm
0,2 / 2,5
0,4 / 4
0,2
0,2
<10
<10
<5
<5
<10
<10
0,47
0,4
255
230
200
190
180
–
150
145
100 / 30
100 / 30
20
20
PZ244D
P541.20L /
Einheit Toleranz
P542.20L
X, Y
–
Siehe
P-541.2CD /
P-542.2CD
–
ungeregelt
nm
0,2 / 0,4
–
%
–
nm
<5
µrad
<10
µrad
0,47 / 0,4
N/µm
255 / 230
Hz
200 / 190
Hz
180 / –
Hz
150 / 145
Hz
100 / 30
N
20
N
Version: 1.2.0
+20 % /
-0 %
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
±20 %
±20 %
±20 %
±20 %
±20 %
max.
max.
35